2025年6月4日 環境に優しい超音波洗浄機器の グローバルサプライヤーとしてジーテイ超音波は, 知的シリコンウエファー洗浄機器の新世代を 公式に発売しました.この装置は,半導体や光伏などの高級製造業の精密浄化ニーズに焦点を当て,インテリジェントクリーニングを含む6つのコア技術を統合しています.インテリジェント制御完全に自動化され 精密な清掃ソリューションでシリコンウエファー生産プロセスにおける生産量向上と効率の最適化のための革新的なソリューションを提供します..
精密浄化基準を再構築する6つのコア技術
1洗浄:完全に自動化され,複数のサイズのシリコンウエファーと互換性
装置は完全に自動的な積載と卸載清掃モードを採用し,積載から全プロセスの無人操作を実現する.シリコンウエフルの清掃から卸荷まで,インテリジェントなロボットアームと視覚認識システム同時に,革新的に設計された調整可能なキャリアシステムは,4~12インチのフルサイズシリコンウエフルの互換性のある清掃をサポートします.ハードウェアの交換を必要とせず,異なる製品仕様の間を迅速に切り替える半導体および光伏産業の多様な生産ニーズを満たし,機器のスケーラビリティで業界をリードしています.
2. インテリジェント制御: 複数のクリーニングモードを1クリックで切り替える
PLCインテリジェント制御システムと12インチ高画質タッチスクリーンで装備され,業界で一般的に使用される30以上のクリーニングプログラムをプリセットし,ユーザー定義パラメータ設定をサポートします.人とコンピュータのインタラクションインターフェースを通して,操作者は, * * "片クリックで洗浄モードの切り替え" * *,自動に超音波のパワー,洗浄時間,液体比,などのパラメータをマッチ,達成することができます.切り替え時間を大幅に短縮する複雑なプロセスの切り替えさえも簡単に処理でき,生産ラインの柔軟性が著しく向上します.
3多機能清掃:複合プロセスで深層清掃が実現
この装置は5つの清掃技術を統合しています 超音波カビテーション 高圧噴霧 ダイナミックな混ぜ合わせ泡を剥がすシリコンウエフルの表面に存在する微粒子汚染物質,金属イオン,有機残留物などの様々な不純物を処理するために,複数の浄化プロセスを組み合わせて使用できます.超音波高周波振動は頑固な汚れを溶かすことができます高圧スプレーで残った隙間を洗い去り,泡技術で液体交換効率を向上させることができます高度な純度要求のある半導体ウエファー清掃に特に適しています..
4. 回転システム: 均一な清潔性を改善するために動的に調整
高精度な回転駆動装置で組み込まれ,0~300rpmの速度をステップレスに調整することができます. 洗浄プロセス中にシリコンウエファーは恒定または変動速度回転を維持します.洗浄溶液がシリコンウエファの表面を均等に覆うようにする多角スプレーアームの設計が装備されていますこの技術によって,実際のテストによって,シリコンウエファー表面の整合性を20%向上させることができます.伝統的な静的清掃の地域汚染問題を解決する..
5自動液体交換: プロセス全体を通してインテリジェントな液体管理
統合された自動水入口・出口システム,インテリジェント補給装置,三段階フィルタリング循環システム,清掃溶液の伝導性,pH値のリアルタイムモニタリングぼんやり度データ液体指数が設定された限界値を超えると システムは自動的に液体交換プログラムを起動し 古い液体の放出を同期的に完了しますフィルター要素の交換液体交換が遅れてしまうため,清掃効果の変動を避けるため,新しい液体比と温度調整を施します. 10 μmの精密循環フィルタ装置と組み合わせると,小粒子の不純物を効果的に遮断し,薬の使用期間を30%以上延長することができます...
6検出システム: プロセス安定性を確保するためのオンラインモニタリング
清掃タンクにはオンラインpHモニターと純水TOCオンライン検出器が装備されています.清掃溶液の化学状態と純粋な水の純度データについてリアルタイムでフィードバックを提供するMESシステムと統合することで,機器は,清掃プロセスデータの完全な追跡性を達成することができます.温度などのパラメータを含むリアルタイム曲線を生成するIATF 16949などの国際品質システム認証要件を満たす完全なプロセス検証報告書を顧客に提供します.
