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Máquina de limpeza de semicondutores
Created with Pixso. 40KHz-80KHz Semicondutor Limpeza de Wafer de Silício - Ultra-som Limpeza Alcalina/Ácida + DI Enxaguamento com Água, 60°C

40KHz-80KHz Semicondutor Limpeza de Wafer de Silício - Ultra-som Limpeza Alcalina/Ácida + DI Enxaguamento com Água, 60°C

Nome da marca: Jietai
Número do modelo: JTM-100504AD
MOQ: 1
preço: ¥800000
Tempo de entrega: 30-60work days
Condições de pagamento: T/T
Informações pormenorizadas
Place of Origin:
Dongguan, Guangdong
Certificação:
CE, FCC, ROHS, etc.
Number of Tanks:
10
Cleaning Frequency:
40KHZ/80KHZ
Tipo:
Lavagem alcalina por ultra-som+lavagem por ácido por ultra-som+lavagem com água pura
Name:
Semiconductor Cleaning Machine
Dimensões totais:
12M*2M*2.8M
Potência:
120 kW
Temperatura de limpeza:
60°C
Modelo:
JTM-100504AD
Packaging Details:
Packaging: Wooden case, wooden frame, stretch film. Dimensions: 12M*2M*2.8M
Supply Ability:
One unit. It will take 30 to 60 days.
Descrição do produto
Introdução do Produto: Sistema de Limpeza de Bolachas de Silício Semicondutoras
Projetado para fluxos de trabalho de fabricação de semicondutores, este sistema de limpeza de precisão integra processos ultrassônicos de múltiplos estágios para alcançar uma pureza superficial ultra-alta das bolachas de silício, crucial para garantir o rendimento e o desempenho dos dispositivos na fabricação de CI e no processamento de MEMS.
Estágios Principais de Limpeza:
  • Limpeza Ultrassônica Alcalina: Utiliza o efeito de cavitação em frequências ajustáveis para dissolver resíduos orgânicos, restos de fotorresistência e contaminantes particulados das superfícies das bolachas e microestruturas, preparando os substratos para o tratamento ácido subsequente.
  • Limpeza Ultrassônica Ácida: Alvo de impurezas inorgânicas (por exemplo, íons metálicos, camadas de óxido) por meio de energia ultrassônica otimizada por frequência, aumentando a reatividade química para remover contaminantes submicronicos embutidos em estruturas padronizadas ou bordas de bolachas.
  • Enxágue com Água DI: Implementa a circulação de água desionizada de alta pureza para eliminar produtos químicos residuais, garantindo a neutralidade da superfície e atendendo aos rigorosos padrões de condutividade (≤18,2MΩ·cm) exigidos para o processamento avançado de semicondutores.
Parâmetros Técnicos:
  • Faixa de Frequência Ultrassônica: 40KHz-80KHz (ajustável em múltiplas bandas, permitindo a correspondência precisa com os tipos de contaminação e geometrias das bolachas)
  • Temperatura do Processo: 60℃ (controlada termostaticamente para otimizar as taxas de reação química, evitando danos às bolachas)
  • Compatibilidade de Materiais: Construído com tanques revestidos com PFA e componentes de quartzo para resistir a produtos químicos corrosivos, evitando contaminação secundária.
Vantagens Principais:
  • Alcança uma eficiência de remoção de partículas inferior a 50nm, em conformidade com os padrões SEMI F020
  • Módulos ultrassônicos sintonizáveis por frequência adaptam-se a bolachas nuas, bolachas padronizadas e filmes finos
  • O controle de temperatura integrado garante uma eficácia de limpeza consistente em todo o processamento em lote
  • Integração perfeita com sistemas de manuseio de bolachas a montante e processos de litografia/gravação a jusante
Aplicação: Ideal para limpeza pré-difusão, pré-deposição e pós-gravação em linhas de fabricação de bolachas de silício de 4 a 12 polegadas.
Palavras-chave: Limpador de bolachas de semicondutores, limpeza ultrassônica alcalina/ácida, enxágue com água DI, processo de 40-80KHz, 60℃, tratamento de superfície de bolachas de silício

40KHz-80KHz Semicondutor Limpeza de Wafer de Silício - Ultra-som Limpeza Alcalina/Ácida + DI Enxaguamento com Água, 60°C 040KHz-80KHz Semicondutor Limpeza de Wafer de Silício - Ultra-som Limpeza Alcalina/Ácida + DI Enxaguamento com Água, 60°C 1

40KHz-80KHz Semicondutor Limpeza de Wafer de Silício - Ultra-som Limpeza Alcalina/Ácida + DI Enxaguamento com Água, 60°C 2

40KHz-80KHz Semicondutor Limpeza de Wafer de Silício - Ultra-som Limpeza Alcalina/Ácida + DI Enxaguamento com Água, 60°C 3

40KHz-80KHz Semicondutor Limpeza de Wafer de Silício - Ultra-som Limpeza Alcalina/Ácida + DI Enxaguamento com Água, 60°C 4

