Jietai Ultraschall-/Vollautomatische Ultraschallreinigungsmaschine für Halbleiterwafer 

1. Fünf-Stufen-Reinigungsprozess zur Bewältigung der Herausforderungen bei der Reinigung komplex gekrümmter Oberflächen
   Ein kundenspezifischer Fünf-Stufen-Reinigungsprozess aus Ultraschall-Grobreinigung → Hochdrucksprühen → Feinbürsten mit Bürsten → Ultraschallspülen → Heißlufttrocknung wurde entwickelt, um die drei Hauptverschmutzungsquellen von Kamerarahmen (Aluminiumlegierung/Edelstahl/Keramikmaterialien) zu beseitigen, nämlich CNC-Bearbeitungsrückstände, galvanische Ölflecken sowie Fingerabdrücke und Schweißflecken:

• Dualfrequenz-Ultraschall-Zusammenarbeit: Der 28 kHz Niederfrequenz-Ultraschall (15 kW) löst harte Partikel auf, die von der CNC-Kühlflüssigkeit zurückbleiben, während der 40 kHz Hochfrequenz-Ultraschall (10 kW) Ölflecken im 0,1 μm-Bereich auf der Oberfläche der galvanisierten Schicht entfernt. Die gemessene Sauberkeitsrate der Innenwand von Sacklöchern erreicht 99,2 %.
• Bionisches Bürstensystem: Es werden Nylonborstenbürsten mit einem Durchmesser von 0,05 mm (Shore-Härte 50°) verwendet, kombiniert mit einem ±1 mm Profil-folgenden Schwimmmechanismus. Dies gewährleistet eine perfekte Anpassung an die R-Ecken (Minimum R0,3 mm) des Rahmens und der beschichteten Oberfläche und erreicht während des Reinigungsprozesses null Kratzer (Oberflächenrauheit Ra≤0,2 μm).

2. Vollautomatische intelligente Steuerung, Erhöhung der Ausbeute um 30 %

• Visuelle Erkennungszuführung: Ausgestattet mit dem Keyence-Visionsystem, lokalisiert es automatisch die Klemmstellen des Rahmens (mit einer Genauigkeit von ±0,05 mm). Es ist mit verschiedenen Größen von 50 × 30 mm bis 100 × 80 mm kompatibel, und die Modellwechselzeit beträgt weniger als 3 Minuten.
• Dynamische Parameterkompensation: Die Leitfähigkeit der Reinigungsflüssigkeit wird in Echtzeit über Drucksensoren überwacht, wodurch die Ultraschallleistung (stufenlose Einstellung von 10 % - 100 %) und der Sprühdruck (5 - 15 bar) automatisch angepasst werden. Dies verhindert Schäden an der eloxierten Schicht, die durch übermäßige Reinigung verursacht werden.
  3.Industrielles, langlebiges Design für den 24-Stunden-Dauerbetrieb
   
  • Kernkomponenten: Japanische NTK-Wandler (20.000 Stunden Lebensdauer) + deutsches Siemens SPS-Steuerungssystem mit elektromagnetischer Störfestigkeit gemäß Industrie 4.0-Standards.
  • Tank-Schutz: 316L-Edelstahltank (5 mm Wandstärke) mit PTFE-Beschichtung, beständig gegen korrosive Lösungsmittel wie Flusssäure (HF≤5 %) und Königswasser, geeignet für Beizprozesse von Keramikrahmen.