Máquina de limpeza por ultra-som totalmente automática para wafers de silício semicondutores

1. Inspecção online em circuito fechado para evitar que produtos defeituosos deixem a linha

• Inspecção de amostragem por visão automática: uma peça é automaticamente selecionada para inspecção de cada 100 peças.e um algoritmo de IA é utilizado para identificar resíduos de partículas ≥ 5μm (taxa de falsos negativos < 0.01%).
• Integração do ensaio com sal: os quadros limpos podem ser ligados directamente à máquina de ensaio com sal subsequente.O ensaio real mostra que o tempo de resistência à salinidade da camada galvanizada é aumentado em 20% (prorrogado de 48 horas para 57 horas)..6 horas).

2. Projeto antiestático para proteger o tratamento de superfície de precisão

• Cobertura completa de barras de ar ionizantes: Eight sets of anti-static ionizing air bars (ionization voltage ±5kV) are installed in the drying section and at the discharge port to neutralize the static electricity on the frame surface in real-time (residual voltage < 100V), impedindo a adsorção de partículas de poeira no ar.
• Proteção a nível de sala limpa: todo o equipamento está equipado com um capô de pressão negativa com um nível de limpeza da classe 10.000 (um capô de fluxo laminar da classe 100 é opcional),assegurar que o processo de limpeza não contém contaminações externas e satisfazer os requisitos de limpeza ultralimpa antes do revestimento óptico.

3. Sistema de protecção da segurança para criar uma oficina livre de acidentes

• Protecção Triple Interlock: Quando a porta é aberta, a fonte de alimentação ultrasônica é automaticamente cortada, a bomba de pulverização para e o tubo de aquecimento de secagem é desligado, com um tempo de resposta < 0.2 segundos.
• Sistema de monitorização de fugas: um sensor de nível do líquido e uma sonda de condutividade estão integrados no fundo do tanque.A bomba de drenagem da barragem é activada dentro de 3 segundos., acompanhados de alarmes sonoros e visuais.
• 7×24 horas de resposta: Cinco grandes centros de serviço em todo o país (Delta do Rio Pearl / Delta do Rio Yangtze / Pequim-Tianjin-Hebei / Chengdu-Chongqing / Wuhan) armazenam uma gama completa de peças vulneráveis (transdutores,Garrafas de ar, tubos de aquecimento) e podem chegar no local dentro de 4 horas.