সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন ওয়েফারের জন্য সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় অতিস্বনক পরিষ্কারের মেশিন

1. সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন ওয়েফারের জন্য সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় অতিস্বনক পরিষ্কারের মেশিন

   উন্নত অর্ধপরিবাহী উত্পাদন জন্য পুনরায় সংজ্ঞায়িত যথার্থতা পরিষ্কার

   পণ্যের সংক্ষিপ্ত বিবরণ

   সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন ওয়েফারগুলির অতি উচ্চ পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে,JTM-10720ADএটি একটি সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় অতিস্বনক পরিষ্কার ব্যবস্থা যা অত্যাধুনিক প্রযুক্তি এবং বুদ্ধিমান অটোমেশনের সমন্বয়ে গঠিত। এই সিস্টেমটি 300 এবং 200 মিমি ওয়েফারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে,জৈবিক অবশিষ্টাংশ, এবং ওয়েফার পৃষ্ঠ থেকে ধাতু আয়ন, লিথোগ্রাফি, খোদাই, এবং পাতলা ফিল্ম জমা প্রক্রিয়াতে ত্রুটিহীন কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করে। একটি মডুলার 10-ট্যাঙ্ক নকশা এবং SEMI- সামঞ্জস্যপূর্ণ উপকরণ সঙ্গে,এটি ধারাবাহিক প্রদান করে, পুনরাবৃত্তিযোগ্য ফলাফল সমালোচনামূলক প্রাক এবং পোস্ট উত্পাদন পরিষ্কারের জন্য।

   মূল কার্যাবলী এবং প্রযুক্তিগত শ্রেষ্ঠত্ব

   1.মাল্টি-স্টেজ আল্ট্রাসোনিক পরিষ্কার প্রক্রিয়া

   • 40kHz উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি ক্যাভিটেশন:
     এটি মাইক্রো বুদবুদ তৈরি করে যা ওয়েফারের পৃষ্ঠের উপর ধসে পড়ে, শারীরিক যোগাযোগ ছাড়াই 0.2 মাইক্রোমিটার ছোট কণা সরিয়ে দেয়।এবং সূক্ষ্ম অর্ধপরিবাহী উপাদান থেকে নেটিভ অক্সাইড.
   • 10-ট্যাঙ্ক ইন্টিগ্রেটেড ওয়ার্কফ্লো:
     • ট্যাংক ১-২: ভারী আবর্জনা সরাতে ডিআই পানি এবং মেগাসোনিক অস্থিরতার সাথে প্রাক-ওয়াশ করুন।
     • ট্যাংক ৩-৬: রাসায়নিক দ্রবণ (যেমন, এসসি 1 / এসসি 2 আরসিএ পরিষ্কারের জন্য) দিয়ে অ্যাল্ট্রাসোনিক পরিষ্কার 60 ̊ 100 °C এ জৈব এবং আয়নিক দূষণকারীগুলি নির্মূল করতে।
     • ট্যাংক ৭-৯: ক্রস দূষণ রোধ করার জন্য মাল্টি-স্টেজ ডিআই জল আল্ট্রা-ফিল্টারেশন (0.1μm) দিয়ে ধুয়ে ফেলা হয়।
     • ট্যাংক ১০: DryN2TM দ্রুত শুকানোর সিস্টেম গরম নাইট্রোজেন (≤5% RH) দিয়ে দাগ মুক্ত, স্ট্যাটিক মুক্ত পৃষ্ঠ অর্জন করতে।

   2.সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় বুদ্ধিমান নিয়ন্ত্রণ

   • পিএলসি + এইচএমআই ইন্টারফেস:
     ১৫ ইঞ্চি টাচস্ক্রিন ১০০+ কাস্টম রেসিপি প্রোগ্রামিং, প্যারামিটারগুলির রিয়েল-টাইম মনিটরিং (তাপমাত্রা, অতিস্বনক শক্তি, ধুয়ে ফেলার প্রবাহের হার) এবং ওইই (সামগ্রিক সরঞ্জাম কার্যকারিতা) ট্র্যাকিংয়ের অনুমতি দেয়।
   • রোবোটিক ওয়েফার হ্যান্ডলিং:
     টেফলন-আচ্ছাদিত গ্রিপারের সাথে সুনির্দিষ্ট রোবোটিক বাহু ট্যাঙ্কগুলির মধ্যে নরম, প্রান্ত-নিরাপদ ওয়েফার স্থানান্তর (≤1.5 মি / সেকেন্ডের গতি) নিশ্চিত করে, কণা উত্পাদন এবং ভাঙ্গনকে হ্রাস করে।

   3.উচ্চ বিশুদ্ধতা উপাদান নকশা

   • ভিজা উপাদান:
     ট্যাংক এবং ডোজগুলি ইলেক্ট্রোপোলিশড 316L স্টেইনলেস স্টিল (Ra < 0.2μm) এবং PTFE থেকে নির্মিত, ধাতব আইওন লিকিং এবং রাসায়নিক জারা দূর করে।
   • ক্লোজড লুপ ফিল্টারিং:
     0.1μm ঝিল্লি ফিল্টার এবং ইউভি অক্সিডেশন সহ পুনরায় পরিস্রাবণ পরিস্রাবণ সিস্টেমগুলি 60% দ্বারা রাসায়নিক খরচ হ্রাস করে এবং পরিষ্কারের তরল বিশুদ্ধতা নিশ্চিত করে (TOC < 5ppb) ।

2.