40KHz-80KHz Semicondutor Limpeza de Wafer de Silício - Ultra-som Limpeza Alcalina/Ácida + DI Enxaguamento com Água, 60°C 5

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40KHz-80KHz Semicondutor Limpeza de Wafer de Silício - Ultra-som Limpeza Alcalina/Ácida + DI Enxaguamento com Água, 60°C

Nome da marca: Jietai
Número do modelo: JTM-100504AD
MOQ: 1
preço: ¥800000
Detalhes da embalagem: Packaging: Wooden case, wooden frame, stretch film. Dimensions: 12M*2M*2.8M
Condições de pagamento: T/T
Informações pormenorizadas
Place of Origin:
Dongguan, Guangdong
Marca:
Jietai
Certificação:
CE, FCC, ROHS, etc.
Número do modelo:
JTM-100504AD
Number of Tanks:
10
Cleaning Frequency:
40KHZ/80KHZ
Tipo:
Lavagem alcalina por ultra-som+lavagem por ácido por ultra-som+lavagem com água pura
Name:
Semiconductor Cleaning Machine
Dimensões totais:
12M*2M*2.8M
Potência:
120 kW
Temperatura de limpeza:
60°C
Modelo:
JTM-100504AD
Quantidade de ordem mínima:
1
Preço:
¥800000
Packaging Details:
Packaging: Wooden case, wooden frame, stretch film. Dimensions: 12M*2M*2.8M
Delivery Time:
30-60work days
Payment Terms:
T/T
Supply Ability:
One unit. It will take 30 to 60 days.
Descrição do produto
Introdução do Produto: Sistema de Limpeza de Bolachas de Silício Semicondutoras
Projetado para fluxos de trabalho de fabricação de semicondutores, este sistema de limpeza de precisão integra processos ultrassônicos de múltiplos estágios para alcançar uma pureza superficial ultra-alta das bolachas de silício, crucial para garantir o rendimento e o desempenho dos dispositivos na fabricação de CI e no processamento de MEMS.
Estágios Principais de Limpeza:
  • Limpeza Ultrassônica Alcalina: Utiliza o efeito de cavitação em frequências ajustáveis para dissolver resíduos orgânicos, restos de fotorresistência e contaminantes particulados das superfícies das bolachas e microestruturas, preparando os substratos para o tratamento ácido subsequente.
  • Limpeza Ultrassônica Ácida: Alvo de impurezas inorgânicas (por exemplo, íons metálicos, camadas de óxido) por meio de energia ultrassônica otimizada por frequência, aumentando a reatividade química para remover contaminantes submicronicos embutidos em estruturas padronizadas ou bordas de bolachas.
  • Enxágue com Água DI: Implementa a circulação de água desionizada de alta pureza para eliminar produtos químicos residuais, garantindo a neutralidade da superfície e atendendo aos rigorosos padrões de condutividade (≤18,2MΩ·cm) exigidos para o processamento avançado de semicondutores.
Parâmetros Técnicos:
  • Faixa de Frequência Ultrassônica: 40KHz-80KHz (ajustável em múltiplas bandas, permitindo a correspondência precisa com os tipos de contaminação e geometrias das bolachas)
  • Temperatura do Processo: 60℃ (controlada termostaticamente para otimizar as taxas de reação química, evitando danos às bolachas)
  • Compatibilidade de Materiais: Construído com tanques revestidos com PFA e componentes de quartzo para resistir a produtos químicos corrosivos, evitando contaminação secundária.
Vantagens Principais:
  • Alcança uma eficiência de remoção de partículas inferior a 50nm, em conformidade com os padrões SEMI F020
  • Módulos ultrassônicos sintonizáveis por frequência adaptam-se a bolachas nuas, bolachas padronizadas e filmes finos
  • O controle de temperatura integrado garante uma eficácia de limpeza consistente em todo o processamento em lote
  • Integração perfeita com sistemas de manuseio de bolachas a montante e processos de litografia/gravação a jusante
Aplicação: Ideal para limpeza pré-difusão, pré-deposição e pós-gravação em linhas de fabricação de bolachas de silício de 4 a 12 polegadas.
Palavras-chave: Limpador de bolachas de semicondutores, limpeza ultrassônica alcalina/ácida, enxágue com água DI, processo de 40-80KHz, 60℃, tratamento de superfície de bolachas de silício

40KHz-80KHz Semicondutor Limpeza de Wafer de Silício - Ultra-som Limpeza Alcalina/Ácida + DI Enxaguamento com Água, 60°C 040KHz-80KHz Semicondutor Limpeza de Wafer de Silício - Ultra-som Limpeza Alcalina/Ácida + DI Enxaguamento com Água, 60°C 1

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40KHz-80KHz Semicondutor Limpeza de Wafer de Silício - Ultra-som Limpeza Alcalina/Ácida + DI Enxaguamento com Água, 60°C 4

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