제품 세부 정보

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반도체 실리콘 웨이퍼 클리너 - 40KHz-80KHz 초음파 알칼리 / 산 청소 + 순수 씻기, 60°C

Name: 반도체 실리콘 웨이퍼 클리너 - 40KHz-80KHz 초음파 알칼리 / 산 청소 + 순수 씻기, 60°C
Brand: guangdong Jietai Ultrasonic cleaning Equipment Co., Ltd.
SKU: JTM-100504AD
Price: 800000 USD
Availability: InStock

브랜드 이름:	Jietai
모델 번호:	JTM-100504AD
모크:	1
Price:	￥800000
배달 시간:	0 일
지불 조건:	T/T

자세한 정보

제품 설명

자세한 정보

원래 장소:

동완, 광동

인증:

CE, FCC, ROHS, etc.

종류:

초음파 알칼리성 세척+초음파 산 세척+순수한 물 헹굼

청소 빈도:

40KHZ/80KHZ

탱크 수:

힘:

120 kw

윤곽치수:

12m*2m*2.8m

모델:

JTM-100504AD

이름:

반도체 청소 기계

세척용 온도:

60C

포장 세부 사항:

포장 : 나무 케이스, 나무 프레임, 스트레치 필름. 치수 : 12m*2m*2.8m

공급 능력:

하나의 단위. 30 일에서 60 일이 소요됩니다.

제품 설명

제품 소개: 반도체 실리콘 웨이퍼 클리너

반도체 산업을 위해 특별히 설계된 이 고정밀 세척 장비는 다단계 초음파 공정을 통합하여 실리콘 웨이퍼 표면을 초청정하게 만듭니다. 이는 마이크로 전자 장치 제조에서 높은 수율과 신뢰성을 보장하는 데 필수적인 전제 조건입니다.

핵심 세척 공정:

초음파 알칼리 세척: 알칼리 용액에서 초음파 캐비테이션을 활용하여 유기 오염 물질, 포토레지스트 잔류물 및 웨이퍼 표면 및 미세 구조에서 큰 입자 물질을 효율적으로 제거합니다. 초음파에 의해 생성된 제어된 에너지는 복잡한 패턴에서도 철저한 세척을 보장하여 후속 산 처리 준비를 합니다.

초음파 산 세척: 산성 매질에서 초음파 에너지를 사용하여 금속 이온(Fe, Cu, Ni 등) 및 산화물 층을 포함한 무기 불순물을 표적으로 제거합니다. 이 단계는 웨이퍼 텍스처에 포함될 수 있는 서브마이크론 오염 물질을 제거하여 표면 순도를 더욱 향상시키고, 정밀 세척을 위해 주파수 조절 가능한 초음파 작용을 활용합니다.

순수 물 린싱: 마지막 단계에서는 고순도 물(저항률 ≥18.2MΩ·cm)을 사용하여 잔류 세척제를 철저히 헹구어 웨이퍼 표면에 화학 잔류물이 없도록 하고, 첨단 반도체 공정에 필요한 엄격한 순도 기준을 충족합니다.

기술 매개변수:

초음파 주파수 범위: 40KHz-80KHz, 다양한 오염 유형 및 웨이퍼 사양에 적응할 수 있도록 조절 가능하며, 최적의 세척 결과를 위해 캐비테이션 강도를 최적화합니다.

작동 온도: 60℃로 유지되며, 이는 실리콘 웨이퍼에 잠재적인 손상을 방지하면서 세척 용액의 반응성을 향상시켜 일관되고 안정적인 세척 성능을 보장합니다.

재료 구성: 웨이퍼 및 세척액과 접촉하는 주요 구성 요소는 PFA 및 고순도 석영과 같은 내식성 재료로 만들어져 2차 오염을 방지하고 장비의 장기적인 안정성을 보장합니다.

주요 장점:

0.1μm만큼 작은 입자를 효과적으로 제거하여 반도체 제조 표준(SEMI)의 엄격한 요구 사항을 충족하는 뛰어난 입자 제거 효율을 제공합니다.

초음파 알칼리 세척, 초음파 산 세척 및 순수 물 린싱의 조합은 완전한 세척 사이클을 형성하여 다양한 오염 물질의 포괄적인 제거를 보장합니다.

조절 가능한 주파수 범위(40KHz-80KHz) 및 정밀한 온도 제어(60℃)를 통해 특정 웨이퍼 세척 요구 사항에 따라 사용자 정의가 가능하여 공정 유연성을 향상시킵니다.

반도체 생산 라인에 쉽게 통합되도록 설계되었으며, 제조 워크플로우를 간소화하기 위해 자동화된 웨이퍼 처리 시스템과 호환됩니다.

응용 분야: 4인치에서 12인치 웨이퍼 제조의 사전 리소그래피, 에칭 후, 사전 증착과 같은 공정에서 실리콘 웨이퍼 세척에 이상적이며, 연구 개발 및 대량 생산 환경 모두에 적합합니다.

