Macchina di pulizia ad ultrasuoni completamente automatica per wafer di silicio semiconduttori

1. Ispezione online a circuito chiuso per evitare che i prodotti difettosi lasciano la linea

• Ispezione di campionamento con visione artificiale: un pezzo viene automaticamente selezionato per l'ispezione su ogni 100 pezzi.e viene utilizzato un algoritmo AI per identificare residui di particelle ≥ 5μm (tasso di falsi negativi < 0).01%).
• Integrazione dei test con spruzzo di sale: le cornici pulite possono essere collegate direttamente alla successiva macchina di prova con spruzzo di sale.La prova effettiva mostra che il tempo di resistenza allo spruzzo di sale dello strato elettroplata è aumentato del 20% (prolungato da 48 ore a 57 ore)..6 ore).

2. Progettazione antistatica per proteggere il trattamento superficiale di precisione

• Copertura completa delle barre di aria ionizzante: Eight sets of anti-static ionizing air bars (ionization voltage ±5kV) are installed in the drying section and at the discharge port to neutralize the static electricity on the frame surface in real-time (residual voltage < 100V), impedendo l'assorbimento delle particelle di polvere nell'aria.
• Protezione a livello di stanza pulita: l'intera apparecchiatura è dotata di una cappa a pressione negativa con un livello di pulizia di classe 10.000 (una cappa a flusso laminare di classe 100 è facoltativa),garantire che il processo di pulizia sia privo di contaminazione esterna e soddisfi i requisiti di pulizia ultra-pulita prima del rivestimento ottico.

3. Sistema di protezione della sicurezza per creare un laboratorio privo di incidenti

• Protezione a triplo blocco: quando la porta viene aperta, l'alimentazione ad ultrasuoni viene automaticamente interrotta, la pompa di spruzzo si ferma e il tubo di riscaldamento per l'essiccazione viene spento, con un tempo di risposta < 0.2 secondi.
• Sistema di monitoraggio delle perdite: un sensore di livello del liquido e una sonda di conduttività sono integrati sul fondo del serbatoio.la pompa di drenaggio della diga viene attivata entro 3 secondi, accompagnati da allarmi acustici e visivi.
• Risposta 24 ore su 24: Cinque importanti centri di assistenza a livello nazionale (delta del fiume Pearl / delta del fiume Yangtze / Pechino-Tianjin-Hebei / Chengdu-Chongqing / Wuhan) dispongono di una gamma completa di parti vulnerabili (trasduttori,tubi di spruzzo, tubi di riscaldamento) e può arrivare sul posto entro 4 ore.