جزئیات محصولات

خونه محصولات

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C

نام تجاری:	Jietai
شماره مدل:	JTM-100504AD
مقدار تولیدی:	1
قیمت:	￥800000
زمان تحویل:	30-60work days
شرایط پرداخت:	T/T

اطلاعات دقیق

توضیح محصول

اطلاعات دقیق

محل منبع:

دونگوان، گوانگدونگ

گواهی:

CE, FCC, ROHS, etc.

فرکانس تمیز کردن:

40KHZ/80KHZ

شستشوی قلیایی اولتراسونیک+شستشوی اسید اولتراسونیک+شستشوی آب خالص

ماشین تمیز کردن نیمه هادی

دمای تمیز کردن:

60 درجه سانتیگراد

ابعاد کلی:

12m*2m*2.8m

JTM-100504AD

تعداد مخازن:

قدرت:

120 کیلو وات

جزئیات بسته بندی:

بسته بندی: مورد چوبی ، قاب چوبی ، فیلم کشش. ابعاد: 12m*2m*2.8m

قابلیت ارائه:

یک واحد 30 تا 60 روز طول خواهد کشید.

توضیح محصول

معرفی محصول: سیستم تمیز کردن سیلیکون سیلیکون سیمیکوندکتور

این سیستم تمیز کردن یکپارچه که برای تولید نیمه هادی با دقت بالا طراحی شده است، ترکیبی از فرایندهای فوق صوتی چند مرحله ای برای ارائه پاکی سطح پایین تر از pppb است.یک پیش نیاز حیاتی برای تولید وافرهای سیلیکونی در تولید میکروالکترونیک گره پیشرفته (≤7nm).

مکانیسم تمیز کردن مرحله به مرحله:

تمیز کردن آلکالی با استفاده از صوتی فوق العاده: کار می کند در 40KHz-80KHz برای تولید حفره سازی کنترل شده در رسانه های قلیایی، به طور موثر پاک کردن آلاینده های آلی (به عنوان مثال، photoresist،هیدروکربن ها) و ذرات (≥1μm) از سطوح و ساختار های الگوییانرژی فوق صوتی تنظیم شده به فرکانس، تمیز کردن یکنواخت را در تمام وافرهای 4 تا 12 اینچی، از جمله لبه های لبه و سطوح پشت را تضمین می کند.

پاکسازی اسید با سونوگرافی: از همان محدوده فرکانس در محلول های اسیدی برای هدف قرار دادن ناخالصی های غیر ارگانیک، به ویژه آلاینده های یون فلزی (Fe، Cu، Zn) و لایه های اکسید بومی (SiO2) استفاده می کند.این مرحله از مایکرو جت های ایجاد شده توسط حفاری استفاده می کند تا ذرات زیر 100 نانومتری را که در خندق ها یا ویاس ها جاسازی شده اند از بین ببرند.، با شمارنده های ذرات لیزر (≤5 ذره/وفر برای ≥0.1μm) تأیید شده است.

چرخه شستشو با آب خالص: شستشوی نهایی با UPW (آب فوق العاده خالص، TOC ≤3ppb) مواد شیمیایی باقی مانده را از بین می برد و به مقاومت سطحی ≥18.2MΩ·cm می رسد تا با استانداردهای SEMI F020 برای پردازش پیش از رسوب مطابقت داشته باشد.

مشخصات فنی:

باند فرکانس فوق صوتی: 40KHz-80KHz (فریکونسی چندگانه قابل انتخاب از طریق PLC، بهینه سازی شدت حفره سازی برای نوع آلودگی)

دمای فرآیند: 60°C (PID کنترل شده، ± 0.5°C تحمل) برای تسریع واکنش شیمیایی بدون ایجاد استرس وافر

سازگاری مواد: اجزای رطوبت یافته در PFA و آلومینا خالص برای مقاومت در برابر خوردگی HF / H2SO4 ، جلوگیری از ریزش ذرات

معیارهای اصلی عملکرد:

کارایی حذف ذرات (PRE) ≥99.9٪ برای آلاینده های ≥0.1μm

حذف بقایای شیمیایی ≤0.1ng/cm2 (بررسی شده توسط ICP-MS)

سازگار با دستکاری خودکار کاست (FOUP / SMIF) برای ادغام 24/7 fab

درخواست: ضروری برای پاکسازی قبل از لیتو، پس از CMP و قبل از کاشت در خطوط تولید منطق، حافظه و سیگنال.