키워드: 반도체 실리콘 웨이퍼 클리너, 초음파 알칼리 세척, 초음파 산 세척, 순수 물 린싱, 40KHz-80KHz, 60℃, 웨이퍼 표면 처리​

반도체 실리콘 웨이퍼 클리너 - 40KHz-80KHz 초음파 알칼리 / 산 청소 + 순수 씻기, 60°C 0

반도체 실리콘 웨이퍼 클리너 - 40KHz-80KHz 초음파 알칼리 / 산 청소 + 순수 씻기, 60°C 2

반도체 실리콘 웨이퍼 클리너 - 40KHz-80KHz 초음파 알칼리 / 산 청소 + 순수 씻기, 60°C 3

반도체 실리콘 웨이퍼 클리너 - 40KHz-80KHz 초음파 알칼리 / 산 청소 + 순수 씻기, 60°C 4

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반도체 청소 기계

반도체 실리콘 웨이퍼 클리너 - 40KHz-80KHz 초음파 알칼리 / 산 청소 + 순수 씻기, 60°C

모든 범주

반도체 실리콘 웨이퍼 클리너 - 40KHz-80KHz 초음파 알칼리 / 산 청소 + 순수 씻기, 60°C

브랜드 이름:	Jietai
모델 번호:	JTM-100504AD
모크:	1
Price:	￥800000
포장에 대한 세부 사항:	포장 : 나무 케이스, 나무 프레임, 스트레치 필름. 치수 : 12m2m2.8m
지불 조건:	T/T

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원래 장소:

동완, 광동

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Jietai

인증:

CE, FCC, ROHS, etc.

모델 번호:

JTM-100504AD

종류:

초음파 알칼리성 세척+초음파 산 세척+순수한 물 헹굼

청소 빈도:

40KHZ/80KHZ

탱크 수:

힘:

120 kw

윤곽치수:

12m*2m*2.8m

모델:

JTM-100504AD

이름:

반도체 청소 기계

세척용 온도:

60C

최소 주문 수량:

가격:

￥800000

포장 세부 사항:

포장 : 나무 케이스, 나무 프레임, 스트레치 필름. 치수 : 12m*2m*2.8m

배달 시간:

0 일

지불 조건:

T/T

공급 능력:

하나의 단위. 30 일에서 60 일이 소요됩니다.

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제품 소개: 반도체 실리콘 웨이퍼 클리너

핵심 세척 공정:

초음파 알칼리 세척: 알칼리 용액에서 초음파 캐비테이션을 활용하여 유기 오염 물질, 포토레지스트 잔류물 및 웨이퍼 표면 및 미세 구조에서 큰 입자 물질을 효율적으로 제거합니다. 초음파에 의해 생성된 제어된 에너지는 복잡한 패턴에서도 철저한 세척을 보장하여 후속 산 처리 준비를 합니다.

초음파 산 세척: 산성 매질에서 초음파 에너지를 사용하여 금속 이온(Fe, Cu, Ni 등) 및 산화물 층을 포함한 무기 불순물을 표적으로 제거합니다. 이 단계는 웨이퍼 텍스처에 포함될 수 있는 서브마이크론 오염 물질을 제거하여 표면 순도를 더욱 향상시키고, 정밀 세척을 위해 주파수 조절 가능한 초음파 작용을 활용합니다.

순수 물 린싱: 마지막 단계에서는 고순도 물(저항률 ≥18.2MΩ·cm)을 사용하여 잔류 세척제를 철저히 헹구어 웨이퍼 표면에 화학 잔류물이 없도록 하고, 첨단 반도체 공정에 필요한 엄격한 순도 기준을 충족합니다.

기술 매개변수:

초음파 주파수 범위: 40KHz-80KHz, 다양한 오염 유형 및 웨이퍼 사양에 적응할 수 있도록 조절 가능하며, 최적의 세척 결과를 위해 캐비테이션 강도를 최적화합니다.

작동 온도: 60℃로 유지되며, 이는 실리콘 웨이퍼에 잠재적인 손상을 방지하면서 세척 용액의 반응성을 향상시켜 일관되고 안정적인 세척 성능을 보장합니다.

재료 구성: 웨이퍼 및 세척액과 접촉하는 주요 구성 요소는 PFA 및 고순도 석영과 같은 내식성 재료로 만들어져 2차 오염을 방지하고 장비의 장기적인 안정성을 보장합니다.

주요 장점:

0.1μm만큼 작은 입자를 효과적으로 제거하여 반도체 제조 표준(SEMI)의 엄격한 요구 사항을 충족하는 뛰어난 입자 제거 효율을 제공합니다.

초음파 알칼리 세척, 초음파 산 세척 및 순수 물 린싱의 조합은 완전한 세척 사이클을 형성하여 다양한 오염 물질의 포괄적인 제거를 보장합니다.

조절 가능한 주파수 범위(40KHz-80KHz) 및 정밀한 온도 제어(60℃)를 통해 특정 웨이퍼 세척 요구 사항에 따라 사용자 정의가 가능하여 공정 유연성을 향상시킵니다.

반도체 생산 라인에 쉽게 통합되도록 설계되었으며, 제조 워크플로우를 간소화하기 위해 자동화된 웨이퍼 처리 시스템과 호환됩니다.

키워드: 반도체 실리콘 웨이퍼 클리너, 초음파 알칼리 세척, 초음파 산 세척, 순수 물 린싱, 40KHz-80KHz, 60℃, 웨이퍼 표면 처리​

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