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半導体・ウェーファー洗浄機 120KW 超音波洗濯機 40KHZ / 80KHZ

Name: 半導体・ウェーファー洗浄機 120KW 超音波洗濯機 40KHZ / 80KHZ
Brand: guangdong Jietai Ultrasonic cleaning Equipment Co., Ltd.
SKU: JTM-100504AD
Price: 800000 USD
Availability: InStock

ブランド名:	Jietai
モデル番号:	JTM-100504AD
MOQ:	1
Price:	￥800000
配達時間:	30~60 営業日
支払条件:	電信送金

詳細情報

製品説明

詳細情報

起源の場所:

トンコワン、広東省

証明:

CE, FCC, ROHS, etc.

名前:

半導体洗浄機

清掃温度:

60°C

モデル:

JTM-100504AD

タイプ:

超音波アルカリ洗浄+超音波酸洗浄+純水洗浄

清掃頻度:

40KHZ/80KHZ

タンク数:

総寸法:

12M*2M*2.8M

出力:

120kW

パッケージの詳細:

梱包：木箱、木枠、ストレッチフィルム。寸法：12m*2m*2.8m

供給の能力:

1台 30~60日かかる

ハイライト:

半導体・ウェーファー清掃機

ウェーファークリーニングマシン 120KW

超音波洗濯機 40KHZ

製品説明

半導体ウェーハクリーナー、超音波アルカリ洗浄 + 超音波酸性洗浄 + 純水リンス

主な技術的優位性

I. 三槽グラデーション洗浄システム

1. 超音波アルカリ洗浄槽 (pH 10-13)

技術パラメータ:

• 周波数: 80kHz/120kHz デュアル周波数切り替え (パルス超音波対応) • 槽材質: 改質PTFEライナー + 316Lステンレス鋼フレーム (130℃耐熱性、NaOH / アンモニア耐食性)

• 洗浄媒体: 水酸化カリウム (KOH)、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド (TMAH) などのアルカリ溶液

主な機能: ✔ レジスト残渣の効率的な剥離: キャビテーション効果により接着膜の分子結合を破壊し、50〜80℃の恒温制御と合わせて、15分以内にSU-8 / ポジ型レジストを99.9%除去 ✔ 粒子状汚染物質の捕捉: ミクロンサイズのPPカートリッジ (5μm) + 磁気フィルター (Fe/Coなどの金属粒子を捕捉) を内蔵 ✔ 洗浄廃液のリアルタイムろ過

2. 超音波酸性洗浄槽 (pH 1-3)

技術パラメータ:

• 周波数: 850kHz MF超音波 (キャビテーション閾値 > 200μm、液体衝撃による損傷を回避)

• 槽材質: パーフルオロアルコキシ樹脂 (PFA) ライナー (HF耐性)。 PFA) ライナー (HF/HNO₃混合酸耐性)

• 洗浄媒体: BOEバッファ酸化エッチング液 (HF:NH₄F=1:6)、王水 (HNO₃:HCl=1:3)

主な機能:

✔ 金属イオン除去の深さ ✔ 表面粗さ制御: Al/Cu電極残渣に対して、酸エッチング + 超音波振動により、Na⁺/K⁺残渣を

<10¹⁰ atoms/cm²✔ 表面粗さ制御: 超音波パワーを動的に調整 (50-300W)、温度制御の精度±0.5℃と合わせて、ウェーハ表面Ra値≤0.2nmを保証

3. 純水メガソニックリンス槽 (抵抗率≥18.2MΩ・cm)

技術パラメータ:

• 周波数: 850kHz MF超音波 (キャビテーション閾値 > 200μm、液体衝撃による損傷を回避)

• 水質モニタリング: オンラインTOC検出器 (検出精度≤5ppb) + 粒子カウンター (0.1μm粒子サイズ検出)

• リンス方法: 向流リンス (純水利用率85%に向上) + メガソニックキャビテーション (サブミクロン粒子の剥離)

主な特徴:

✔ 残留物のない清浄度: DI水三段階ろ過 (活性炭 + RO膜 + ポリッシング樹脂) を採用し、50L/minのオーバーフロー率で、TOC残留を実現

<10ppb within 10 minutes✔ エッジエンハンスドクリーニング: 特許取得済みの回転スプレーアーム (速度0-300rpm調整可能) により、ウェーハエッジの1mmエリアの洗浄死角を解決

