Подробная информация о продукции

Домой продукты

Полупроводниковый чистильщик кремниевых пластин - ультразвуковая щелочная/кислотная очистка + промывка чистой водой, 60°C

Полупроводниковый чистильщик кремниевых пластин - ультразвуковая щелочная/кислотная очистка + промывка чистой водой, 60°C

Наименование марки:	Jietai
Номер модели:	JTM-100504AD
МОК:	1
цена:	￥800000
Время доставки:	30-60 рабочих дней
Условия оплаты:	T/T

Подробная информация

Описание продукта

Подробная информация

Место происхождения:

Dongguan, Гуандун

Сертификация:

CE, FCC, ROHS, etc.

Частота очистки:

40KHZ/80KHZ

Ультразвуковая щелочная промывка+Ультразвуковая кислотная промывка+Ополаскивание чистой водой

name:

Машина для очистки полупроводников

Температура очистки:

Общие размеры:

12М*2М*2.8М

Модель:

JTM-100504AD

Количество резервуаров:

Сила:

120 кВт

Упаковывая детали:

Упаковка: деревянный корпус, деревянная рама, растяжная пленка.

Поставка способности:

Это займет от 30 до 60 дней.

Описание продукта

Введение в продукт: Система очистки полупроводниковых кремниевых пластин

Разработанная для высокоточной полупроводниковой промышленности, эта интегрированная система очистки сочетает в себе многоступенчатые ультразвуковые процессы для обеспечения чистоты поверхности на уровне суб-ppb, что является критической предпосылкой для производства кремниевых пластин в передовых узлах (≤7 нм) микроэлектроники.

Поэтапный механизм очистки:

Ультразвуковая щелочная очистка: Работает на частоте 40–80 кГц для создания контролируемой кавитации в щелочной среде, эффективно удаляя органические загрязнения (например, фоторезист, углеводороды) и твердые частицы (≥1 мкм) с поверхности пластин и структурированных элементов. Перестраиваемая частота ультразвуковой энергии обеспечивает равномерную очистку пластин размером от 4 до 12 дюймов, включая скосы краев и задние поверхности.

Ультразвуковая кислотная очистка: Использует тот же диапазон частот в кислых растворах для удаления неорганических примесей, в частности, ионов металлов (Fe, Cu, Zn) и слоев оксида (SiO₂). Этот этап использует микроструи, вызванные кавитацией, для удаления частиц размером менее 100 нм, встроенных в траншеи или переходы, что подтверждается лазерными счетчиками частиц (≤5 частиц/пластина для ≥0,1 мкм).

Цикл промывки чистой водой: Окончательное ополаскивание сверхчистой водой (UPW, TOC ≤3ppb) удаляет остатки химикатов, достигая удельного сопротивления поверхности ≥18,2 МОм·см в соответствии со стандартами SEMI F020 для обработки перед осаждением.

Технические характеристики:

Диапазон ультразвуковых частот: 40 кГц–80 кГц (многочастотный выбор через ПЛК, оптимизация интенсивности кавитации для типа загрязнения)

Температура процесса: 60℃ (PID-контроль, допуск ±0,5℃) для ускорения химической реакции без создания напряжения в пластине

Совместимость материалов: Смачиваемые компоненты из PFA и высокочистого оксида алюминия для защиты от коррозии HF/H₂SO₄, предотвращающие выделение частиц

Основные показатели производительности:

Эффективность удаления частиц (PRE) ≥99,9% для загрязнений ≥0,1 мкм

Удаление остатков химикатов ≤0,1 нг/см² (проверено ICP-MS)

Совместимость с автоматизированной обработкой кассет (FOUP/SMIF) для круглосуточной интеграции в производство

Применение: Необходима для очистки перед литографией, после CMP и перед имплантацией в производственных линиях логики, памяти и датчиков.

Ключевые слова: Очиститель полупроводниковых пластин, ультразвуковая щелочная/кислотная очистка, промывка UPW, 40–80 кГц, процесс 60℃, дезактивация кремниевых пластин

Эта система обеспечивает стабильную эффективность очистки для максимизации выхода продукции в условиях крупносерийного производства полупроводников.

Полупроводниковый чистильщик кремниевых пластин - ультразвуковая щелочная/кислотная очистка + промывка чистой водой, 60°C 0

Полупроводниковый чистильщик кремниевых пластин - ультразвуковая щелочная/кислотная очистка + промывка чистой водой, 60°C 2

Полупроводниковый чистильщик кремниевых пластин - ультразвуковая щелочная/кислотная очистка + промывка чистой водой, 60°C 3

Полупроводниковый чистильщик кремниевых пластин - ультразвуковая щелочная/кислотная очистка + промывка чистой водой, 60°C 4

Полупроводниковый чистильщик кремниевых пластин - ультразвуковая щелочная/кислотная очистка + промывка чистой водой, 60°C 5

Tags:

Полностью автоматическая ультразвуковая очистная машина Кремниевые пластинки Ультразвуковое оборудование для очистки 100 кВт

Лучшая цена

Подробная информация о продукции

Домой продукты

Машина для очистки полупроводников

Все категории

Полупроводниковый чистильщик кремниевых пластин - ультразвуковая щелочная/кислотная очистка + промывка чистой водой, 60°C

Наименование марки:	Jietai
Номер модели:	JTM-100504AD
МОК:	1
цена:	￥800000
Подробная информация об упаковке:	Упаковка: деревянный корпус, деревянная рама, растяжная пленка.
Условия оплаты:	T/T

Подробная информация

Описание продукта

Подробная информация

Место происхождения:

Dongguan, Гуандун

Фирменное наименование:

Jietai

Сертификация:

CE, FCC, ROHS, etc.

