Volautomatische ultrasone reinigingsmachine voor siliciumwafels voor halfgeleiders

1. Online inspectie met gesloten lus om te voorkomen dat defecte producten de lijn verlaten

• Machine Vision-steekproefinspectie: één stuk wordt automatisch geselecteerd voor inspectie uit elke 100 stuks. Het oppervlak van het frame wordt gescand door een 2-megapixel industriële camera en een AI-algoritme wordt gebruikt om deeltjesresten ≥5μm te identificeren (vals negatief percentage < 0,01%).
• Integratie van zoutsproeitest: De gereinigde frames kunnen direct worden aangesloten op de daaropvolgende zoutsproeitestmachine. De daadwerkelijke test toont aan dat de zoutsproeibestendigheidstijd van de gegalvaniseerde laag met 20% is toegenomen (verlengd van 48 uur tot 57,6 uur).

2. Antistatisch ontwerp ter bescherming van precisie-oppervlaktebehandeling

• Volledige dekking van ioniserende luchtstaven: Acht sets antistatische ioniserende luchtstaven (ionisatiespanning ±5kV) zijn geïnstalleerd in het drooggedeelte en bij de uitlaat om de statische elektriciteit op het frameoppervlak in realtime te neutraliseren (restspanning < 100V), waardoor de adsorptie van stofdeeltjes in de lucht wordt voorkomen.
• Bescherming op cleanroomniveau: De gehele apparatuur is uitgerust met een negatieve druk kap met een reinheidsniveau van Klasse 10.000 (een Klasse 100 laminaire flow kap is optioneel), waardoor het reinigingsproces vrij is van externe verontreiniging en voldoet aan de ultra-reine reinigingseisen vóór optische coating.

3. Veiligheidsbeschermingssysteem om een ongevalvrije werkplaats te creëren

• Drievoudige vergrendelingsbeveiliging: Wanneer de deur wordt geopend, wordt de ultrasone voeding automatisch uitgeschakeld, stopt de sproeipomp en wordt de droogverwarmingbuis uitgeschakeld, met een reactietijd < 0,2 seconden.
• Lekkagebewakingssysteem: Een vloeistofniveausensor en een geleidbaarheidssonde zijn geïntegreerd aan de onderkant van de tank. Wanneer een lekkage van reinigingsvloeistof wordt gedetecteerd, wordt de overloopafvoerpomp binnen 3 seconden geactiveerd, vergezeld van hoorbare en visuele alarmen.
• 7×24 uur respons: Vijf grote servicecentra in het hele land (Parelrivierdelta / Yangtze-rivierdelta / Beijing-Tianjin-Hebei / Chengdu-Chongqing / Wuhan) hebben een volledig assortiment kwetsbare onderdelen (transducers, sproeiers, verwarmingsbuizen) op voorraad en kunnen binnen 4 uur ter plaatse zijn.