تحديد المنتج
معدات التنظيف الدقيقة لعملية كاملة مصممة خصيصًا لملحقات وحدة كاميرا الهاتف المحمول (ملحقات عدسة زجاجية، ملحقات طحن CMP، ملحقات طلاء AF) تدمج ثلاث وحدات أساسية: تنظيف اقتران بالموجات فوق الصوتية ثلاثي التردد، تجفيف بالهواء الساخن المتدرج، وتجفيف بالفراغ بدرجة حرارة منخفضة، وتحقق معدل إزالة شوائب بنسبة 99.95٪ ونظافة 0.05 ميكرومتر لشحوم بصمات الأصابع، وجزيئات المواد الكاشطة (Al₂O₃/SiC)، وبقايا الطلاء والملوثات الأخرى على سطح الملحق. تتوافق المعدات مع ملحقات بوزن 0.1-5 كجم، مما يلبي متطلبات التنظيف للتحديد عالي الدقة (±10 ميكرومتر) في إنتاج وحدات الكاميرا، ومقاومة السطح للملحقات > 10^12 أوم بعد التجفيف، مما يزيل تلوث الامتصاص الكهروستاتيكي.
نظام تجفيف متعدد الأوضاع
1. وحدة تجفيف بالهواء الساخن المتدرج
عملية التحكم في درجة الحرارة المقسمة
▶ قسم التسخين المسبق (50-60 درجة مئوية): 10 دقائق لإزالة الماء الحر من السطح لتجنب تشوه الملحق بسبب اختلاف درجة الحرارة (دقة الأبعاد ±5 ميكرومتر)
▶ قسم السرعة الثابتة (70-80 درجة مئوية): تبلغ سرعة دوران الهواء الساخن 5 م/ث، ومع تصميم قناة الهواء المنحرفة، يتم تقليل محتوى الرطوبة في الثقب الأعمى للملحق (نسبة العمق إلى القطر >8:1) إلى أقل من 0.1٪.
▶ قسم التباطؤ (60-50 درجة مئوية): يمنع التبريد المتدرج تكون المكثفات، والفرق بين درجة حرارة السطح ودرجة الحرارة المحيطة هو < 5 درجات مئوية في النهاية
تصميم موفر للطاقة
✔ يستخدم فرن الهواء الساخن خوارزمية PID للتحكم في درجة الحرارة (دقة ±1 درجة مئوية) ويعمل مع جهاز استعادة الحرارة المهدرة (كفاءة 85٪) لتقليل استهلاك الطاقة بنسبة 40٪ مقارنة بالمعدات التقليدية
✔ مستشعر سرعة الرياح (دقة ±0.5 م/ث) تعديل طاقة المروحة في الوقت الفعلي، الضوضاء ≤ 65 ديسيبل (على بعد متر واحد من الجهاز)
2. وحدة تجفيف بالفراغ بدرجة حرارة منخفضة
حماية التجفيف الخالي من الأكسجين
▶ درجة الفراغ ≤50 مللي بار، ودرجة حرارة التجفيف 40-60 درجة مئوية (أقل من نقطة Tg لأجزاء البلاستيك الخاصة بالملحق) لمنع شيخوخة وتشوه مادة POM/PC
▶ كفاءة استعادة التكثيف >99٪: مكثف أنبوب حلزوني (مبرد -10 درجة مئوية) طلاء تفلون على الجدار الداخلي لغرفة التفريغ، لا توجد بقايا علامات مائية على سطح الملحق بعد التجفيف
ضمان عزل عالي
✔ بعد التجفيف، مقاومة العزل السطحي للملحق > 10^12 أوم (جهد الاختبار 500 فولت تيار مستمر)، مما يلبي متطلبات مكافحة الكهرباء الساكنة لوحدة الكاميرا
✔ وظيفة استبدال النيتروجين (اختياري): نقطة الندى ≤-40 درجة مئوية تطهير النيتروجين، معدل تغير اللون التأكسدي للملحق القائم على النحاس بعد التجفيف<0.1%
نظام تحكم ذكي أوتوماتيكي بالكامل
1. تحديد الملحق والتكيف الذاتي للعملية
نظام المسح الضوئي والتحديد المرئي
▶ كاميرا صناعية (دقة 2 مليون بكسل) تتعرف تلقائيًا على نوع الملحق (ملحق العدسة / ملحق الدعامة / ملحق الترقق) وتطابق صيغة التنظيف المقابلة (سعة التخزين ≥ 200 مجموعة)
▶ مستشعر الوزن (دقة ±0.1 جرام) مراقبة الحمل الفعلي للملحق، والتعديل التلقائي لطاقة الموجات فوق الصوتية ووقت التجفيف (دقة التعديل ±5٪)
2. تتبع البيانات لعملية كاملة
يتم إنشاء تقارير SPC التي تحتوي على منحنيات طاقة الموجات فوق الصوتية، وتدرجات درجة حرارة التجفيف، وبيانات اختبار النظافة لكل دفعة، ويدعم ربط واجهة برمجة تطبيقات نظام MES (متوافق مع SEMI E10)