Máy làm sạch siêu âm tự động hoàn toàn cho tấm silicon bán dẫn

1. Kiểm tra trực tuyến khép kín để ngăn chặn sản phẩm lỗi rời khỏi dây chuyền

• Kiểm tra lấy mẫu bằng thị giác máy: Một sản phẩm được chọn tự động để kiểm tra trong số 100 sản phẩm. Bề mặt của khung được quét bằng camera công nghiệp 2 megapixel và thuật toán AI được sử dụng để xác định cặn hạt ≥5μm (tỷ lệ âm tính giả < 0,01%).
• Tích hợp thử nghiệm phun muối: Khung đã làm sạch có thể được kết nối trực tiếp với máy thử nghiệm phun muối sau đó. Thử nghiệm thực tế cho thấy thời gian chống phun muối của lớp mạ điện tăng 20% (từ 48 giờ lên 57,6 giờ).

2. Thiết kế chống tĩnh điện để bảo vệ xử lý bề mặt chính xác

• Phủ sóng đầy đủ các thanh khí ion hóa: Tám bộ thanh khí ion hóa chống tĩnh điện (điện áp ion hóa ±5kV) được lắp đặt trong phần sấy và tại cổng xả để trung hòa tĩnh điện trên bề mặt khung theo thời gian thực (điện áp dư < 100V), ngăn chặn sự hấp thụ các hạt bụi trong không khí.
• Bảo vệ cấp phòng sạch: Toàn bộ thiết bị được trang bị mui hút áp suất âm với cấp độ sạch Class 10.000 (tùy chọn mui hút dòng chảy tầng Class 100), đảm bảo quá trình làm sạch không bị nhiễm bẩn từ bên ngoài và đáp ứng các yêu cầu làm sạch siêu sạch trước khi phủ quang học.

3. Hệ thống bảo vệ an toàn để tạo ra một xưởng không có tai nạn

• Bảo vệ liên khóa ba lớp: Khi cửa mở, nguồn siêu âm tự động ngắt, bơm phun dừng và ống gia nhiệt sấy tắt nguồn, với thời gian phản hồi < 0,2 giây.
• Hệ thống giám sát rò rỉ: Cảm biến mức chất lỏng và đầu dò độ dẫn điện được tích hợp ở đáy bể. Khi phát hiện rò rỉ chất lỏng làm sạch, bơm thoát tràn được kích hoạt trong vòng 3 giây, kèm theo cảnh báo bằng âm thanh và hình ảnh.
• Phản hồi 7×24 giờ: Năm trung tâm dịch vụ chính trên toàn quốc (Đồng bằng sông Châu Giang / Đồng bằng sông Dương Tử / Bắc Kinh-Thiên Tân-Hà Bắc / Thành Đô-Trùng Khánh / Vũ Hán) dự trữ đầy đủ các bộ phận dễ bị tổn thương (đầu dò, vòi phun, ống gia nhiệt) và có thể đến hiện trường trong vòng 4 giờ.