Yarı iletken silikon levhalar için Tam Otomatik Ultrasonik Temizleme Makinesi

1. Yarı iletken silikon levhalar için Tam Otomatik Ultrasonik Temizleme Makinesi

   Gelişmiş Yarım iletken üretimi için yeniden tanımlanan hassas temizlik

   Ürün Genel Görünümü

   Yarım iletken silikon levhaların ultra yüksek temizlik gereksinimlerini karşılamak için tasarlanmıştır.JTM-10720AD300mm ve 200mm levhalar için tasarlanmış bu sistem, mikronun altındaki parçacıkları ortadan kaldırır.Organik kalıntılar, ve wafer yüzeylerinden metal iyonları, litografi, kazma ve ince film çökme süreçlerinde kusursuz bir performans sağlayan.O tutarlı sunuyor, kritik üretim öncesi ve sonrası temizlik için tekrarlanabilir sonuçlar.

   Temel İşlevler ve Teknik Mükemmellik

   1.Çok Aşamalı Ultrasonik Temizlik Süreci

   • 40 kHz Yüksek Frekanslı Kavitasyon:
     Mikro kabarcıklar oluşturur ve wafer yüzeylerinde patlar ve fiziksel temas olmadan 0.2μm kadar küçük parçacıklar çıkarır.ve hassas yarı iletken malzemelerden gelen doğal oksitler.
   • 10 Tanklı Entegre İş Akışı:
     • Tank 1-2: Ağır çöpleri gevşetmek için DI suyu ve megasonik karıştırma ile önceden yıkayın.
     • Tanklar 3-6: Organik ve iyonik kirleticileri ortadan kaldırmak için 60-100°C'de kimyasal çözeltilerle (örneğin RCA temizliği için SC1/SC2) ultrasonik temizlik.
     • Tanklar 7-9: Çapraz kirlenmeyi önlemek için ultra filtrasyon (0,1μm) ile çok aşamalı DI su akışları.
     • Tank 10: DryN2 TM, lekesiz, statik olmayan yüzeyler elde etmek için ısıtılmış azot (≤ 5% RH) ile hızlı kurutma sistemi.

   2.Tamamen Otomatik Akıllı Kontrol

   • PLC + HMI Arayüzü:
     15 inçlik dokunmatik ekran, 100'den fazla özel tarif programlamasına, parametrelerin gerçek zamanlı izlenmesine (sıcaklık, ultrasonik güç, durulacak akış hızı) ve OEE (Toplam Ekipman Etkinliği) izlemesine izin verir.
   • Robotik Wafer Taşıma:
     Teflon kaplamalı sapları olan hassas robot kolu, parçacık üretimini ve kırılmasını en aza indirerek, tanklar arasında nazik, kenar güvenli vafra aktarımını (≤1.5m/s hız) sağlar.

   3.Yüksek Saflıklı Malzeme Tasarımı

   • Islak bileşenler:
     Elektropolizli 316L paslanmaz çelik (Ra < 0,2μm) ve PTFE'den üretilen tanklar ve nozeller, metal iyonlarının süzülmesini ve kimyasal korozyonu ortadan kaldırır.
   • Kapalı döngü filtrasyonu:
     0.1μm zar filtreleri ve UV oksidasyonu ile yeniden dolaşım filtrasyon sistemleri, kimyasal tüketimi% 60 oranında azaltır ve temizlik sıvısının saflığını (TOC < 5ppb) sağlar.

2.