Полностью автоматическая ультразвуковая очистная машина для полупроводниковых кремниевых пластин

1. Полностью автоматическая ультразвуковая очистная машина для полупроводниковых кремниевых пластин

   Точная очистка переопределена для передового производства полупроводников

   Обзор продукции

   Проектированный для удовлетворения сверхвысоких требований чистоты полупроводниковых кремниевых пластин,JTM-10720ADЭто полностью автоматическая система ультразвуковой очистки, которая сочетает в себе передовые технологии с интеллектуальной автоматизацией.органические остатки, и ионы металла с поверхностей пластинок, обеспечивая безупречную производительность в процессах литографии, гравировки и отложения тонкой пленки.Он обеспечивает последовательность, повторяемые результаты для критической очистки до и после изготовления.

   Основные функции и техническое совершенство

   1.Многоступенчатый ультразвуковой процесс очистки

   • Кавитация высокой частоты 40 кГц:
     Создает микропузыри, которые имплодируют на поверхности пластины, вытесняя частицы размером до 0,2 мкм без физического контакта.и природные оксиды из деликатных полупроводниковых материалов.
   • Интегрированный рабочий процесс с 10 резервуарами:
     • Танки 1-2: предварительно промыть с помощью воды и мегазвуковой агитации для снятия тяжелых остатков.
     • Танки 3-6: Ультразвуковая очистка химическими растворами (например, SC1 / SC2 для очистки RCA) при температуре 60-100 °C для устранения органических и ионных загрязнителей.
     • Танки 7-9: многоступенчатые поливные воды с ультрафильтрацией (0,1 мкм) для предотвращения перекрестного загрязнения.
     • Танк 10: Система быстрой сушки DryN2TM с нагретым азотом (≤ 5% RH) для получения поверхностей, свободных от пятен и статики.

   2.Полностью автоматизированное интеллектуальное управление

   • Интерфейс PLC + HMI:
     15-дюймовый сенсорный экран позволяет программировать более 100 индивидуальных рецептов, отслеживать параметры (температура, ультразвуковая мощность, скорость потока), и отслеживать OEE (общая эффективность оборудования).
   • Роботизированная обработка пластин:
     Точное роботизированное оружие с тефлоновыми захватчиками обеспечивает мягкую, безопасную для краев передачу пластины (скорость ≤ 1,5 м / с) между резервуарами, минимизируя образование и разрушение частиц.

   3.Проектирование высокочистых материалов

   • Увлажненные компоненты:
     Танки и сосуды из электрополированной нержавеющей стали 316L (Ra < 0,2μm) и PTFE, исключающие выщелачивание и химическую коррозию.
   • Фильтрация в замкнутом цикле:
     Системы рециркуляционной фильтрации с мембранными фильтрами 0,1 мкм и ультрафиолетовым окислением снижают потребление химических веществ на 60% и обеспечивают чистоту очистной жидкости (TOC < 5ppb).

2.