Πλήρως Αυτόματη Μηχανή Υπερηχητικού Καθαρισμού για Ημιαγωγικούς Πυριτιούχους Δίσκους

1. Πλήρως Αυτόματη Μηχανή Υπερηχητικού Καθαρισμού για Ημιαγωγικούς Πυριτιούχους Δίσκους

   Επαναπροσδιορισμός του Καθαρισμού Ακριβείας για την Προηγμένη Κατασκευή Ημιαγωγών

   Επισκόπηση Προϊόντος

   Σχεδιασμένο για να πληροί τις εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις καθαριότητας των ημιαγωγικών πυριτιούχων δίσκων, το JTM-10720AD είναι ένα πλήρως αυτόματο σύστημα υπερηχητικού καθαρισμού που συνδυάζει τεχνολογία αιχμής με έξυπνη αυτοματοποίηση. Σχεδιασμένο για δίσκους 300mm και 200mm, αυτό το σύστημα εξαλείφει σωματίδια υπο-μικρομέτρων, οργανικά υπολείμματα και ιόντα μετάλλων από τις επιφάνειες των δίσκων, εξασφαλίζοντας άψογη απόδοση σε διαδικασίες λιθογραφίας, χάραξης και εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης. Με ένα αρθρωτό σχεδιασμό 10 δεξαμενών και υλικά που συμμορφώνονται με το SEMI, προσφέρει σταθερά, επαναλαμβανόμενα αποτελέσματα για κρίσιμο καθαρισμό πριν και μετά την κατασκευή.

   Βασικές Λειτουργίες & Τεχνική Αριστεία

   1. Διαδικασία Υπερηχητικού Καθαρισμού Πολλαπλών Σταδίων

   • Σπηλαίωση Υψηλής Συχνότητας 40kHz:
     Δημιουργεί μικρο-φυσαλίδες που εκρήγνυνται στις επιφάνειες των δίσκων, απομακρύνοντας σωματίδια τόσο μικρά όσο 0,2μm χωρίς φυσική επαφή. Ιδανικό για την αφαίρεση υπολειμμάτων φωτοανθεκτικού, μεταλλικών ρύπων και φυσικών οξειδίων από ευαίσθητα υλικά ημιαγωγών.
   • Ολοκληρωμένη Ροή Εργασίας 10 Δεξαμενών:
     • Δεξαμενές 1-2: Προπλύσιμο με νερό DI και διέγερση μεγαηχητικών κυμάτων για την απομάκρυνση βαρέων υπολειμμάτων.
     • Δεξαμενές 3-6: Υπερηχητικός καθαρισμός με χημικά διαλύματα (π.χ., SC1/SC2 για καθαρισμό RCA) στους 60–100°C για την εξάλειψη οργανικών και ιοντικών ρύπων.
     • Δεξαμενές 7-9: Ξεπλέματα νερού DI πολλαπλών σταδίων με υπερ-φιλτράρισμα (0,1μm) για την αποφυγή διασταυρούμενης μόλυνσης.
     • Δεξαμενή 10: Σύστημα ταχείας ξήρανσης DryN₂™ με θερμαινόμενο άζωτο (≤5% RH) για την επίτευξη επιφανειών χωρίς κηλίδες και στατικό ηλεκτρισμό.

   2. Πλήρως Αυτοματοποιημένος Έξυπνος Έλεγχος

   • Διασύνδεση PLC + HMI:
     Η οθόνη αφής 15 ιντσών επιτρέπει τον προγραμματισμό 100+ προσαρμοσμένων συνταγών, την παρακολούθηση παραμέτρων σε πραγματικό χρόνο (θερμοκρασία, ισχύς υπερήχων, ρυθμός ροής ξεπλύματος) και την παρακολούθηση OEE (Συνολική Αποτελεσματικότητα Εξοπλισμού).
   • Ρομποτική Διαχείριση Δίσκων:
     Ο βραχίονας ρομπότ ακριβείας με επικαλυμμένα με Teflon λαβές εξασφαλίζει απαλή μεταφορά δίσκων ασφαλή για τις άκρες (≤1,5m/s ταχύτητα) μεταξύ των δεξαμενών, ελαχιστοποιώντας τη δημιουργία σωματιδίων και τη θραύση.

   3. Σχεδιασμός Υλικών Υψηλής Καθαρότητας

   • Υγρά Εξαρτήματα:
     Δεξαμενές και ακροφύσια κατασκευασμένα από ηλεκτρο-γυαλισμένο ανοξείδωτο χάλυβα 316L (Ra < 0,2μm) και PTFE, εξαλείφοντας την έκπλυση ιόντων μετάλλων και τη χημική διάβρωση.
   • Φιλτράρισμα Κλειστού Βρόχου:
     Συστήματα ανακυκλοφορίας φιλτραρίσματος με φίλτρα μεμβράνης 0,1μm και οξείδωση UV μειώνουν την κατανάλωση χημικών κατά 60% και εξασφαλίζουν την καθαρότητα του υγρού καθαρισμού (TOC < 5ppb).

2.