کلمات کلیدی: پاک کننده وافرهای نیمه هادی، تمیز کردن آلکالی/اسید با ماوراء الصوت، شستشوی UPW، فرآیند 40-80KHz، 60°C، پاکسازی وافرهای سیلیکون

این سیستم عملکرد تمیز کننده ثابت را برای به حداکثر رساندن بهره در محیط های تولید نیمه هادی با حجم بالا تضمین می کند.

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C 0

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C 2

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C 3

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C 4

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C 5

Tags:

تمیزکننده اولتراسونیک خودکار,تجهیزات تمیزکننده اولتراسونیک,سیستم تمیز کننده اولتراسونیک

Ultrasonic Cleaner Equipment

Ultrasonic Cleaning System

محصولات مرتبط

ویدیو

11 مخازن ماشین تمیز کردن نیمه هادی ماشین تمیز کردن سیلیکون 40KHZ

بهترین قیمت رو بدست بیار

ویدیو

100KW سیستم تمیز کردن فوق صوتی خودکار 11 مخازن ماشین های تمیز کردن فوق صوتی

بهترین قیمت رو بدست بیار

ویدیو

ماشین تمیز کردن نیمه هادی با کارایی بالا 250KW پاک کننده فوق صوتی سفارشی

بهترین قیمت رو بدست بیار

ویدیو

دستگاه تمیز کننده اولتراسونیک اتوماتیک چند مرحله ای با سیستم غیرفعال سازی سفارشی

بهترین قیمت رو بدست بیار

ویدیو

دستگاه تمیز کردن دستی نیمه هادی 251 کیلووات خط تمیز کردن الکترولیتی سفارشی برای بدنه شیر

بهترین قیمت رو بدست بیار

ویدیو

سیستم تمیز کردن فوق صوتی پنکه های نیمه هادی 100KW ماشین تمیز کننده فوق صوتی خودکار

بهترین قیمت رو بدست بیار

دستگاه تمیز کردن نیمه هادی 180KW بدن دریچه سیستم های منفعل سازی 40KHZ - 80KHZ

بهترین قیمت رو بدست بیار

ویدیو

ماشین تمیز کردن فوق صوتی کاملا اتوماتیک سیلیکون وافرهای سیلیکون تجهیزات تمیز کننده فوق صوتی 100KW

بهترین قیمت رو بدست بیار

جزئیات محصولات

خونه محصولات

ماشین تمیز کردن نیمه هادی

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C

تمام دسته ها

تجهیزات تمیز کردن اولتراسونیک

پاک کننده اولتراسونیک الکترونیک

ابزار پاک کننده اولتراسونیک

ماشین تمیز کردن نیمه هادی

تمیز کننده اولتراسونیک تجاری

هوافضا پاک کننده اولفلتونیک

پاک کننده اولتراسونیک پزشکی

تمیز کننده اولتراسونیک سفارشی

دستگاه اسپری تمیز کننده

دستگاه تمیز کردن قالب اولتراسونیک

پاک کننده اولتراسونیک خودرو

تجهیزات تصفیه فاضلاب صنعتی

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C

نام تجاری:	Jietai
شماره مدل:	JTM-100504AD
مقدار تولیدی:	1
قیمت:	￥800000
جزئیات بسته بندی:	بسته بندی: مورد چوبی ، قاب چوبی ، فیلم کشش. ابعاد: 12m2m2.8m
شرایط پرداخت:	T/T

اطلاعات دقیق

توضیح محصول

اطلاعات دقیق

محل منبع:

دونگوان، گوانگدونگ

نام تجاری:

Jietai

گواهی:

CE, FCC, ROHS, etc.

