Jietai, полностью автоматическая ультразвуковая система очистки для полупроводниковых пластин

1. Интеллектуальная очистка: оборудование использует полностью автоматический режим подачи и выгрузки для очистки кремниевых пластин. При этом оборудование совместимо с очисткой кремниевых пластин различных размеров и обладает высокой расширяемостью.
2. Интеллектуальное управление: оборудование оснащено программируемым логическим контроллером (ПЛК) и сенсорным экраном, что позволяет одним нажатием кнопки переключать различные режимы очистки.
3. Многофункциональная очистка: в процессе очистки используется не только ультразвуковая очистка, но и различные методы очистки, такие как распыление, встряхивание, пузырьки и струйная очистка.
4. Система вращения: оборудование оснащено системой вращения. Кремниевые пластины постоянно вращаются в процессе очистки, а скорость вращения можно регулировать в соответствии с процессом очистки, что улучшает качество очистки кремниевых пластин.
5. Автоматическая замена жидкости: оборудование оснащено системой автоматического ввода и вывода воды, системой автоматического добавления жидкости, системой фильтрации и циркуляции, а также может автоматически контролировать процесс очистки для обеспечения качества очищающего раствора.
6. Система обнаружения: резервуар для очистки оборудования оснащен онлайн-монитором pH и онлайн-монитором чистой воды, которые могут непрерывно контролировать состояние очистки и гарантировать соответствие процесса очистки установленным требованиям.
7. От настройки процесса до быстрой доставки

    

   1. Комплексное решение для процесса

    

   • Бесплатное тестирование образцов: Клиенты отправляют 30 образцов, и в течение 48 часов будет выпущен отчет о Тесте чистоты (включая распределение размеров частиц, шероховатость поверхности и данные теста угла смачивания).
   • Индивидуальный дизайн приспособлений: Команда профессиональных инженеров может предоставить решения по зажиму приспособлений (например, позиционирование отверстий специальной формы и конструкции поддержки тонких краев) на основе 3D-чертежей рамы, чтобы обеспечить отсутствие слепых зон при очистке.

    

   2. Гарантия полного цикла обслуживания

    

   • Реакция 7×24 часа: Пять основных сервисных центров по всей стране (Дельта реки Чжуцзян / Дельта реки Янцзы / Пекин-Тяньцзинь-Хэбэй / Чэнду-Чунцин / Ухань) имеют в наличии полный ассортимент уязвимых деталей (преобразователи, распылительные форсунки, нагревательные трубки) и могут прибыть на место в течение 4 часов.
   • Система удаленного управления и обслуживания: Мониторинг состояния оборудования в режиме реального времени через платформу промышленного интернета, автоматическое раннее предупреждение о потенциальных неисправностях, таких как засорение фильтрующего элемента и температурные аномалии, со средним временем устранения неисправностей (MTTR) ≤ 2 часов.