সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার ক্লিনার, আল্ট্রাসনিক ক্ষারীয় ক্লিনিং + আল্ট্রাসনিক অ্যাসিডিক ক্লিনিং + বিশুদ্ধ জল দিয়ে ধোয়া

মূল প্রযুক্তিগত সুবিধা

I. তিনটি ট্যাঙ্কের গ্রেডিয়েন্ট ক্লিনিং সিস্টেম

১. আল্ট্রাসনিক ক্ষারীয় ক্লিনিং ট্যাঙ্ক (pH 10-13)

প্রযুক্তিগত পরামিতি:

▶ ফ্রিকোয়েন্সি: 80kHz/120kHz ডুয়াল-ফ্রিকোয়েন্সি সুইচিং (পালসড আল্ট্রাসাউন্ড সমর্থন করে) ▶ ট্যাঙ্কের উপাদান: পরিবর্তিত PTFE লাইনার + 316L স্টেইনলেস স্টিল ফ্রেম (130℃ উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ, NaOH / অ্যামোনিয়া জারা প্রতিরোধ)

▶ ক্লিনিং মাধ্যম: পটাসিয়াম হাইড্রোক্সাইড (KOH), টেট্রামেথাইলামোনিয়াম হাইড্রোক্সাইড (TMAH) ইত্যাদির মতো ক্ষারীয় দ্রবণ

মূল কার্যাবলী: ✔ ফটোরেজিস্ট অবশিষ্টাংশ দক্ষতার সাথে অপসারণ: ক্যাভিটেশন প্রভাবের মাধ্যমে আঠালো ফিল্মের আণবিক বন্ধন ধ্বংস করে, 50-80℃ স্থিতিশীল তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের সাথে, 15 মিনিটের মধ্যে 99.9% SU-8 / পজিটিভ ফটোরেজিস্ট সরিয়ে দেয়

✔ কণা দূষণকারীর ক্যাপচার: বিল্ট-ইন মাইক্রন-আকারের PP কার্তুজ (5μm) + ম্যাগনেটিক ফিল্টার (Fe/Co এবং অন্যান্য ধাতব কণা ক্যাপচার করে)। ✔ ক্লিনিং বর্জ্যের রিয়েল-টাইম পরিস্রাবণ

২. আল্ট্রাসনিক অ্যাসিড ক্লিনিং ট্যাঙ্ক (pH 1-3)

প্রযুক্তিগত পরামিতি:

▶ ফ্রিকোয়েন্সি: 150kHz উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি আল্ট্রাসোনিকরণ (ওয়েফার পৃষ্ঠের ক্ষতি কমাতে ক্যাভিটেশন বুদবুদের আকার হ্রাস করে)

▶ ট্যাঙ্কের উপাদান: পারফ্লুরোঅ্যালকক্সি রেজিন (PFA) লাইনার (HF-প্রতিরোধী)। PFA) লাইনার (HF/HNO₃ মিশ্র অ্যাসিড প্রতিরোধী)

▶ ক্লিনিং মাধ্যম: BOE বাফার অক্সাইড ইচ্যান্ট (HF:NH₄F=1:6), অ্যাকোয়া রেজিয়া (HNO₃:HCl=1:3)

মূল কার্যাবলী:

✔ ধাতু আয়ন অপসারণের গভীরতা ✔ পৃষ্ঠের রুক্ষতা নিয়ন্ত্রণ: Al/Cu ইলেক্ট্রোড অবশিষ্টাংশের জন্য, অ্যাসিড এচিং + আল্ট্রাসনিক কম্পনের মাধ্যমে, Na⁺/K⁺ অবশিষ্টাংশ তৈরি করুন <10¹⁰ পরমাণু/সেমি²

✔ পৃষ্ঠের রুক্ষতা নিয়ন্ত্রণ: আল্ট্রাসনিক শক্তি গতিশীলভাবে সমন্বিত (50-300W), তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের নির্ভুলতার সাথে ±0.5 ℃, ওয়েফারের পৃষ্ঠের Ra মান নিশ্চিত করতে ≤ 0.2nm

৩. বিশুদ্ধ জল মেগাসনিক রিঞ্জিং ট্যাঙ্ক (resistivity ≥ 18.2MΩ・cm)

প্রযুক্তিগত পরামিতি:

▶ ফ্রিকোয়েন্সি: 850kHz MF আল্ট্রাসাউন্ড (ক্যাভিটেশন থ্রেশহোল্ড > 200μm, তরল প্রভাবের ক্ষতি এড়াতে)

▶ জলের গুণমান পর্যবেক্ষণ: অনলাইন TOC ডিটেক্টর (সনাক্তকরণের নির্ভুলতা ≤ 5ppb) + কণা কাউন্টার (0.1μm কণার আকার সনাক্তকরণ)

▶ রিঞ্জিং পদ্ধতি: কাউন্টারকারেন্ট রিঞ্জিং (বিশুদ্ধ জলের ব্যবহার 85% পর্যন্ত বৃদ্ধি) + মেগাসনিক ক্যাভিটেশন (সাবমাইক্রন কণা অপসারণ)

মূল বৈশিষ্ট্য:

✔ অবশিষ্টাংশ-মুক্ত পরিচ্ছন্নতা: DI জল তিন-পর্যায়ের পরিস্রাবণ গ্রহণ করুন (সক্রিয় কার্বন + RO ঝিল্লি + পলিশিং রেজিন), 50L/মিনিট ওভারফ্লো হার সহ, TOC অবশিষ্টাংশ উপলব্ধি করতে <10ppb 10 মিনিটের মধ্যে

✔ প্রান্ত-বর্ধিত ক্লিনিং: পেটেন্টযুক্ত ঘূর্ণায়মান স্প্রে আর্ম (গতি 0-300rpm সমন্বয়যোগ্য), ওয়েফারের প্রান্তে 1mm এলাকার ক্লিনিং অন্ধ স্পট সমাধান করতে।

সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার ক্লিনিং প্রক্রিয়া হোয়াইট পেপার এবং একচেটিয়া উদ্ধৃতি প্রোগ্রামের জন্য আজই আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন!