Jietai Ultrasonic/Πλήρως Αυτόματο Μηχάνημα Υπερήχων Καθαρισμού για Ημιαγωγικά Wafer 

1. Διαδικασία καθαρισμού πέντε σταδίων για την αντιμετώπιση των προκλήσεων του καθαρισμού σύνθετων καμπύλων επιφανειών
   Μια προσαρμοσμένη διαδικασία καθαρισμού πέντε σταδίων υπερήχων χονδροειδούς καθαρισμού → ψεκασμού υψηλής πίεσης → λεπτού βουρτσίσματος με βούρτσες → υπερηχητικού ξεβγάλματος → στεγνώματος με ζεστό αέρα έχει σχεδιαστεί για να αντιμετωπίσει τις τρεις κύριες πηγές ρύπανσης των πλαισίων καμερών (κράμα αλουμινίου/ανοξείδωτο χάλυβα/κεραμικά υλικά), δηλαδή υπολείμματα μηχανικής κατεργασίας CNC, λεκέδες λαδιού από επιμετάλλωση και λεκέδες από δακτυλικά αποτυπώματα και ιδρώτα:

• Συνεργασία υπερήχων διπλής συχνότητας: Οι υπέρηχοι χαμηλής συχνότητας 28kHz (15kW) διασπούν τα σκληρά σωματίδια που παραμένουν από το υγρό κοπής CNC, ενώ οι υπέρηχοι υψηλής συχνότητας 40kHz (10kW) απομακρύνουν λεκέδες λαδιού επιπέδου 0,1μm στην επιφάνεια του επιμεταλλωμένου στρώματος. Ο μετρημένος ρυθμός καθαριότητας του εσωτερικού τοιχώματος των τυφλών οπών φτάνει το 99,2%.
• Βιομιμητικό σύστημα βούρτσας: Χρησιμοποιούνται νάιλον βούρτσες με διάμετρο 0,05mm (σκληρότητα Shore 50°), σε συνδυασμό με έναν μηχανισμό πλεύσης ±1mm που ακολουθεί το προφίλ. Αυτό εξασφαλίζει τέλεια εφαρμογή στις γωνίες R (ελάχιστο R0,3mm) του πλαισίου και της επικαλυμμένης επιφάνειας, επιτυγχάνοντας μηδενικές γρατσουνιές κατά τη διαδικασία καθαρισμού (τραχύτητα επιφάνειας Ra≤0,2μm).

2. Πλήρως αυτόματος έξυπνος έλεγχος, αυξάνοντας το ποσοστό απόδοσης κατά 30%

• Οπτική αναγνώριση τροφοδοσίας: Εξοπλισμένο με το οπτικό σύστημα Keyence, εντοπίζει αυτόματα τα σημεία σύσφιξης του πλαισίου (με ακρίβεια ±0,05mm). Είναι συμβατό με διάφορα μεγέθη που κυμαίνονται από 50×30mm έως 100×80mm και ο χρόνος αλλαγής μοντέλου είναι μικρότερος από 3 λεπτά.
• Δυναμική αντιστάθμιση παραμέτρων: Η αγωγιμότητα του υγρού καθαρισμού παρακολουθείται σε πραγματικό χρόνο μέσω αισθητήρων πίεσης, ρυθμίζοντας αυτόματα την ισχύ των υπερήχων (αβαθμιαία ρύθμιση από 10% - 100%) και την πίεση ψεκασμού (5 - 15bar). Αυτό αποτρέπει ζημιές στο ανοδιωμένο στρώμα που προκαλούνται από υπερβολικό καθαρισμό.
  3. Σχεδιασμός βιομηχανικής ποιότητας για 24ωρη συνεχόμενη λειτουργία
   
  • Βασικά εξαρτήματα: Μετατροπείς NTK Ιαπωνίας (διάρκεια ζωής 20.000 ωρών) + σύστημα ελέγχου Siemens PLC Γερμανίας, με αντίσταση σε ηλεκτρομαγνητικές παρεμβολές που πληροί τα πρότυπα Industry 4.0.
  • Προστασία δεξαμενής: Δεξαμενή από ανοξείδωτο χάλυβα 316L (πάχος τοιχώματος 5mm) με επένδυση PTFE, ανθεκτική σε διαβρωτικά διαλυτικά όπως υδροφθορικό οξύ (HF≤5%) και βασιλικό νερό, κατάλληλη για διαδικασίες αποξήρανσης κεραμικών πλαισίων.