ماشین تمیز کردن فوق صوتی کاملا خودکار برای سیلیکون نیمه هادی

1. ماشین تمیز کردن فوق صوتی کاملا اتوماتیک برای سیلیکون نیمه هادی

   تمیز کردن دقیق برای تولید نیمه هادی پیشرفته دوباره تعریف شد

   خلاصه ی محصول

   طراحی شده برای پاسخگویی به الزامات بسیار بالا از پاکسازی سیلیکون نیمه هادی،JTM-10720ADیک سیستم تمیز کردن فوق صوتی کاملا اتوماتیک است که تکنولوژی پیشرفته را با اتوماسیون هوشمند ترکیب می کند. این سیستم برای وافرهای 300 میلی متری و 200 میلی متری طراحی شده استبقایای ارگانیک، و یون های فلزی از سطوح وافره، اطمینان از عملکرد بی نقص در لیتوگرافی، حکاکی، و فرایندهای سپرده گذاری فیلم نازک. با طراحی ماژولار 10 مخزن و مواد سازگار با SEMI،به طور مداوم ارائه می دهد، نتایج قابل تکرار برای تمیز کردن قبل و بعد از ساخت.

   توابع اصلی و برتری فنی

   1.فرآیند پاکسازی فوق صوتی چند مرحله ای

   • کاویتاسیون با فرکانس بالا 40kHz:
     حباب های میکرو تولید می کند که بر روی سطح وافره ها فرو می ریزد و ذرات کوچک به اندازه 0.2μm را بدون تماس فیزیکی از بین می برد.و اکسید های بومی از مواد نیمه هادی ظریف.
   • جریان کاری یکپارچه 10 مخزن:
     • مخازن 1 تا 2: قبل از شستن با آب DI و تکان دادن مگاسونیک برای شل کردن زباله های سنگین.
     • مخازن 3 تا 6: تمیز کردن با استفاده از محلول های شیمیایی (به عنوان مثال SC1 / SC2 برای تمیز کردن RCA) در 60 ≈ 100 ° C برای از بین بردن آلاینده های آلی و یونیک.
     • مخازن 7-9: شستشوی چند مرحله ای DI با آب با فلتر کردن فوق العاده (0.1μm) برای جلوگیری از آلودگی متقابل.
     • مخزن 10: سیستم خشک کردن سریع DryN2TM با نیتروژن گرم (≤5٪ RH) برای دستیابی به سطوح بدون لکه و بدون استاتیک.

   2.کنترل هوشمند کاملا خودکار

   • PLC + رابط HMI:
     صفحه لمسی 15 اینچی اجازه می دهد تا برنامه نویسی 100+ دستور العمل سفارشی، نظارت در زمان واقعی پارامترها (درجه حرارت، قدرت ماوراء صوت، میزان جریان شستشو) و ردیابی OEE (کارایی کل تجهیزات) را فراهم کند.
   • دستکاری وافرهای رباتیک:
     بازوی رباتیک دقیق با چنگال های پوشیده از تفلون انتقال نرم و ایمن وافر (سرعت ≤1.5m / s) را بین مخازن تضمین می کند و تولید ذرات و شکستگی را به حداقل می رساند.

   3.طراحی مواد با خلوص بالا

   • اجزای مرطوب شده:
     مخازن و نوزل های ساخته شده از فولاد ضد زنگ 316L الکتروپولیز شده (Ra < 0.2μm) و PTFE، از بین بردن لیس کردن یون های فلزی و خوردگی شیمیایی.
   • تصفیه حلقه بسته:
     سیستم های تصفیه بازگردانی با فیلترهای غشا 0.1μm و اکسیداسیون UV مصرف مواد شیمیایی را 60٪ کاهش می دهند و اطمینان از خلوص مایع تمیز کننده (TOC < 5ppb) را تضمین می کنند.

2.