Model Number:

JTM-100504AD

فرکانس تمیز کردن:

40KHZ/80KHZ

نوع:

شستشوی قلیایی اولتراسونیک+شستشوی اسید اولتراسونیک+شستشوی آب خالص

نام:

ماشین تمیز کردن نیمه هادی

دمای تمیز کردن:

60 درجه سانتیگراد

ابعاد کلی:

12m*2m*2.8m

مدل:

JTM-100504AD

تعداد مخازن:

قدرت:

120 کیلو وات

مقدار حداقل تعداد سفارش:

قیمت:

￥800000

جزئیات بسته بندی:

بسته بندی: مورد چوبی ، قاب چوبی ، فیلم کشش. ابعاد: 12m*2m*2.8m

Delivery Time:

30-60work days

Payment Terms:

T/T

قابلیت ارائه:

یک واحد 30 تا 60 روز طول خواهد کشید.

توضیح محصول

معرفی محصول: سیستم تمیز کردن سیلیکون سیلیکون سیمیکوندکتور

مکانیسم تمیز کردن مرحله به مرحله:

تمیز کردن آلکالی با استفاده از صوتی فوق العاده: کار می کند در 40KHz-80KHz برای تولید حفره سازی کنترل شده در رسانه های قلیایی، به طور موثر پاک کردن آلاینده های آلی (به عنوان مثال، photoresist،هیدروکربن ها) و ذرات (≥1μm) از سطوح و ساختار های الگوییانرژی فوق صوتی تنظیم شده به فرکانس، تمیز کردن یکنواخت را در تمام وافرهای 4 تا 12 اینچی، از جمله لبه های لبه و سطوح پشت را تضمین می کند.

پاکسازی اسید با سونوگرافی: از همان محدوده فرکانس در محلول های اسیدی برای هدف قرار دادن ناخالصی های غیر ارگانیک، به ویژه آلاینده های یون فلزی (Fe، Cu، Zn) و لایه های اکسید بومی (SiO2) استفاده می کند.این مرحله از مایکرو جت های ایجاد شده توسط حفاری استفاده می کند تا ذرات زیر 100 نانومتری را که در خندق ها یا ویاس ها جاسازی شده اند از بین ببرند.، با شمارنده های ذرات لیزر (≤5 ذره/وفر برای ≥0.1μm) تأیید شده است.

چرخه شستشو با آب خالص: شستشوی نهایی با UPW (آب فوق العاده خالص، TOC ≤3ppb) مواد شیمیایی باقی مانده را از بین می برد و به مقاومت سطحی ≥18.2MΩ·cm می رسد تا با استانداردهای SEMI F020 برای پردازش پیش از رسوب مطابقت داشته باشد.

مشخصات فنی:

باند فرکانس فوق صوتی: 40KHz-80KHz (فریکونسی چندگانه قابل انتخاب از طریق PLC، بهینه سازی شدت حفره سازی برای نوع آلودگی)

دمای فرآیند: 60°C (PID کنترل شده، ± 0.5°C تحمل) برای تسریع واکنش شیمیایی بدون ایجاد استرس وافر

سازگاری مواد: اجزای رطوبت یافته در PFA و آلومینا خالص برای مقاومت در برابر خوردگی HF / H2SO4 ، جلوگیری از ریزش ذرات

معیارهای اصلی عملکرد:

کارایی حذف ذرات (PRE) ≥99.9٪ برای آلاینده های ≥0.1μm

حذف بقایای شیمیایی ≤0.1ng/cm2 (بررسی شده توسط ICP-MS)

سازگار با دستکاری خودکار کاست (FOUP / SMIF) برای ادغام 24/7 fab

درخواست: ضروری برای پاکسازی قبل از لیتو، پس از CMP و قبل از کاشت در خطوط تولید منطق، حافظه و سیگنال.

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C 0

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C 2

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C 3

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C 4

پاک کننده سیلیکون نیمه هادی - 40KHz-80KHz Ultrasonic Alkaline/Acid Cleaning + شستشوی آب خالص، 60°C 5

Tags: