Machine de nettoyage par ultrasons entièrement automatique pour plaquettes de silicium à semi-conducteurs

1. Inspection en ligne en boucle fermée pour empêcher les produits défectueux de quitter la chaîne

• Inspection d'échantillonnage par vision automatique: une pièce est automatiquement sélectionnée pour inspection sur 100 pièces.et un algorithme d'intelligence artificielle est utilisé pour identifier les résidus de particules ≥ 5 μm (taux de faux négatifs < 0.01%).
• Intégration des essais par pulvérisation saline: les cadres nettoyés peuvent être directement connectés à la machine d'essai par pulvérisation saline suivante.L'essai réel montre que le temps de résistance aux salins de la couche galvanisée est augmenté de 20% (de 48 heures à 57 heures)..6 heures).

2. Conception antistatique pour protéger le traitement de surface de précision

• Couverture complète des barres d'air ionisant: Eight sets of anti-static ionizing air bars (ionization voltage ±5kV) are installed in the drying section and at the discharge port to neutralize the static electricity on the frame surface in real-time (residual voltage < 100V), empêchant l'adsorption des particules de poussière dans l'air.
• Protection au niveau de la salle blanche: l'ensemble de l'équipement est équipé d'une capuche à pression négative avec un niveau de propreté de classe 10.000 (une capuche à débit laminaire de classe 100 est facultative),s'assurer que le processus de nettoyage est exempt de contamination externe et que les exigences de nettoyage ultra-propre sont remplies avant le revêtement optique.

3. Système de protection de la sécurité pour créer un atelier sans accidents

• Protection triple verrouillage: lorsque la porte est ouverte, l'alimentation par ultrasons est automatiquement coupée, la pompe à pulvérisation s'arrête et le tube de chauffage à séchage est coupé, avec un temps de réponse < 0.2 secondes.
• Système de surveillance des fuites: un capteur de niveau de liquide et une sonde de conductivité sont intégrés au fond du réservoir.la pompe de drainage du barrage est activée dans les 3 secondes, accompagnés d'alarmes sonores et visuelles.
• Réponse 24 heures sur 24: cinq grands centres de service à l'échelle nationale (Delta du fleuve des Perles / Delta du fleuve Yangtsé / Pékin-Tianjin-Hebei / Chengdu-Chongqing / Wuhan) stockent une gamme complète de pièces vulnérables (transducteurs,autres appareils de traitement, tubes de chauffage) et peut arriver sur place dans les 4 heures.