Model Number:

JTM-100504AD

Частота очистки:

40KHZ/80KHZ

Тип:

Ультразвуковая щелочная промывка+Ультразвуковая кислотная промывка+Ополаскивание чистой водой

name:

Машина для очистки полупроводников

Температура очистки:

60°C

Общие размеры:

12М*2М*2.8М

Модель:

JTM-100504AD

Количество резервуаров:

Сила:

120 кВт

Количество мин заказа:

Цена:

￥800000

Упаковывая детали:

Упаковка: деревянный корпус, деревянная рама, растяжная пленка.

Время доставки:

30-60 рабочих дней

Payment Terms:

T/T

Поставка способности:

Это займет от 30 до 60 дней.

Описание продукта

Введение в продукт: Система очистки полупроводниковых кремниевых пластин

Поэтапный механизм очистки:

Ультразвуковая щелочная очистка: Работает на частоте 40–80 кГц для создания контролируемой кавитации в щелочной среде, эффективно удаляя органические загрязнения (например, фоторезист, углеводороды) и твердые частицы (≥1 мкм) с поверхности пластин и структурированных элементов. Перестраиваемая частота ультразвуковой энергии обеспечивает равномерную очистку пластин размером от 4 до 12 дюймов, включая скосы краев и задние поверхности.

Ультразвуковая кислотная очистка: Использует тот же диапазон частот в кислых растворах для удаления неорганических примесей, в частности, ионов металлов (Fe, Cu, Zn) и слоев оксида (SiO₂). Этот этап использует микроструи, вызванные кавитацией, для удаления частиц размером менее 100 нм, встроенных в траншеи или переходы, что подтверждается лазерными счетчиками частиц (≤5 частиц/пластина для ≥0,1 мкм).

Цикл промывки чистой водой: Окончательное ополаскивание сверхчистой водой (UPW, TOC ≤3ppb) удаляет остатки химикатов, достигая удельного сопротивления поверхности ≥18,2 МОм·см в соответствии со стандартами SEMI F020 для обработки перед осаждением.

Технические характеристики:

Диапазон ультразвуковых частот: 40 кГц–80 кГц (многочастотный выбор через ПЛК, оптимизация интенсивности кавитации для типа загрязнения)

Температура процесса: 60℃ (PID-контроль, допуск ±0,5℃) для ускорения химической реакции без создания напряжения в пластине

Совместимость материалов: Смачиваемые компоненты из PFA и высокочистого оксида алюминия для защиты от коррозии HF/H₂SO₄, предотвращающие выделение частиц

Основные показатели производительности:

Эффективность удаления частиц (PRE) ≥99,9% для загрязнений ≥0,1 мкм

Удаление остатков химикатов ≤0,1 нг/см² (проверено ICP-MS)

Совместимость с автоматизированной обработкой кассет (FOUP/SMIF) для круглосуточной интеграции в производство

Tags:

Полностью автоматическая ультразвуковая очистная машина Кремниевые пластинки Ультразвуковое оборудование для очистки 100 кВт

Лучшая цена

Ультразвуковое очистное оборудование

Ультразвуковое очиститель для электроники

Ультразвуковой очиститель прибора

Машина для очистки полупроводников

Коммерческий ультразвуковой очиститель

Ультразвуковое очиститель для аэрокосмической промышленности

Медицинский ультразвуковой уборщик

Ультразвуковой очиститель

Машина чистки брызг

Ультразвуковая машина для очистки плесени

Автомобильный ультразвуковой очиститель

Оборудование для очистки промышленных сточных вод

Ультразвуковое очистное оборудование

Ультразвуковое очиститель для электроники

Ультразвуковой очиститель прибора

Машина для очистки полупроводников

Коммерческий ультразвуковой очиститель

Ультразвуковое очиститель для аэрокосмической промышленности

Медицинский ультразвуковой уборщик

Ультразвуковой очиститель

Машина чистки брызг

Ультразвуковая машина для очистки плесени

Автомобильный ультразвуковой очиститель

Оборудование для очистки промышленных сточных вод

Подробная информация о продукции

Полупроводниковый чистильщик кремниевых пластин - ультразвуковая щелочная/кислотная очистка + промывка чистой водой, 60°C

Подробная информация о продукции

Ультразвуковое очистное оборудование

Ультразвуковое очиститель для электроники

Ультразвуковой очиститель прибора

Машина для очистки полупроводников

Коммерческий ультразвуковой очиститель

Ультразвуковое очиститель для аэрокосмической промышленности

Медицинский ультразвуковой уборщик

Ультразвуковой очиститель

Машина чистки брызг

Ультразвуковая машина для очистки плесени

Автомобильный ультразвуковой очиститель

Оборудование для очистки промышленных сточных вод

Полупроводниковый чистильщик кремниевых пластин - ультразвуковая щелочная/кислотная очистка + промывка чистой водой, 60°C