সেমিকন্ডাক্টর সিলিকন ওয়েফারের জন্য সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় আলট্রাসনিক ক্লিনিং মেশিন

1. ত্রুটিপূর্ণ পণ্য লাইন থেকে বের হওয়া রোধ করতে ক্লোজ-লুপ অনলাইন পরিদর্শন

• মেশিন ভিশন স্যাম্পলিং পরিদর্শন: প্রতি 100টির মধ্যে একটি স্বয়ংক্রিয়ভাবে পরিদর্শনের জন্য নির্বাচন করা হয়। ফ্রেমের পৃষ্ঠটি 2-মেগাপিক্সেল ইন্ডাস্ট্রিয়াল ক্যামেরা দ্বারা স্ক্যান করা হয় এবং একটি AI অ্যালগরিদম ব্যবহার করে ≥5μm কণার অবশিষ্টাংশ সনাক্ত করা হয় (মিথ্যা নেতিবাচক হার < 0.01%)।
• লবণ স্প্রে পরীক্ষার ইন্টিগ্রেশন: পরিষ্কার করা ফ্রেমগুলি সরাসরি পরবর্তী লবণ স্প্রে পরীক্ষার মেশিনের সাথে সংযুক্ত করা যেতে পারে। প্রকৃত পরীক্ষা দেখায় যে ইলেক্ট্রোপ্লেটেড স্তরের লবণ স্প্রে প্রতিরোধের সময় 20% বৃদ্ধি পায় (48 ঘন্টা থেকে 57.6 ঘন্টা পর্যন্ত বৃদ্ধি)।

2. নির্ভুল পৃষ্ঠ চিকিত্সা রক্ষা করার জন্য অ্যান্টি-স্ট্যাটিক ডিজাইন

• আয়নাইজিং এয়ার বারগুলির সম্পূর্ণ কভারেজ: শুকানোর বিভাগে এবং ডিসচার্জ পোর্টে আট সেট অ্যান্টি-স্ট্যাটিক আয়নাইজিং এয়ার বার (আয়নাইজেশন ভোল্টেজ ±5kV) স্থাপন করা হয়েছে, যা ফ্রেমের পৃষ্ঠের স্ট্যাটিক বিদ্যুতকে রিয়েল-টাইমে নিরপেক্ষ করে (অবশিষ্ট ভোল্টেজ < 100V), বাতাসের ধুলো কণা শোষণ প্রতিরোধ করে।
• ক্লিনরুম-স্তরের সুরক্ষা: পুরো সরঞ্জামটি ক্লাস 10,000 পরিচ্ছন্নতার স্তরের একটি নেতিবাচক চাপ হুড দিয়ে সজ্জিত (একটি ক্লাস 100 ল্যামিনার ফ্লো হুড ঐচ্ছিকভাবে উপলব্ধ), যা নিশ্চিত করে যে পরিষ্কারের প্রক্রিয়াটি বাইরের দূষণ থেকে মুক্ত এবং অপটিক্যাল কোটিংয়ের আগে অতি-পরিষ্কার পরিষ্কারের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।

3. দুর্ঘটনা-মুক্ত কর্মশালা তৈরি করতে সুরক্ষা সুরক্ষা ব্যবস্থা

• ট্রিপল ইন্টারলক সুরক্ষা: দরজা খুললে, অতিস্বনক বিদ্যুৎ সরবরাহ স্বয়ংক্রিয়ভাবে বন্ধ হয়ে যায়, স্প্রে পাম্প বন্ধ হয়ে যায় এবং শুকানোর হিটিং টিউব বন্ধ হয়ে যায়, যার প্রতিক্রিয়ার সময় < 0.2 সেকেন্ড।
• লিকেজ মনিটরিং সিস্টেম: একটি তরল স্তর সেন্সর এবং একটি পরিবাহিতা প্রোব ট্যাঙ্কের নীচে একত্রিত করা হয়। যখন একটি ক্লিনিং তরল লিক সনাক্ত করা হয়, তখন 3 সেকেন্ডের মধ্যে একটি উইয়ার ড্রেনেজ পাম্প সক্রিয় হয়, যা শ্রাব্য এবং ভিজ্যুয়াল অ্যালার্মের সাথে থাকে।
• 7×24 ঘন্টা প্রতিক্রিয়া: দেশব্যাপী পাঁচটি প্রধান পরিষেবা কেন্দ্র (পার্ল রিভার ডেল্টা / ইয়াংসি রিভার ডেল্টা / বেইজিং-তিয়ানজিন-হেবেই / চেংদু-চংকিং / উহান) দুর্বল যন্ত্রাংশগুলির (ট্রান্সডুসার, স্প্রে অগ্রভাগ, হিটিং টিউব) একটি সম্পূর্ণ পরিসর মজুত করে এবং 4 ঘন্টার মধ্যে ঘটনাস্থলে পৌঁছাতে পারে।