半導体ウェーハ洗浄プロセスのホワイトペーパーと特別見積もりプログラムについては、今すぐお問い合わせください！

半導体・ウェーファー洗浄機 120KW 超音波洗濯機 40KHZ / 80KHZ 0

半導体・ウェーファー洗浄機 120KW 超音波洗濯機 40KHZ / 80KHZ 2

半導体・ウェーファー洗浄機 120KW 超音波洗濯機 40KHZ / 80KHZ 3

半導体・ウェーファー洗浄機 120KW 超音波洗濯機 40KHZ / 80KHZ 4

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半導体洗浄機

半導体・ウェーファー洗浄機 120KW 超音波洗濯機 40KHZ / 80KHZ

全カテゴリー

半導体・ウェーファー洗浄機 120KW 超音波洗濯機 40KHZ / 80KHZ

ブランド名:	Jietai
モデル番号:	JTM-100504AD
MOQ:	1
Price:	￥800000
パッケージの詳細:	梱包：木箱、木枠、ストレッチフィルム。寸法：12m2m2.8m
支払条件:	電信送金

詳細情報

製品説明

詳細情報

起源の場所:

トンコワン、広東省

ブランド名:

Jietai

証明:

CE, FCC, ROHS, etc.

モデル番号:

JTM-100504AD

名前:

半導体洗浄機

清掃温度:

60°C

モデル:

JTM-100504AD

タイプ:

超音波アルカリ洗浄+超音波酸洗浄+純水洗浄

清掃頻度:

40KHZ/80KHZ

タンク数:

総寸法:

12M*2M*2.8M

出力:

120kW

最小注文数量:

価格:

￥800000

パッケージの詳細:

梱包：木箱、木枠、ストレッチフィルム。寸法：12m*2m*2.8m

受渡し時間:

30~60 営業日

支払条件:

電信送金

供給の能力:

1台 30~60日かかる

ハイライト:

半導体・ウェーファー清掃機

ウェーファークリーニングマシン 120KW

超音波洗濯機 40KHZ

製品説明

半導体ウェーハクリーナー、超音波アルカリ洗浄 + 超音波酸性洗浄 + 純水リンス

主な技術的優位性

I. 三槽グラデーション洗浄システム

1. 超音波アルカリ洗浄槽 (pH 10-13)

技術パラメータ:

• 洗浄媒体: 水酸化カリウム (KOH)、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド (TMAH) などのアルカリ溶液

2. 超音波酸性洗浄槽 (pH 1-3)

技術パラメータ:

• 周波数: 850kHz MF超音波 (キャビテーション閾値 > 200μm、液体衝撃による損傷を回避)

• 槽材質: パーフルオロアルコキシ樹脂 (PFA) ライナー (HF耐性)。 PFA) ライナー (HF/HNO₃混合酸耐性)

• 洗浄媒体: BOEバッファ酸化エッチング液 (HF:NH₄F=1:6)、王水 (HNO₃:HCl=1:3)

主な機能:

✔ 金属イオン除去の深さ ✔ 表面粗さ制御: Al/Cu電極残渣に対して、酸エッチング + 超音波振動により、Na⁺/K⁺残渣を

<10¹⁰ atoms/cm²✔ 表面粗さ制御: 超音波パワーを動的に調整 (50-300W)、温度制御の精度±0.5℃と合わせて、ウェーハ表面Ra値≤0.2nmを保証

3. 純水メガソニックリンス槽 (抵抗率≥18.2MΩ・cm)

技術パラメータ:

• 周波数: 850kHz MF超音波 (キャビテーション閾値 > 200μm、液体衝撃による損傷を回避)

• 水質モニタリング: オンラインTOC検出器 (検出精度≤5ppb) + 粒子カウンター (0.1μm粒子サイズ検出)

• リンス方法: 向流リンス (純水利用率85%に向上) + メガソニックキャビテーション (サブミクロン粒子の剥離)

主な特徴:

✔ 残留物のない清浄度: DI水三段階ろ過 (活性炭 + RO膜 + ポリッシング樹脂) を採用し、50L/minのオーバーフロー率で、TOC残留を実現

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超音波浄化装置

エレクトロニクス 超音波クリーナー

装置の超音波クリーナー

半導体洗浄機

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航空宇宙用超音波クリーナー

医学の超音波洗剤

オーダーメイド 超音波クリーナー

スプレー清浄機械

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