logo
İyi bir fiyat. çevrimiçi

Ürün ayrıntıları

Created with Pixso. Evde Created with Pixso. Ürünler Created with Pixso.
Yarım iletken temizleme makinesi
Created with Pixso. Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ

Marka Adı: Jietai
Model Numarası: JTM-100504AD
Moq: 1
fiyat: ¥800000
Teslim Zamanı: 30-60 iş günü
Ödeme Şartları: T/T
Ayrıntılı Bilgiler
Menşe yeri:
Dongguan, Guangdong
Sertifika:
CE, FCC, ROHS, etc.
Adı:
Yarım iletken temizleme makinesi
Temizleme sıcaklığı:
60°C
Model:
JTM-100504AD
Türü:
Ultrasonik alkalin yıkama+ultrasonik asit yıkama+saf su durulama
Temizleme sıklığı:
40khz/80khz
Tank sayısı:
10
Genel boyutlar:
12m*2m*2.8m
Güç:
120KW
Ambalaj bilgileri:
Ambalaj: ahşap kasa, ahşap çerçeve, streç film. Boyutlar: 12m*2m*2.8m
Yetenek temini:
Bir birim. 30 ila 60 gün sürecek.
Vurgulamak:

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi

,

Gofret Temizleme Makinesi 120KW

,

Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ

Ürün Açıklaması

Yarım iletkenli levha temizleyicisi, ultrasonik alkali temizleme + ultrasonik asit temizleme + saf su ile akıtma

 

Temel teknik avantajlar

I. Üç tanklı eğim temizleme sistemi

1Ultrasonik alkali temizlik tankı (pH 10-13)

Teknik parametreler:

▶ Frekans: 80kHz/120kHz Çift frekanslı anahtarlama (pulslu ultrason desteği) ▶ Tank malzemesi: değiştirilmiş PTFE kaplama + 316L paslanmaz çelik çerçeve (130 °C yüksek sıcaklığa dirençli,NaOH / amonyak korozyon direnci)

▶ Temizleme aracı: potasyum hidroksit (KOH), tetrametilamonyum hidroksit (TMAH) vb.

Temel fonksiyonları: ✔ Fotoresist kalıntıların verimli bir şekilde çıkarılması: kabitasyon etkisiyle yapışkan filmin moleküler bağını yok etmek, aynı zamanda 50-80°C sabit sıcaklık kontrolü,99'u kaldırmak.9% SU-8 / pozitif fotoresist 15 dakika içinde

✔ Parçacık kirletici yakalama: yerleşik mikron büyüklüğündeki PP kartuşu (5μm) + Manyetik Filtre (Fe/Co ve diğer metal parçacıklarını yakalar). ✔ Temizlik atıklarının gerçek zamanlı filtrasyonu

2. Ultrasonik Asit Temizleme Tankı (pH 1-3)

Teknik parametreler:

▶ Frekans: 150 kHz yüksek frekanslı ultrasonikasyon (wafer yüzey hasarını en aza indirmek için kavitasyon kabarcıklarının boyutunu azaltır)

▶ Tank malzemesi: Perfluoroalkoxy reçine (PFA) kaplama (HF dirençli).

▶ Temizleme ortamı: BOE tampon oksit etantı (HF:NH4F=1:6), akva regia (HNO3:HCl=1:3)

Temel işlevler:

✔ Metal iyonlarının çıkarılmasının derinliği ✔ Yüzey kabalığı kontrolü: Al/Cu elektrot kalıntıları için, asit kazımı + ultrasonik titreşim yoluyla, Na+/K+ kalıntıları <1010 atom/cm2

✔ Yüzey kabalığı kontrolü: wafer yüzey Ra değerinin ≤ 0.2nm olmasını sağlamak için sıcaklık kontrolünün doğruluğu ile birlikte dinamik olarak ayarlanmış ultrasonik güç (50-300W).

3. Saf su megasonik duraklama tankı (resistivite ≥ 18.2MΩ·cm)

Teknik parametreler:

▶ Frekans: 850kHz MF ultrason (sıvı çarpma hasarını önlemek için kavitasyon eşiği > 200μm)

▶ Su kalitesi izleme: çevrimiçi TOC dedektörü (detekleme doğruluğu ≤ 5ppb) + parçacık sayacı (0,1μm parçacık boyutu algılama)

▶ Yıkanma yöntemi: karşı akımlı yıkanma (saf su kullanım oranı %85'e yükseltildi) + megasonik kavitasyon (mikron altı parçacıkların çıkarılması)

Temel özellikleri:

✔ Kalıntısız temizlik: 10 dakika içinde TOC kalıntı <10ppb elde etmek için 50L/dakikada aşınma hızı ile DI su üç aşamalı filtrelemeyi (aktif karbon + RO zarı + cilalama reçini) uygulayın

✔ Kenar geliştirilmiş temizlik: patentli dönen sprey kolu (hız 0-300rpm ayarlanabilir), waferin kenarındaki 1 mm alanındaki temizlik kör noktasını çözmek için.

Yarım iletken wafer temizleme süreci beyaz kitabı ve özel teklif programı için bugün bizimle iletişime geçin!

