منظف رقائق أشباه الموصلات، تنظيف قلوي بالموجات فوق الصوتية + تنظيف حمضي بالموجات فوق الصوتية + شطف بالماء النقي

المزايا الفنية الأساسية

أولاً. نظام تنظيف متدرج بثلاثة خزانات

1. خزان تنظيف قلوي بالموجات فوق الصوتية (درجة الحموضة 10-13)

المعايير الفنية:

▶ التردد: تبديل مزدوج التردد 80 كيلو هرتز / 120 كيلو هرتز (يدعم الموجات فوق الصوتية النبضية) ▶ مادة الخزان: بطانة PTFE معدلة + إطار من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L (مقاومة لدرجة الحرارة العالية 130 درجة مئوية، مقاومة لتآكل هيدروكسيد الصوديوم / الأمونيا)

▶ وسط التنظيف: محلول قلوي مثل هيدروكسيد البوتاسيوم (KOH)، هيدروكسيد رباعي ميثيل الأمونيوم (TMAH)، إلخ.

الوظائف الأساسية: ✔ إزالة بقايا مقاومة الضوء بكفاءة: تدمير الرابطة الجزيئية للفيلم اللاصق من خلال تأثير التجويف، جنبًا إلى جنب مع التحكم في درجة الحرارة الثابتة 50-80 درجة مئوية، وإزالة 99.9٪ من SU-8 / مقاومة الضوء الإيجابية في غضون 15 دقيقة

✔ التقاط ملوثات الجسيمات: خرطوشة PP ميكرونية مدمجة (5 ميكرومتر) + مرشح مغناطيسي (التقاط جسيمات الحديد / الكوبالت والمعادن الأخرى). ✔ الترشيح في الوقت الفعلي لنفايات التنظيف

2. خزان تنظيف حمضي بالموجات فوق الصوتية (درجة الحموضة 1-3)

المعايير الفنية:

▶ التردد: الموجات فوق الصوتية عالية التردد 150 كيلو هرتز (تقلل حجم فقاعات التجويف لتقليل تلف سطح الرقاقة)

▶ مادة الخزان: بطانة راتنج البيروكسي فلورو (PFA) (مقاومة لـ HF). بطانة PFA (مقاومة لـ HF / HNO₃ حمض مختلط)

▶ وسط التنظيف: عامل حفر أكسيد BOE (HF:NH₄F=1:6)، ماء ملكي (HNO₃:HCl=1:3)

الوظائف الأساسية:

✔ عمق إزالة أيونات المعادن ✔ التحكم في خشونة السطح: لبقايا قطب Al / Cu، من خلال الحفر الحمضي + الاهتزاز بالموجات فوق الصوتية، اجعل بقايا Na⁺/K⁺ <10⁰ ذرات/سم²

✔ التحكم في خشونة السطح: يتم تعديل طاقة الموجات فوق الصوتية ديناميكيًا (50-300 واط)، جنبًا إلى جنب مع دقة التحكم في درجة الحرارة ±0.5 درجة مئوية، لضمان أن قيمة Ra لسطح الرقاقة ≤ 0.2 نانومتر

3. خزان شطف ميغاسونيك بالماء النقي (المقاومة ≥ 18.2 ميجا أوم・سم)

المعايير الفنية:

▶ التردد: 850 كيلو هرتز MF الموجات فوق الصوتية (عتبة التجويف > 200 ميكرومتر، لتجنب تلف تأثير السائل)

▶ مراقبة جودة المياه: كاشف TOC عبر الإنترنت (دقة الكشف ≤ 5ppb) + عداد الجسيمات (كشف حجم الجسيمات 0.1 ميكرومتر)

▶ طريقة الشطف: الشطف بالتيار المعاكس (زيادة معدل استخدام الماء النقي إلى 85٪) + التجويف الميغاسوني (تجريد الجسيمات دون الميكرون)

الميزات الأساسية:

✔ نظافة خالية من البقايا: اعتماد ترشيح ثلاثي المراحل لمياه DI (الكربون المنشط + غشاء RO + راتنج التلميع)، بمعدل تدفق 50 لتر/دقيقة، لتحقيق TOC المتبقي <10ppb في غضون 10 دقائق

✔ تنظيف معزز للحواف: ذراع رش دوار حاصل على براءة اختراع (سرعة قابلة للتعديل 0-300 دورة في الدقيقة)، لحل البقعة العمياء للتنظيف بمساحة 1 مم على حافة الرقاقة.

اتصل بنا اليوم للحصول على الورقة البيضاء لعملية تنظيف رقائق أشباه الموصلات وبرنامج الاقتباس الحصري!