Das Labor hat ein komplettes Testsystem eingerichtet, das die Leistungsbewertung und die Verifizierung unter realen Bedingungen abdeckt:
Akustische Leistungstests: Ausgestattet mit einem Impedanzanalysator und einem Impuls-Echo-Testsystem können Schlüsselparameter von Wandlern wie Empfindlichkeit (≥85dB) und Bandbreite (≥15%) gemessen werden. Beispielsweise wird ein Laser-Doppler-Vibrometer verwendet, um die Amplitudenhomogenität von Wandlern zu erfassen, um die Konsistenz der Reinigungseffekte sicherzustellen.
Verifizierung des Reinigungseffekts: In Zusammenarbeit mit externen Testinstituten werden ein Flüssigkeitschromatograph (Nachweisgrenze: 0,01 ppm) und ein mikrobiologischer Inkubator verwendet, um die Schadstoffentfernungsrate und die bakterizide Wirkung zu bewerten. Für Präzisionsreinigungsanforderungen wird ein optisches Mikroskop (Auflösung: 0,1 μm) verwendet, um die Restpartikelmenge auf der Oberfläche nach der Reinigung zu beobachten, um die Einhaltung von Industriestandards (wie IPC-CH-65A) sicherzustellen.
Kombination aus numerischer Simulation und Experimenten: Die Finite-Elemente-Methode (FEM) wird verwendet, um die Schallfeldverteilung zu simulieren, und Prozessparameter werden durch Kombination mit tatsächlichen Reinigungsversuchen optimiert. Beispielsweise wird durch die Simulation der Verteilung von Kavitationswolken bei verschiedenen Frequenzen die optimale Frequenz für die Halbleiterreinigung auf 800 kHz bestimmt, und die Partikelentfernungsrate wird auf 99,8 % erhöht.
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