Jietai Ultrasonic/Mesin Pembersih Ultrasonik Otomatis Penuh untuk Wafer Semikonduktor 

1. Proses pembersihan lima tahap untuk mengatasi tantangan pembersihan permukaan melengkung yang kompleks
   Proses pembersihan lima tahap yang disesuaikan dari pembersihan kasar ultrasonik → penyemprotan bertekanan tinggi → penyikatan halus dengan sikat → pembilasan ultrasonik → pengeringan udara panas dirancang untuk mengatasi tiga sumber utama polusi bingkai kamera (paduan aluminium/baja tahan karat/bahan keramik), yaitu residu pemesinan CNC, noda minyak pelapisan listrik, dan noda sidik jari dan keringat:

• Kolaborasi ultrasonik frekuensi ganda: Ultrasonik frekuensi rendah 28kHz (15kW) memecah partikel keras yang tersisa dari cairan pemotong CNC, sementara ultrasonik frekuensi tinggi 40kHz (10kW) menghilangkan noda minyak tingkat 0,1μm pada permukaan lapisan yang dilapisi listrik. Tingkat kebersihan yang diukur dari dinding bagian dalam lubang buta mencapai 99,2%.
• Sistem sikat bionik: Sikat bulu nilon dengan diameter 0,05mm (kekerasan Shore 50°) digunakan, dikombinasikan dengan mekanisme mengambang profil ±1mm. Hal ini memastikan kecocokan yang sempurna dengan sudut R (minimum R0,3mm) dari bingkai dan permukaan yang dilapisi, mencapai nol goresan selama proses pembersihan (kekasaran permukaan Ra≤0,2μm).

2. Kontrol cerdas otomatis penuh, meningkatkan tingkat hasil sebesar 30%

• Pemberian makan pengenalan visual: Dilengkapi dengan sistem visual Keyence, secara otomatis menemukan titik penjepitan bingkai (dengan akurasi ±0,05mm). Kompatibel dengan berbagai ukuran mulai dari 50×30mm hingga 100×80mm, dan waktu perubahan model kurang dari 3 menit.
• Kompensasi parameter dinamis: Konduktivitas cairan pembersih dipantau secara real-time melalui sensor tekanan, secara otomatis menyesuaikan daya ultrasonik (penyesuaian tanpa langkah dari 10% - 100%) dan tekanan penyemprotan (5 - 15bar). Hal ini mencegah kerusakan pada lapisan anodized yang disebabkan oleh pembersihan yang berlebihan.
  3. Desain Tahan Lama Tingkat Industri untuk Pengoperasian Berkelanjutan 24 Jam
   
  • Komponen Inti: Transduser NTK Jepang (masa pakai 20.000 jam) + sistem kontrol PLC Siemens Jerman, dengan ketahanan interferensi elektromagnetik yang memenuhi standar Industri 4.0.
  • Perlindungan Tangki: Tangki baja tahan karat 316L (ketebalan dinding 5mm) dilapisi dengan lapisan PTFE, tahan terhadap pelarut korosif seperti asam fluorida (HF≤5%) dan aqua regia, cocok untuk proses pengawetan bingkai keramik.