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Detalhes dos produtos

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Máquina de limpeza de semicondutores
Created with Pixso. Limpeza de Wafer de Silício de Semicondutores de 40KHz-80KHz - Limpeza Alcalina/Ácida Ultrasônica + Enxaguamento com Água Pura, 60°C

Limpeza de Wafer de Silício de Semicondutores de 40KHz-80KHz - Limpeza Alcalina/Ácida Ultrasônica + Enxaguamento com Água Pura, 60°C

Nome da marca: Jietai
Número do modelo: JTM-100504AD
MOQ: 1
preço: ¥800000
Tempo de entrega: 30 a 60 dias úteis
Condições de pagamento: T/T
Informações pormenorizadas
Place of Origin:
Dongguan, Guangdong
Certificação:
CE, FCC, ROHS, etc.
nome:
Máquina de limpeza de semicondutores
Número de tanques:
10
Dimensões totais:
12M*2M*2.8M
Potência:
120 kW
Temperatura de limpeza:
60°C
Type:
Ultrasonic alkaline washing+Ultrasonic acid washing+Pure water rinsing
Frequência de limpeza:
40KHZ/80KHZ
Model:
JTM-100504AD
Detalhes da embalagem:
Embalagem: caixa de madeira, quadro de madeira, filme elástico.
Habilidade da fonte:
Uma unidade, levará de 30 a 60 dias.
Descrição do produto

Introdução do Produto: Limpador de Pastilhas de Silício Semicondutor
Projetado para limpeza de alta precisão na fabricação de semicondutores, este sistema especializado combina processos ultrassônicos de múltiplos estágios para atender às rigorosas exigências de pureza de superfície das pastilhas de silício, impactando diretamente a confiabilidade do dispositivo e o rendimento da produção na fabricação de microeletrônicos.
Procedimentos de Limpeza Essenciais:
  • Limpeza Ultrassônica Alcalina: Emprega cavitação ultrassônica em meio alcalino para remover eficientemente contaminantes orgânicos, resíduos de fotorresistência e detritos particulados das superfícies das pastilhas e estruturas intrincadas (por exemplo, trincheiras, vias), criando um substrato impecável para as etapas subsequentes de processamento.
  • Limpeza Ultrassônica Ácida: Utiliza agitação ultrassônica à base de ácido para direcionar e remover impurezas inorgânicas, incluindo contaminantes de íons metálicos (Fe, Cu, Ni) e camadas de óxido nativo, aproveitando micro-jatos induzidos por frequência para desalojar partículas submicronicas de superfícies padronizadas ou polidas.
  • Enxágue com Água Pura: A etapa final utiliza água ultra-pura (UPW) com resistividade ≥18.2MΩ·cm para enxágue completo, eliminando agentes de limpeza residuais e garantindo a inércia da superfície—crítico para o manuseio da pastilha pós-limpeza e deposição de filme fino.
Especificações Técnicas:
  • Frequência Ultrassônica: 40KHz-80KHz (saída de frequência variável, permitindo a otimização da intensidade da cavitação para diferentes perfis de contaminação e tamanhos de pastilha)
  • Temperatura de Operação: 60℃ (ambiente térmico controlado com precisão para aumentar a reatividade química, mantendo a integridade estrutural da pastilha)
  • Construção do Material: Tanques e componentes de contato feitos de PFA e quartzo de alta pureza para resistir à corrosão química e evitar a liberação de partículas, garantindo zero contaminação secundária.
Principais Vantagens de Desempenho:
  • Oferece eficiência de remoção de partículas (PRE) de ≥99,9% para partículas ≥0,1μm, em conformidade com os padrões SEMI para processamento de nó avançado
  • A configuração ultrassônica multifrequência se adapta a pastilhas nuas, pastilhas epitaxiais e pastilhas padronizadas (até nós de tecnologia de 7nm)
  • A regulação de temperatura de 60℃ estabiliza a cinética da reação química, garantindo resultados de limpeza consistentes em operações em lote
  • Compatível com sistemas automatizados de manuseio de pastilhas (pods SMIF, FOUPs) para integração perfeita em fluxos de trabalho de fábrica
Escopo de Aplicação: Essencial para limpeza pré-litografia, pós-CMP (Polimento Químico-Mecânico) e pré-metalização em linhas de produção de pastilhas de silício de 6 a 12 polegadas.
Palavras-chave: Sistema de limpeza de pastilhas de semicondutores, tratamento ultrassônico alcalino/ácido, enxágue com água pura, frequência de 40-80KHz, processo de 60℃, descontaminação de pastilhas de silício
Este sistema fornece uma solução confiável para fabricantes de semicondutores que buscam minimizar as taxas de defeito e aumentar a estabilidade do processo na produção de pastilhas de alto volume.

