Jietai Ultrasonic / Полностью автоматическая ультразвуковая очистительная машина для полупроводниковых пластин 

1. Пятиступенчатый процесс очистки для решения задач очистки сложных криволинейных поверхностей
   Индивидуальный пятиступенчатый процесс очистки: ультразвуковая грубая очистка → распыление под высоким давлением → тонкая очистка щетками → ультразвуковое ополаскивание → сушка горячим воздухом разработан для решения трех основных источников загрязнения рамок камер (алюминиевый сплав / нержавеющая сталь / керамические материалы), а именно остатков обработки на станках с ЧПУ, масляных пятен от гальванического покрытия, а также отпечатков пальцев и пятен пота:

• Двухчастотная ультразвуковая система: низкочастотный ультразвук 28 кГц (15 кВт) разрушает твердые частицы, остающиеся от смазочно-охлаждающей жидкости ЧПУ, в то время как высокочастотный ультразвук 40 кГц (10 кВт) удаляет масляные пятна размером 0,1 мкм с поверхности гальванического слоя. Измеренная степень чистоты внутренней стенки глухих отверстий достигает 99,2%.
• Бионическая щеточная система: используются нейлоновые щетинные щетки диаметром 0,05 мм (твердость по Шору 50°), в сочетании с плавающим механизмом слежения за профилем ±1 мм. Это обеспечивает идеальное прилегание к R-углам (минимальный R0,3 мм) рамки и поверхности с покрытием, обеспечивая отсутствие царапин в процессе очистки (шероховатость поверхности Ra≤0,2 мкм).

2. Полностью автоматическое интеллектуальное управление, увеличивающее выход продукции на 30%

• Визуальное распознавание подачи: Оснащена системой машинного зрения Keyence, которая автоматически определяет точки зажима рамки (с точностью ±0,05 мм). Совместима с различными размерами от 50×30 мм до 100×80 мм, а время смены модели составляет менее 3 минут.
• Динамическая компенсация параметров: проводимость очищающей жидкости контролируется в режиме реального времени с помощью датчиков давления, автоматически регулируя мощность ультразвука (плавная регулировка от 10% до 100%) и давление распыления (5 - 15 бар). Это предотвращает повреждение анодированного слоя, вызванное чрезмерной очисткой.
  3. Промышленный дизайн для непрерывной работы в течение 24 часов
   
  • Основные компоненты: Японские преобразователи NTK (срок службы 20 000 часов) + немецкая система управления Siemens PLC с устойчивостью к электромагнитным помехам, соответствующей стандартам Industry 4.0.
  • Защита резервуара: Резервуар из нержавеющей стали 316L (толщина стенки 5 мм) с покрытием из PTFE, устойчивый к коррозионным растворителям, таким как плавиковая кислота (HF≤5%) и царская водка, подходит для процессов травления керамических рамок.