Jietai, Hệ thống làm sạch siêu âm hoàn toàn tự động cho các tấm wafer bán dẫn

1. Làm sạch thông minh: Thiết bị áp dụng chế độ làm sạch tự động đầy đủ và xả để làm sạch các miếng silicon.Thiết bị tương thích với việc làm sạch các miếng silicon có kích thước khác nhau, và có khả năng mở rộng mạnh.
2. Hoạt động thông minh: Thiết bị được trang bị bộ điều khiển logic có thể lập trình (PLC) và màn hình cảm ứng, cho phép thay thế các chế độ làm sạch khác nhau bằng một cú nhấp chuột.
3. Làm sạch đa chức năng: Trong quá trình làm sạch, không chỉ làm sạch siêu âm được sử dụng, mà còn sử dụng nhiều phương pháp làm sạch khác nhau như phun, lắc, bong bóng và phun.
4. Hệ thống xoay: Thiết bị được trang bị hệ thống xoay.và tốc độ xoay có thể được điều chỉnh theo quá trình làm sạch, cải thiện chất lượng làm sạch các tấm silicon.
5. Thay đổi chất lỏng tự động: Thiết bị được trang bị hệ thống nước tự động, hệ thống thêm chất lỏng tự động, hệ thống lưu thông lọc,và có thể tự động theo dõi quá trình làm sạch để đảm bảo chất lượng dung dịch làm sạch.
6. Hệ thống phát hiện: bể làm sạch của thiết bị được trang bị một máy đo độ pH trực tuyến và một máy đo nước tinh khiết trực tuyến,có thể liên tục theo dõi tình trạng làm sạch và đảm bảo rằng quá trình làm sạch đáp ứng các yêu cầu đặt ra.
7. Từ tùy chỉnh quy trình đến giao hàng nhanh chóng

    

   1. Giải pháp quy trình một điểm dừng

    

   • Kiểm tra mẫu miễn phí: Khách hàng gửi 30 mẫu, và mộtBáo cáo kiểm tra độ sạch(bao gồm phân bố kích thước hạt, độ thô bề mặt và dữ liệu thử góc tiếp xúc) sẽ được phát hành trong vòng 48 giờ.
   • Thiết kế thiết bị tùy chỉnh: A team of professional engineers can provide fixture clamping solutions (such as special-shaped hole positioning and thin-edge support structures) based on the 3D drawings of the frame to ensure no blind spots in cleaning.

    

   2. Bảo hành dịch vụ toàn chu kỳ

    

   • Phản ứng 7×24 giờ: Năm trung tâm dịch vụ lớn trên toàn quốc (Pearl River Delta / Yangtze River Delta / Bắc Kinh-Tianjin-Hebei / Chengdu-Chongqing / Wuhan) dự trữ một loạt các bộ phận dễ bị tổn thương (máy chuyển đổi,vòi phun, ống sưởi) và có thể đến chỗ trong vòng 4 giờ.
   • Hệ thống điều khiển và bảo trì từ xa: Giám sát thời gian thực về tình trạng thiết bị thông qua nền tảng Internet công nghiệp, cảnh báo sớm tự động về các lỗi tiềm ẩn như tắc nghẽn các yếu tố bộ lọc và sự bất thường về nhiệt độ,với thời gian chụp trục trặc trung bình (MTTR) ≤ 2 giờ.