Vollautomatische Ultraschallreinigungsmaschine für Halbleiter-Siliziumwafer

1. Online-Inspektion in geschlossenem Kreislauf zur Verhinderung fehlerhafter Produkte

• Maschinelle Probenahme: Aus 100 Stück wird automatisch ein Stück für die Inspektion ausgewählt.und ein KI-Algorithmus zur Identifizierung von Partikelrückständen ≥ 5μm (Falschnegativquote < 0) verwendet wird.01%).
• Integration der Salzsprühprüfung: Die gereinigten Rahmen können direkt an die anschließende Salzsprühprüfungsanlage angeschlossen werden.Die tatsächliche Prüfung zeigt, daß die Salzsprühbeständigkeit der galvanisierten Schicht um 20% erhöht wird (von 48 auf 57 Stunden verlängert)..6 Stunden).

2. Anti-statische Konstruktion zum Schutz einer präzisen Oberflächenbehandlung

• Vollständige Abdeckung der ionisierenden Luftbarren: Eight sets of anti-static ionizing air bars (ionization voltage ±5kV) are installed in the drying section and at the discharge port to neutralize the static electricity on the frame surface in real-time (residual voltage < 100V), verhindert die Adsorption von Staubpartikeln in der Luft.
• Schutz auf Reinraumebene: Die gesamte Ausrüstung ist mit einer Abdruckhaube mit einem Reinheitsgrad der Klasse 10.000 ausgestattet (eine laminare Durchflusshaube der Klasse 100 ist optional),Sicherstellung, dass der Reinigungsprozess frei von äußeren Verunreinigungen ist und die Anforderungen an eine ultra-saubere Reinigung vor der optischen Beschichtung erfüllt werden.

3. Sicherheitsschutzsystem für eine unfallfreie Werkstatt

• Dreifachverriegelungsschutz: Bei Öffnung der Tür wird automatisch die Ultraschallversorgung abgeschaltet, die Sprühpumpe stoppt und das Trocknungsheizrohr wird mit einer Reaktionszeit < 0 ausgeschaltet.2 Sekunden.
• Leckage Monitoring System: Ein Flüssigkeitspegelsensor und eine Leitfähigkeitssonde sind am Boden des Tanks integriert.Die Abwasserpumpe wird innerhalb von 3 Sekunden aktiviert., begleitet von akustischen und visuellen Alarmen.
• 7×24 Stunden Reaktion: Fünf große Dienstleistungszentren im ganzen Land (Pearl River Delta / Yangtze River Delta / Peking-Tianjin-Hebei / Chengdu-Chongqing / Wuhan) lagern eine vollständige Palette an anfälligen Teilen (Übersetzer,Sprühdüsen, Heizröhren) und kann innerhalb von 4 Stunden vor Ort ankommen.