Полностью автоматическая ультразвуковая очистная машина для полупроводниковых кремниевых пластин

1. Закрытая онлайн-инспекция для предотвращения выхода дефектных продуктов с линии

• Проверка образцов машинного зрения: один кусок автоматически выбирается для проверки из каждых 100 штук. Поверхность рамы сканируется 2-мегапиксельной промышленной камерой,и используется алгоритм искусственного интеллекта для выявления остатков частиц ≥5μm (процент ложноотрицательных < 0).0,01%).
• Интеграция испытаний солью: очищенные рамы могут быть напрямую подключены к последующей машине для испытаний солью.Фактическое испытание показывает, что время соляного опрыскивания электропластированного слоя увеличивается на 20% (увеличивается с 48 часов до 57 часов)..6 часов).

2. Антистатическая конструкция для защиты точной обработки поверхности

• Полный охват ионизирующих воздушных балок: Eight sets of anti-static ionizing air bars (ionization voltage ±5kV) are installed in the drying section and at the discharge port to neutralize the static electricity on the frame surface in real-time (residual voltage < 100V), предотвращая адсорбцию частиц пыли в воздухе.
• Защита на уровне чистой комнаты: все оборудование оснащено капюшоном отрицательного давления с уровнем чистоты класса 10,000 (капюшоном ламинарного потока класса 100 является необязательным),обеспечение того, чтобы процесс очистки был свободен от внешнего загрязнения и соблюдение требований к ультрачистоте очистки перед оптическим покрытием.

3. Система защиты безопасности для создания безопасной мастерской

• Трехкратная защита от блокировки: при открытии двери ультразвуковое питание автоматически отключается, распылительный насос останавливается, а нагревательная труба для сушки отключается, причем время отклика < 0.2 секунды.
• Система мониторинга утечки: датчик уровня жидкости и зонд проводимости интегрированы в нижней части резервуара.Насос для дренажа дамбы активируется в течение 3 секунд., сопровождаемые звуковыми и зрительными сигналами тревоги.
• Ответ 7×24 часов: Пять крупных сервисных центров по всей стране (Дельта реки Перл / Дельта реки Янцзы / Пекин - Тяньцзинь - Хэбэй / Чэнду - Чунцин / Ухань) имеют полный спектр уязвимых деталей (передатчики,распылители, нагревательные трубы) и могут прибыть на место в течение 4 часов.