W pełni automatyczna ultradźwiękowa maszyna do czyszczenia wafli krzemowych dla półprzewodników

1. Kontrola online w pętli zamkniętej, aby zapobiec opuszczaniu linii produkcyjnej wadliwych produktów

• Kontrola próbkowa z wykorzystaniem wizji maszynowej: Jedna sztuka jest automatycznie wybierana do kontroli na każde 100 sztuk. Powierzchnia ramy jest skanowana przez 2-megapikselową kamerę przemysłową, a algorytm AI jest używany do identyfikacji pozostałości cząstek ≥5μm (wskaźnik fałszywie negatywny < 0,01%).
• Integracja testu solnego: Oczyszczone ramy mogą być bezpośrednio podłączone do późniejszej maszyny do testów solnych. Rzeczywisty test pokazuje, że czas odporności warstwy galwanicznej na działanie soli wzrasta o 20% (wydłużony z 48 godzin do 57,6 godzin).

2. Antystatyczna konstrukcja chroniąca precyzyjną obróbkę powierzchni

• Pełne pokrycie listwami jonizującego powietrza: Osiem zestawów antystatycznych listew jonizującego powietrza (napięcie jonizacji ±5kV) jest zainstalowanych w sekcji suszenia i przy wylocie, aby neutralizować elektryczność statyczną na powierzchni ramy w czasie rzeczywistym (napięcie resztkowe < 100V), zapobiegając adsorpcji cząstek kurzu z powietrza.
• Ochrona na poziomie pomieszczenia czystego: Całe urządzenie jest wyposażone w okap podciśnieniowy o poziomie czystości klasy 10 000 (opcjonalnie okap z laminarnym przepływem powietrza klasy 100), zapewniając, że proces czyszczenia jest wolny od zewnętrznego zanieczyszczenia i spełnia ultra-czyste wymagania czyszczenia przed powlekaniem optycznym.

3. System ochrony bezpieczeństwa dla stworzenia warsztatu bez wypadków

• Potrójna ochrona blokady: Po otwarciu drzwi zasilanie ultradźwiękowe jest automatycznie odcinane, pompa natryskowa zatrzymuje się, a rura grzewcza suszenia jest wyłączana, z czasem reakcji < 0,2 sekundy.
• System monitorowania wycieków: Czujnik poziomu cieczy i sonda przewodności są zintegrowane na dnie zbiornika. Po wykryciu wycieku płynu czyszczącego pompa drenażowa jest aktywowana w ciągu 3 sekund, czemu towarzyszą alarmy dźwiękowe i wizualne.
• Reakcja 7×24 godziny: Pięć głównych centrów serwisowych w całym kraju (Delta Rzeki Perłowej / Delta Rzeki Jangcy / Pekin-Tianjin-Hebei / Chengdu-Chongqing / Wuhan) posiada pełną gamę części podatnych na uszkodzenia (przetworniki, dysze natryskowe, rury grzewcze) i może dotrzeć na miejsce w ciągu 4 godzin.