Limpeza de Wafer de Silício de Semicondutores de 40KHz-80KHz - Limpeza Alcalina/Ácida Ultrasônica + Enxaguamento com Água Pura, 60°C 0Limpeza de Wafer de Silício de Semicondutores de 40KHz-80KHz - Limpeza Alcalina/Ácida Ultrasônica + Enxaguamento com Água Pura, 60°C 1

Limpeza de Wafer de Silício de Semicondutores de 40KHz-80KHz - Limpeza Alcalina/Ácida Ultrasônica + Enxaguamento com Água Pura, 60°C 2

Limpeza de Wafer de Silício de Semicondutores de 40KHz-80KHz - Limpeza Alcalina/Ácida Ultrasônica + Enxaguamento com Água Pura, 60°C 3

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Nome da marca: Jietai
Número do modelo: JTM-100504AD
MOQ: 1
preço: ¥800000
Detalhes da embalagem: Embalagem: caixa de madeira, quadro de madeira, filme elástico.
Condições de pagamento: T/T
Informações pormenorizadas
Place of Origin:
Dongguan, Guangdong
Marca:
Jietai
Certificação:
CE, FCC, ROHS, etc.
Model Number:
JTM-100504AD
nome:
Máquina de limpeza de semicondutores
Número de tanques:
10
Dimensões totais:
12M*2M*2.8M
Potência:
120 kW
Temperatura de limpeza:
60°C
Type:
Ultrasonic alkaline washing+Ultrasonic acid washing+Pure water rinsing
Frequência de limpeza:
40KHZ/80KHZ
Model:
JTM-100504AD
Minimum Order Quantity:
1
Preço:
¥800000
Detalhes da embalagem:
Embalagem: caixa de madeira, quadro de madeira, filme elástico.
Tempo de entrega:
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Payment Terms:
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Habilidade da fonte:
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Introdução do Produto: Limpador de Pastilhas de Silício Semicondutor
Projetado para limpeza de alta precisão na fabricação de semicondutores, este sistema especializado combina processos ultrassônicos de múltiplos estágios para atender às rigorosas exigências de pureza de superfície das pastilhas de silício, impactando diretamente a confiabilidade do dispositivo e o rendimento da produção na fabricação de microeletrônicos.
Procedimentos de Limpeza Essenciais:
  • Limpeza Ultrassônica Alcalina: Emprega cavitação ultrassônica em meio alcalino para remover eficientemente contaminantes orgânicos, resíduos de fotorresistência e detritos particulados das superfícies das pastilhas e estruturas intrincadas (por exemplo, trincheiras, vias), criando um substrato impecável para as etapas subsequentes de processamento.
  • Limpeza Ultrassônica Ácida: Utiliza agitação ultrassônica à base de ácido para direcionar e remover impurezas inorgânicas, incluindo contaminantes de íons metálicos (Fe, Cu, Ni) e camadas de óxido nativo, aproveitando micro-jatos induzidos por frequência para desalojar partículas submicronicas de superfícies padronizadas ou polidas.
  • Enxágue com Água Pura: A etapa final utiliza água ultra-pura (UPW) com resistividade ≥18.2MΩ·cm para enxágue completo, eliminando agentes de limpeza residuais e garantindo a inércia da superfície—crítico para o manuseio da pastilha pós-limpeza e deposição de filme fino.
Especificações Técnicas:
  • Frequência Ultrassônica: 40KHz-80KHz (saída de frequência variável, permitindo a otimização da intensidade da cavitação para diferentes perfis de contaminação e tamanhos de pastilha)
  • Temperatura de Operação: 60℃ (ambiente térmico controlado com precisão para aumentar a reatividade química, mantendo a integridade estrutural da pastilha)
  • Construção do Material: Tanques e componentes de contato feitos de PFA e quartzo de alta pureza para resistir à corrosão química e evitar a liberação de partículas, garantindo zero contaminação secundária.
Principais Vantagens de Desempenho:
  • Oferece eficiência de remoção de partículas (PRE) de ≥99,9% para partículas ≥0,1μm, em conformidade com os padrões SEMI para processamento de nó avançado
  • A configuração ultrassônica multifrequência se adapta a pastilhas nuas, pastilhas epitaxiais e pastilhas padronizadas (até nós de tecnologia de 7nm)
  • A regulação de temperatura de 60℃ estabiliza a cinética da reação química, garantindo resultados de limpeza consistentes em operações em lote
  • Compatível com sistemas automatizados de manuseio de pastilhas (pods SMIF, FOUPs) para integração perfeita em fluxos de trabalho de fábrica
Escopo de Aplicação: Essencial para limpeza pré-litografia, pós-CMP (Polimento Químico-Mecânico) e pré-metalização em linhas de produção de pastilhas de silício de 6 a 12 polegadas.
Palavras-chave: Sistema de limpeza de pastilhas de semicondutores, tratamento ultrassônico alcalino/ácido, enxágue com água pura, frequência de 40-80KHz, processo de 60℃, descontaminação de pastilhas de silício
Este sistema fornece uma solução confiável para fabricantes de semicondutores que buscam minimizar as taxas de defeito e aumentar a estabilidade do processo na produção de pastilhas de alto volume.

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