Mesin Pembersih Ultrasonik Otomatis Penuh untuk Wafer Silikon Semikonduktor

1. Inspeksi Online Loop Tertutup untuk Mencegah Produk Cacat Keluar dari Jalur

• Inspeksi Sampling Visi Mesin: Satu buah dipilih secara otomatis untuk inspeksi dari setiap 100 buah. Permukaan bingkai dipindai oleh kamera industri 2 megapiksel, dan algoritma AI digunakan untuk mengidentifikasi residu partikel ≥5μm (tingkat negatif palsu < 0.01%).
• Integrasi Uji Semprotan Garam: Bingkai yang dibersihkan dapat langsung dihubungkan ke mesin uji semprotan garam berikutnya. Uji aktual menunjukkan bahwa waktu ketahanan semprotan garam dari lapisan elektroplating meningkat sebesar 20% (diperpanjang dari 48 jam menjadi 57,6 jam).

2. Desain Anti-statis untuk Melindungi Perawatan Permukaan Presisi

• Cakupan Penuh Batang Udara Pengion: Delapan set batang udara pengion anti-statis (tegangan ionisasi ±5kV) dipasang di bagian pengeringan dan di lubang pembuangan untuk menetralkan listrik statis pada permukaan bingkai secara real-time (tegangan sisa < 100V), mencegah penyerapan partikel debu di udara.
• Perlindungan Tingkat Ruang Bersih: Seluruh peralatan dilengkapi dengan tudung tekanan negatif dengan tingkat kebersihan Kelas 10.000 (tudung aliran laminar Kelas 100 adalah opsional), memastikan bahwa proses pembersihan bebas dari kontaminasi eksternal dan memenuhi persyaratan pembersihan ultra-bersih sebelum pelapisan optik.

3. Sistem Perlindungan Keselamatan untuk Menciptakan Bengkel Bebas Kecelakaan

• Perlindungan Interlock Tiga Kali Lipat: Ketika pintu dibuka, catu daya ultrasonik secara otomatis terputus, pompa semprot berhenti, dan tabung pemanas pengeringan dimatikan, dengan waktu respons < 0,2 detik.
• Sistem Pemantauan Kebocoran: Sensor tingkat cairan dan probe konduktivitas diintegrasikan di bagian bawah tangki. Ketika kebocoran cairan pembersih terdeteksi, pompa drainase weir diaktifkan dalam waktu 3 detik, disertai dengan alarm suara dan visual.
• Respons 7×24 Jam: Lima pusat layanan utama di seluruh negeri (Delta Sungai Mutiara / Delta Sungai Yangtze / Beijing-Tianjin-Hebei / Chengdu-Chongqing / Wuhan) menyimpan berbagai suku cadang yang rentan (transduser, nosel semprot, tabung pemanas) dan dapat tiba di lokasi dalam waktu 4 jam.