Установка для получения ультрачистой воды EDI с двухступенчатым обратным осмосом 1 тонна в час (DI EDI)
—— Решения для высокоточной очистки воды
Позиционирование продукта
Оборудование для обработки воды высокой чистоты, специально разработанное для индустрии ультразвуковой очистки, объединяет в себе основную технологию двухступенчатого обратного осмоса (RO) и непрерывной электродиализации (EDI) для достижения производительности 1 тонна/час ультрачистой воды, при этом качество воды соответствует стандарту для электроники (удельное сопротивление ≥ 18,2 МОм・см, TOC≤5ppb, размер частиц ≤0,1μм). Подходит для высокоточных применений, таких как очистка полупроводниковых пластин, дезинфекция медицинских приборов и нанесение покрытий на оптические линзы, решает проблемы колебаний воды и трудоемкой химической регенерации, характерные для традиционной одноступенчатой фильтрации, обеспечивает стабильную и надежную гарантию получения ультрачистой воды для ультразвуковой очистки и значительно повышает выход очистки (например, снижение брака полупроводниковых пластин по частицам на 70%).

Основные технические преимущества
1. Двухступенчатая система предварительной обработки обратным осмосом (RO)
1. Трехступенчатая прогрессивная фильтрация
​
Этап обработки
Основные компоненты
Технические параметры
Эффект очистки
Предварительная обработка
5μм PP фильтрующий картридж, активированный уголь, умягчающая смола
Точность фильтрации ≤5μм, скорость удаления остаточного хлора > 99%
Удаляет осадок, органические вещества, ионы кальция и магния и защищает мембрану RO
RO 1-й ступени
Мембранный элемент Dow BW30-400
Скорость удаления солей ≥ 99,5% и коэффициент восстановления 60%
Удаляет более 99% ионных и низкомолекулярных загрязнений
RO 2-й ступени
Мембранный элемент Japan Toray TM720D
Коэффициент отторжения солей ≥ 99,9%, удельное сопротивление ≥ 10 МОм・см
Глубокое удаление остаточных ионов первичного RO обеспечивает высококачественный источник воды для EDI
​
2. Интеллектуальная технология защиты от загрязнений
Импульсная автоматическая промывка:
▶ Автоматическая промывка поверхности мембраны во время остановки (30 секунд) и режим промывки низким давлением (давление ≤ 0,3 МПа) продлевают срок службы мембранного элемента до 3 лет (2 года для обычного оборудования)
▶ Датчик проводимости в режиме реального времени контролирует качество пермеата RO и автоматически запускает химическую очистку при превышении стандарта (лимонная кислота/бисульфит натрия, частота ≤ 2 раза в год)
Энергоэффективный дизайн:
✔ Насосный агрегат с инвертором (диапазон регулировки мощности 30%-100%), потребление энергии на тонну воды ≤ 0,8 кВтч (обычное оборудование ≥ 1,2 кВтч)
✔ Система рекуперации рассола: рассол вторичного RO возвращается на вход первичного RO, а коэффициент использования воды увеличивается до 75% (намного превышает отраслевой стандарт 50%)
2. Система получения ультрачистой воды EDI (технология непрерывной электродиализации)
1. Глубокое обессоливание без химической регенерации
Электрический перенос ионов:
▶ Постоянный ток 0,6-1,2 А для глубокого удаления ионов (остаток Na⁺/K⁺<1ppb, Cl⁻<0,5ppb)
▶ Удельное сопротивление стабилизируется на уровне 18,2 МОм・см (25°C) в режиме реального времени, что соответствует требованиям стандарта SEMI E1.1 для воды для очистки полупроводников
Долгосрочное управление смолой:
✔ IONPURE IX-30 FILM STACK В США С ЗАПОЛНЕНИЕМ СМОЛОЙ НА 20% БОЛЬШЕ И СРОКОМ СЛУЖБЫ ≥ 5 ЛЕТ (3 ГОДА ДЛЯ ОБЫЧНЫХ СТОЕК EDI)
✔ Алгоритм автоматической компенсации тока: динамическая регулировка напряжения в соответствии с удельным сопротивлением входной воды (точность ±1 В) для обеспечения колебаний качества пермеатной воды <1%
2. Экологичный дизайн с нулевым выбросом
Рециркуляция рассола:
▶ Концентрированную воду (удельное сопротивление≥50 кОм・см) можно использовать в качестве промывочной воды для ультразвуковых очистителей, сокращая сброс сточных вод на 60%
▶ Оснащен устройством регулировки pH (точность ±0,1), pH концентрированной воды контролируется на уровне 6-8, и она напрямую подключена к системе рециркуляции воды на предприятии
Кислотно-щелочная регенерация:
✔ Отказ от традиционной химической регенерации смешанного слоя, избежание риска хранения соляной кислоты/едкого натра и соответствие GB 31573-2015 «Стандарт выбросов загрязняющих веществ в неорганической химической промышленности»