Jietai, Sistema di pulizia a ultrasuoni completamente automatico per wafer a semiconduttore

1. Pulizia intelligente: l'apparecchiatura adotta una modalità di pulizia con carico e scarico completamente automatici per pulire i wafer di silicio. Allo stesso tempo, l'apparecchiatura è compatibile con la pulizia di wafer di silicio di varie dimensioni e ha una forte espandibilità.
2. Funzionamento intelligente: l'apparecchiatura è dotata di un controller logico programmabile (PLC) e di un touch screen, che consente la sostituzione con un clic di diverse modalità di pulizia.
3. Pulizia multifunzionale: durante il processo di pulizia, non solo viene utilizzata la pulizia a ultrasuoni, ma vengono impiegati anche una varietà di metodi di pulizia come spruzzatura, agitazione, gorgogliamento e getto.
4. Sistema rotante: l'apparecchiatura è dotata di un sistema rotante. I wafer di silicio continuano a ruotare durante il processo di pulizia e la velocità di rotazione può essere regolata in base al processo di pulizia, migliorando la qualità della pulizia dei wafer di silicio.
5. Cambio automatico del liquido: l'apparecchiatura è dotata di un sistema automatico di ingresso e uscita dell'acqua, un sistema automatico di aggiunta del liquido, un sistema di circolazione della filtrazione e può monitorare automaticamente il processo di pulizia per garantire la qualità della soluzione di pulizia.
6. Sistema di rilevamento: la vasca di pulizia dell'apparecchiatura è dotata di un monitor pH online e di un monitor di acqua pura online, che possono monitorare continuamente lo stato di pulizia e garantire che il processo di pulizia soddisfi i requisiti impostati.
7. Dalla personalizzazione del processo alla consegna rapida

    

   1. Soluzione di processo completa

    

   • Test campione gratuito: I clienti inviano 30 campioni e un Rapporto di test di pulizia (compresa la distribuzione delle dimensioni delle particelle, la rugosità superficiale e i dati di test dell'angolo di contatto) verrà emesso entro 48 ore.
   • Progettazione di dispositivi personalizzati: Un team di ingegneri professionisti può fornire soluzioni di bloccaggio dei dispositivi (come il posizionamento di fori di forma speciale e strutture di supporto a bordo sottile) basate sui disegni 3D del telaio per garantire l'assenza di punti ciechi nella pulizia.

    

   2. Garanzia di servizio a ciclo completo

    

   • Risposta 7×24 ore: Cinque principali centri di assistenza a livello nazionale (Delta del fiume delle Perle / Delta del fiume Yangtze / Pechino-Tianjin-Hebei / Chengdu-Chongqing / Wuhan) immagazzinano una gamma completa di parti vulnerabili (trasduttori, ugelli spruzzatori, tubi riscaldanti) e possono arrivare in loco entro 4 ore.
   • Sistema di funzionamento e manutenzione remota: Monitoraggio in tempo reale dello stato dell'apparecchiatura tramite la piattaforma Internet industriale, avviso automatico precoce di potenziali guasti come l'intasamento dell'elemento filtrante e anomalie di temperatura, con un tempo medio di risoluzione dei problemi (MTTR) ≤ 2 ore.