 

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ 0Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ 1

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ 2

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ 3

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ 4

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ 5

İyi bir fiyat. çevrimiçi

Ürün ayrıntıları

Created with Pixso. Evde Created with Pixso. Ürünler Created with Pixso.
Yarım iletken temizleme makinesi
Created with Pixso. Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ

Marka Adı: Jietai
Model Numarası: JTM-100504AD
Moq: 1
fiyat: ¥800000
Paketleme Ayrıntıları: Ambalaj: ahşap kasa, ahşap çerçeve, streç film. Boyutlar: 12m*2m*2.8m
Ödeme Şartları: T/T
Ayrıntılı Bilgiler
Menşe yeri:
Dongguan, Guangdong
Marka adı:
Jietai
Sertifika:
CE, FCC, ROHS, etc.
Model numarası:
JTM-100504AD
Adı:
Yarım iletken temizleme makinesi
Temizleme sıcaklığı:
60°C
Model:
JTM-100504AD
Türü:
Ultrasonik alkalin yıkama+ultrasonik asit yıkama+saf su durulama
Temizleme sıklığı:
40khz/80khz
Tank sayısı:
10
Genel boyutlar:
12m*2m*2.8m
Güç:
120KW
Min sipariş miktarı:
1
Fiyat:
¥800000
Ambalaj bilgileri:
Ambalaj: ahşap kasa, ahşap çerçeve, streç film. Boyutlar: 12m*2m*2.8m
Teslim süresi:
30-60 iş günü
Ödeme koşulları:
T/T
Yetenek temini:
Bir birim. 30 ila 60 gün sürecek.
Vurgulamak:

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi

,

Gofret Temizleme Makinesi 120KW

,

Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ

Ürün Açıklaması

Yarım iletkenli levha temizleyicisi, ultrasonik alkali temizleme + ultrasonik asit temizleme + saf su ile akıtma

 

Temel teknik avantajlar

I. Üç tanklı eğim temizleme sistemi

1Ultrasonik alkali temizlik tankı (pH 10-13)

Teknik parametreler:

▶ Frekans: 80kHz/120kHz Çift frekanslı anahtarlama (pulslu ultrason desteği) ▶ Tank malzemesi: değiştirilmiş PTFE kaplama + 316L paslanmaz çelik çerçeve (130 °C yüksek sıcaklığa dirençli,NaOH / amonyak korozyon direnci)

▶ Temizleme aracı: potasyum hidroksit (KOH), tetrametilamonyum hidroksit (TMAH) vb.

Temel fonksiyonları: ✔ Fotoresist kalıntıların verimli bir şekilde çıkarılması: kabitasyon etkisiyle yapışkan filmin moleküler bağını yok etmek, aynı zamanda 50-80°C sabit sıcaklık kontrolü,99'u kaldırmak.9% SU-8 / pozitif fotoresist 15 dakika içinde

✔ Parçacık kirletici yakalama: yerleşik mikron büyüklüğündeki PP kartuşu (5μm) + Manyetik Filtre (Fe/Co ve diğer metal parçacıklarını yakalar). ✔ Temizlik atıklarının gerçek zamanlı filtrasyonu

2. Ultrasonik Asit Temizleme Tankı (pH 1-3)

Teknik parametreler:

▶ Frekans: 150 kHz yüksek frekanslı ultrasonikasyon (wafer yüzey hasarını en aza indirmek için kavitasyon kabarcıklarının boyutunu azaltır)

▶ Tank malzemesi: Perfluoroalkoxy reçine (PFA) kaplama (HF dirençli).

▶ Temizleme ortamı: BOE tampon oksit etantı (HF:NH4F=1:6), akva regia (HNO3:HCl=1:3)

Temel işlevler:

✔ Metal iyonlarının çıkarılmasının derinliği ✔ Yüzey kabalığı kontrolü: Al/Cu elektrot kalıntıları için, asit kazımı + ultrasonik titreşim yoluyla, Na+/K+ kalıntıları <1010 atom/cm2

✔ Yüzey kabalığı kontrolü: wafer yüzey Ra değerinin ≤ 0.2nm olmasını sağlamak için sıcaklık kontrolünün doğruluğu ile birlikte dinamik olarak ayarlanmış ultrasonik güç (50-300W).

3. Saf su megasonik duraklama tankı (resistivite ≥ 18.2MΩ·cm)

Teknik parametreler:

▶ Frekans: 850kHz MF ultrason (sıvı çarpma hasarını önlemek için kavitasyon eşiği > 200μm)

▶ Su kalitesi izleme: çevrimiçi TOC dedektörü (detekleme doğruluğu ≤ 5ppb) + parçacık sayacı (0,1μm parçacık boyutu algılama)

▶ Yıkanma yöntemi: karşı akımlı yıkanma (saf su kullanım oranı %85'e yükseltildi) + megasonik kavitasyon (mikron altı parçacıkların çıkarılması)

Temel özellikleri:

✔ Kalıntısız temizlik: 10 dakika içinde TOC kalıntı <10ppb elde etmek için 50L/dakikada aşınma hızı ile DI su üç aşamalı filtrelemeyi (aktif karbon + RO zarı + cilalama reçini) uygulayın

✔ Kenar geliştirilmiş temizlik: patentli dönen sprey kolu (hız 0-300rpm ayarlanabilir), waferin kenarındaki 1 mm alanındaki temizlik kör noktasını çözmek için.

Yarım iletken wafer temizleme süreci beyaz kitabı ve özel teklif programı için bugün bizimle iletişime geçin!

 

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ 0Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ 1

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ 2

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ 3

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ 4

Yarıiletken Gofret Temizleme Makinesi 120KW Ultrasonik Yıkama Makinesi 40KHZ / 80KHZ 5