Jietai siêu âm / Máy làm sạch siêu âm hoàn toàn tự động cho miếng wafer bán dẫn

1. Quá trình làm sạch năm giai đoạn để vượt qua những thách thức trong việc làm sạch các bề mặt cong phức tạp
   A customized five-stage cleaning process of ultrasonic rough cleaning → high-pressure spraying → fine brushing with brushes → ultrasonic rinsing → hot air drying is designed to address the three major pollution sources of camera frames (aluminum alloy/stainless steel/ceramic materials), cụ thể là dư lượng gia công CNC, vết bẩn dầu điện áp và vết vân tay và mồ hôi:

• Hợp tác siêu âm hai tần số: siêu âm tần số thấp 28kHz (15kW) phá vỡ các hạt cứng còn lại từ chất lỏng cắt CNC,trong khi siêu âm tần số cao 40kHz (10kW) loại bỏ 0Đánh vết dầu ở mức.1μm trên bề mặt lớp mạ điện. Tỷ lệ độ sạch đo được của bức tường bên trong lỗ mù đạt 99,2%.
• Hệ thống bàn chải sinh học: Các bàn chải lông nylon có đường kính 0,05 mm (Sự cứng bờ 50 °) được sử dụng, kết hợp với một cơ chế nổi theo hồ sơ ± 1 mm.Điều này đảm bảo một sự phù hợp hoàn hảo với các góc R (tối thiểu R0.3mm) của khung và bề mặt phủ, đạt được không trầy xước trong quá trình làm sạch (số độ thô bề mặt Ra≤ 0,2μm).

2. Điều khiển thông minh hoàn toàn tự động, tăng tỷ lệ năng suất 30%

• Chế độ nhận dạng thị giác: Được trang bị hệ thống thị giác Keyence, nó tự động định vị các điểm kẹp khung (với độ chính xác ± 0,05mm).Nó tương thích với các kích thước khác nhau từ 50×30mm đến 100×80mm, và thời gian thay đổi mô hình là dưới 3 phút.
• Trả thù tham số động: Độ dẫn của chất lỏng làm sạch được theo dõi trong thời gian thực thông qua các cảm biến áp suất,tự động điều chỉnh công suất siêu âm (sự điều chỉnh không bước từ 10% - 100%) và áp suất phun (5 - 15bar)Điều này ngăn ngừa thiệt hại cho lớp anodized gây ra bởi làm sạch quá mức.
  3Thiết kế bền cho hoạt động liên tục 24 giờ
   
  • Các thành phần cốt lõi: Bộ chuyển đổi NTK Nhật Bản (20.000 giờ tuổi thọ) + Hệ thống điều khiển PLC của Đức Siemens, với khả năng chống nhiễu điện từ đáp ứng các tiêu chuẩn Công nghiệp 4.0.
  • Bảo vệ bể: 316L thép không gỉ thùng (5mm độ dày tường) lót bằng lớp phủ PTFE, chống lại các dung môi ăn mòn như axit hydrofluoric (HF≤5%) và aqua regia,thích hợp cho quá trình ướp các khung gốm.