Jietai, vollautomatisches Ultraschallreinigungssystem für Halbleiterwafern

1. Intelligente Reinigung: Die Ausrüstung verwendet einen vollautomatischen Reinigungs- und Entlastungsmodus, um die Siliziumwafer zu reinigen.die Ausrüstung ist mit der Reinigung von Siliziumwafern verschiedener Größen kompatibel, und hat eine starke Erweiterbarkeit.
2. Intelligente Bedienung: Die Ausrüstung ist mit einem programmierbaren Logikcontroller (PLC) und einem Touchscreen ausgestattet, mit denen verschiedene Reinigungsmodi mit einem Klick ausgetauscht werden können.
3. Multifunktionale Reinigung: Während des Reinigungsprozesses wird nicht nur Ultraschallreinigung verwendet, sondern auch verschiedene Reinigungsmethoden wie Sprühen, Schütteln, Blasen und Jetting.
4. Rotationssystem: Die Ausrüstung ist mit einem rotierenden System ausgestattet.und die Drehgeschwindigkeit kann entsprechend dem Reinigungsprozess eingestellt werden, die Reinigungsqualität der Siliziumwafer zu verbessern.
5. Automatischer Flüssigkeitswechsel: Die Ausrüstung ist mit einem automatischen Ein- und Auslasssystem für Wasser, einem automatischen Flüssigkeitszusatzsystem, einem Filtrationszirkulationssystem,und kann den Reinigungsprozess automatisch überwachen, um die Qualität der Reinigungslösung sicherzustellen.
6. Nachweissystem: Der Reinigungstanz der Ausrüstung ist mit einem Online-PH-Monitor und einem Online-Reinwassermonitor ausgestattet.die den Reinigungsstatus kontinuierlich überwachen und sicherstellen kann, dass der Reinigungsprozess den festgelegten Anforderungen entspricht.
7. Von der Prozessanpassung bis zur schnellen Lieferung

    

   1. Einheitliche Prozesslösung

    

   • Kostenlose ProbenuntersuchungDie Kunden schicken 30 Proben und eineReinigungstests(einschließlich Partikelgrößenverteilung, Oberflächenrauheit und Kontaktwinkel) innerhalb von 48 Stunden ausgestellt werden.
   • Anpassung der Einrichtung: A team of professional engineers can provide fixture clamping solutions (such as special-shaped hole positioning and thin-edge support structures) based on the 3D drawings of the frame to ensure no blind spots in cleaning.

    

   2. Garantie für den gesamten Zyklus

    

   • 7×24 Stunden Reaktion: Fünf große Dienstleistungszentren im ganzen Land (Pearl River Delta / Yangtze River Delta / Peking-Tianjin-Hebei / Chengdu-Chongqing / Wuhan) lagern eine vollständige Palette an anfälligen Teilen (Übersetzer,Sprühdüsen, Heizröhren) und kann innerhalb von 4 Stunden vor Ort ankommen.
   • Fernbetriebs- und Wartungssystem: Echtzeitüberwachung des Zustands der Ausrüstung über die industrielle Internetplattform, automatische Frühwarnung von möglichen Störungen wie Filterelementverstopfung und Temperaturanomalien,mit einer durchschnittlichen Schießzeit (MTTR) von ≤ 2 Stunden.