Máy làm sạch tấm bán dẫn, Làm sạch bằng kiềm siêu âm + Làm sạch bằng axit siêu âm + Rửa bằng nước tinh khiết

Ưu điểm kỹ thuật cốt lõi

I. Hệ thống làm sạch gradient ba bể

1. Bể làm sạch kiềm siêu âm (pH 10-13)

Thông số kỹ thuật:

▶ Tần số: Chuyển đổi tần số kép 80kHz/120kHz (hỗ trợ siêu âm xung) ▶ Vật liệu bể: lớp lót PTFE đã sửa đổi + khung thép không gỉ 316L (chịu nhiệt độ cao 130℃, chống ăn mòn NaOH / amoniac)

▶ Môi trường làm sạch: dung dịch kiềm như kali hydroxit (KOH), tetramethylammonium hydroxit (TMAH), v.v.

Chức năng cốt lõi: ✔ Loại bỏ cặn quang trở hiệu quả: phá hủy liên kết phân tử của màng keo thông qua hiệu ứng tạo bọt, cùng với kiểm soát nhiệt độ không đổi 50-80℃, loại bỏ 99,9% SU-8 / quang trở dương trong vòng 15 phút

✔ Thu giữ các hạt ô nhiễm: bộ lọc PP cỡ micron tích hợp (5μm) + Bộ lọc từ tính (thu giữ các hạt kim loại Fe/Co và các hạt khác). ✔ Lọc chất thải làm sạch theo thời gian thực

2. Bể làm sạch axit siêu âm (pH 1-3)

Thông số kỹ thuật:

▶ Tần số: Siêu âm tần số cao 150kHz (giảm kích thước của các bọt tạo bọt để giảm thiểu hư hỏng bề mặt tấm)

▶ Vật liệu bể: Lớp lót Perfluoroalkoxy Resin (PFA) (chịu HF). Lớp lót PFA (chịu axit hỗn hợp HF/HNO₃)

▶ Môi trường làm sạch: chất ăn mòn oxit đệm BOE (HF:NH₄F=1:6), nước cường toan (HNO₃:HCl=1:3)

Chức năng cốt lõi:

✔ Độ sâu loại bỏ ion kim loại ✔ Kiểm soát độ nhám bề mặt: đối với cặn điện cực Al/Cu, thông qua ăn mòn axit + rung siêu âm, làm cho cặn Na⁺/K⁺ <10¹⁰ nguyên tử/cm²

✔ Kiểm soát độ nhám bề mặt: công suất siêu âm được điều chỉnh động (50-300W), cùng với độ chính xác của việc kiểm soát nhiệt độ ±0,5 ℃, để đảm bảo rằng giá trị Ra bề mặt tấm ≤ 0,2nm

3. Bể rửa megasonic nước tinh khiết (điện trở suất ≥ 18,2MΩ・cm)

Thông số kỹ thuật:

▶ Tần số: Siêu âm MF 850kHz (ngưỡng tạo bọt > 200μm, để tránh hư hỏng do va đập chất lỏng)

▶ Giám sát chất lượng nước: máy dò TOC trực tuyến (độ chính xác phát hiện ≤ 5ppb) + máy đếm hạt (phát hiện kích thước hạt 0,1μm)

▶ Phương pháp rửa: rửa ngược dòng (tỷ lệ sử dụng nước tinh khiết tăng lên 85%) + tạo bọt megasonic (loại bỏ các hạt dưới micron)

Tính năng cốt lõi:

✔ Độ sạch không cặn: Áp dụng lọc ba giai đoạn nước DI (than hoạt tính + màng RO + nhựa đánh bóng), với tốc độ tràn 50L/phút, để nhận ra TOC còn lại <10ppb trong vòng 10 phút

✔ Làm sạch tăng cường cạnh: cánh tay phun xoay được cấp bằng sáng chế (tốc độ 0-300rpm có thể điều chỉnh), để giải quyết điểm mù làm sạch của khu vực 1mm ở cạnh của tấm.

Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để có Báo cáo chuyên sâu về Quy trình làm sạch tấm bán dẫn và chương trình báo giá độc quyền!