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半導体シリコンウェーハクリーナー - 40KHz-80KHz 超音波アルカリ/酸洗浄 + UPWリンス、60℃

Name: 半導体シリコンウェーハクリーナー - 40KHz-80KHz 超音波アルカリ/酸洗浄 + UPWリンス、60℃
Brand: guangdong Jietai Ultrasonic cleaning Equipment Co., Ltd.
SKU: JTM-100504AD
Price: 800000 USD
Availability: InStock

ブランド名:	Jietai
モデル番号:	JTM-100504AD
MOQ:	1
Price:	￥800000
配達時間:	30~60 営業日
支払条件:	t/t

詳細情報

製品説明

詳細情報

起源の場所:

トンコワン、広東省

証明:

CE, FCC, ROHS, etc.

タイプ:

超音波アルカリ洗浄+超音波酸洗浄+純水洗浄

名前:

半導体洗浄機

モデル:

JTM-100504AD

総寸法:

12M*2M*2.8M

清掃頻度:

40KHZ/80KHZ

出力:

120kW

清掃温度:

60°C

タンク数:

パッケージの詳細:

梱包：木箱、木枠、ストレッチフィルム。寸法：12m*2m*2.8m

供給の能力:

1台 30~60日かかる

製品説明

製品紹介：半導体シリコンウェーハクリーナー

半導体製造向けに精密に設計されたこの超音波洗浄システムは、シリコンウェーハの表面純度をサブミクロンレベルで実現するために、多段階プロセスを統合しています。これは、高度なノード製造（5nmまで）におけるデバイス性能を維持するために不可欠です。

シーケンシャル洗浄段階:

超音波アルカリスクラブ: アルカリ浴中で40KHz〜80KHzの超音波キャビテーションを利用して、有機汚染物質を分解し、フォトレジスト残留物を剥離し、ウェーハ表面およびビア構造からマクロ粒子（≥1μm）を剥離します。周波数可変の超音波エネルギーは、4インチ〜12インチのウェーハ直径全体、エッジ除外ゾーンを含む均一な洗浄を保証します。

超音波酸エッチング: 酸性媒体で同じ周波数範囲を利用して、無機不純物、具体的には金属イオン（Fe、Cu、Zn）および自然酸化膜（SiO₂）を溶解します。キャビテーションマイクロジェットは、パターン化された特徴に浸透して、埋め込まれた100nm以下の汚染物質を除去します。これは、パーティクルカウンターの測定値（≤10 particles/wafer for ≥0.1μm）によって検証されています。

UPWリンス: 超純水（UPW、TOC ≤5ppb）による最終リンスは、残留化学物質を洗い流し、表面抵抗率≥18.2MΩ·cmを達成します。これは、前処理洗浄に関するSEMI F20規格に適合しています。

プロセスパラメータ:

周波数帯: 40KHz〜80KHz（マルチ周波数動作、汚染物質固有の調整のためにHMIを介して選択可能）

温度設定点: 60℃（PID制御、±1℃の許容範囲）で、ウェーハの反りを誘発することなく、化学反応速度を最適化します。

材料適合性: 金属イオンの溶出を防ぎ、クロスコンタミネーションをゼロにするために、PFA（パーフルオロアルコキシ）およびサファイアの湿潤部品を使用しています。

Fab統合の利点:

FOUP/SMIFポッドローディングと互換性があり、自動カセットハンドリングが可能で、人的介入を削減します。

クリーンルームクラス設計（ISO 5）とHEPAフィルター排気により、クラス1環境への準拠を維持します。

50以上の洗浄プロトコルをレシピ保存し、ベアウェーハ、SOIウェーハ、エピウェーハに対応します。

用途: ロジック、メモリ、MEMS製造ラインにおけるプリリソ、ポストCMP、ポストエッチ洗浄に不可欠です。

キーワード: 半導体ウェーハ超音波クリーナー、アルカリ酸シーケンシャル洗浄、UPWリンス、40-80KHz、60℃プロセス、サブミクロン除染

半導体シリコンウェーハクリーナー - 40KHz-80KHz 超音波アルカリ/酸洗浄 + UPWリンス、60℃ 0

半導体シリコンウェーハクリーナー - 40KHz-80KHz 超音波アルカリ/酸洗浄 + UPWリンス、60℃ 2

半導体シリコンウェーハクリーナー - 40KHz-80KHz 超音波アルカリ/酸洗浄 + UPWリンス、60℃ 3

半導体シリコンウェーハクリーナー - 40KHz-80KHz 超音波アルカリ/酸洗浄 + UPWリンス、60℃ 4

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半導体シリコンウェーハクリーナー - 40KHz-80KHz 超音波アルカリ/酸洗浄 + UPWリンス、60℃

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半導体シリコンウェーハクリーナー - 40KHz-80KHz 超音波アルカリ/酸洗浄 + UPWリンス、60℃

ブランド名:	Jietai
モデル番号:	JTM-100504AD
MOQ:	1
Price:	￥800000
パッケージの詳細:	梱包：木箱、木枠、ストレッチフィルム。寸法：12m2m2.8m
支払条件:	t/t

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製品説明

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起源の場所:

トンコワン、広東省

ブランド名:

Jietai

証明:

CE, FCC, ROHS, etc.

モデル番号:

JTM-100504AD

タイプ:

超音波アルカリ洗浄+超音波酸洗浄+純水洗浄

名前:

半導体洗浄機

モデル:

JTM-100504AD

総寸法:

12M*2M*2.8M

清掃頻度:

40KHZ/80KHZ

出力:

120kW

清掃温度:

60°C

タンク数:

最小注文数量:

価格:

￥800000

パッケージの詳細:

梱包：木箱、木枠、ストレッチフィルム。寸法：12m*2m*2.8m

受渡し時間:

30~60 営業日

支払条件:

t/t

供給の能力:

1台 30~60日かかる

製品説明

製品紹介：半導体シリコンウェーハクリーナー

シーケンシャル洗浄段階:

超音波アルカリスクラブ: アルカリ浴中で40KHz〜80KHzの超音波キャビテーションを利用して、有機汚染物質を分解し、フォトレジスト残留物を剥離し、ウェーハ表面およびビア構造からマクロ粒子（≥1μm）を剥離します。周波数可変の超音波エネルギーは、4インチ〜12インチのウェーハ直径全体、エッジ除外ゾーンを含む均一な洗浄を保証します。

超音波酸エッチング: 酸性媒体で同じ周波数範囲を利用して、無機不純物、具体的には金属イオン（Fe、Cu、Zn）および自然酸化膜（SiO₂）を溶解します。キャビテーションマイクロジェットは、パターン化された特徴に浸透して、埋め込まれた100nm以下の汚染物質を除去します。これは、パーティクルカウンターの測定値（≤10 particles/wafer for ≥0.1μm）によって検証されています。

UPWリンス: 超純水（UPW、TOC ≤5ppb）による最終リンスは、残留化学物質を洗い流し、表面抵抗率≥18.2MΩ·cmを達成します。これは、前処理洗浄に関するSEMI F20規格に適合しています。

プロセスパラメータ:

周波数帯: 40KHz〜80KHz（マルチ周波数動作、汚染物質固有の調整のためにHMIを介して選択可能）

温度設定点: 60℃（PID制御、±1℃の許容範囲）で、ウェーハの反りを誘発することなく、化学反応速度を最適化します。

材料適合性: 金属イオンの溶出を防ぎ、クロスコンタミネーションをゼロにするために、PFA（パーフルオロアルコキシ）およびサファイアの湿潤部品を使用しています。

Fab統合の利点:

FOUP/SMIFポッドローディングと互換性があり、自動カセットハンドリングが可能で、人的介入を削減します。

クリーンルームクラス設計（ISO 5）とHEPAフィルター排気により、クラス1環境への準拠を維持します。

50以上の洗浄プロトコルをレシピ保存し、ベアウェーハ、SOIウェーハ、エピウェーハに対応します。

用途: ロジック、メモリ、MEMS製造ラインにおけるプリリソ、ポストCMP、ポストエッチ洗浄に不可欠です。

キーワード: 半導体ウェーハ超音波クリーナー、アルカリ酸シーケンシャル洗浄、UPWリンス、40-80KHz、60℃プロセス、サブミクロン除染

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