高級製造シナリオに正確に適応し,産業のアップグレードを支援する
この設備は主に半導体ウエファー製造,光伏シリコンウエファー加工,MEMSセンサー製造など高級分野を対象としています.芯片製造におけるフロントエンドクリーニングや光伏シリコンウェーバーベルベット/エッチング後のクリーニングなどの重要なプロセスの出力を大幅に改善することができますフォトボルトーキーの主要企業からの実際の測定データによるとJietaiのインテリジェントクリーニング機器の使用により,シリコンウエファの表面上の残留粒子の割合は5から減少しました..2%から1.3%まで,単一バッチの清掃時間を15%短縮し,全体的なエネルギー消費量を20%削減し,顧客がコスト削減という二つの目標を達成するのを効果的に支援しました.効率の向上緑の生産について
半導体と太陽光発電の産業がより高精度と大きさの方向に進化するにつれて,精密清掃の重要性はますます顕著になっています.超音波技術局長が言いました"技術革新が産業の向上を推進する"という概念を常に堅持し,伝統的な洗浄機器の効率と精度に問題があるだけでなく柔軟な生産ソリューションを顧客に提供し,インテリジェントでモジュール化された設計によって迅速に繰り返すことができます.
ジーテイ超音波について
国内ハイテク企業として, ジーテイ超音波は, 超音波清掃の分野に深く関わっています 20年以上,50以上の知的財産権と3万以上の産業用清掃ソリューション製品は世界30カ国以上に輸出され,サムスン半導体,ロンググリーンエネルギー,SMICなどの国際的に有名な企業にサービスを提供しています.同社は,AI視覚検査やデジタルツインプロセスシミュレーションなどの最先端技術への研究開発投資を継続する.精密洗浄機器の"よりスマート,よりグリーン,より効率的"のアップグレードを促進し,世界高級製造業の高品質な発展を促進します.
2025年6月4日 環境に優しい超音波洗浄機器の グローバルサプライヤーとしてジーテイ超音波は, 知的シリコンウエファー洗浄機器の新世代を 公式に発売しました.この装置は,半導体や光伏などの高級製造業の精密浄化ニーズに焦点を当て,インテリジェントクリーニングを含む6つのコア技術を統合しています.インテリジェント制御完全に自動化され 精密な清掃ソリューションでシリコンウエファー生産プロセスにおける生産量向上と効率の最適化のための革新的なソリューションを提供します..
精密浄化基準を再構築する6つのコア技術
1洗浄:完全に自動化され,複数のサイズのシリコンウエファーと互換性
装置は完全に自動的な積載と卸載清掃モードを採用し,積載から全プロセスの無人操作を実現する.シリコンウエフルの清掃から卸荷まで,インテリジェントなロボットアームと視覚認識システム同時に,革新的に設計された調整可能なキャリアシステムは,4~12インチのフルサイズシリコンウエフルの互換性のある清掃をサポートします.ハードウェアの交換を必要とせず,異なる製品仕様の間を迅速に切り替える半導体および光伏産業の多様な生産ニーズを満たし,機器のスケーラビリティで業界をリードしています.
2. インテリジェント制御: 複数のクリーニングモードを1クリックで切り替える
PLCインテリジェント制御システムと12インチ高画質タッチスクリーンで装備され,業界で一般的に使用される30以上のクリーニングプログラムをプリセットし,ユーザー定義パラメータ設定をサポートします.人とコンピュータのインタラクションインターフェースを通して,操作者は, * * "片クリックで洗浄モードの切り替え" * *,自動に超音波のパワー,洗浄時間,液体比,などのパラメータをマッチ,達成することができます.切り替え時間を大幅に短縮する複雑なプロセスの切り替えさえも簡単に処理でき,生産ラインの柔軟性が著しく向上します.
3多機能清掃:複合プロセスで深層清掃が実現
この装置は5つの清掃技術を統合しています 超音波カビテーション 高圧噴霧 ダイナミックな混ぜ合わせ泡を剥がすシリコンウエフルの表面に存在する微粒子汚染物質,金属イオン,有機残留物などの様々な不純物を処理するために,複数の浄化プロセスを組み合わせて使用できます.超音波高周波振動は頑固な汚れを溶かすことができます高圧スプレーで残った隙間を洗い去り,泡技術で液体交換効率を向上させることができます高度な純度要求のある半導体ウエファー清掃に特に適しています..
4. 回転システム: 均一な清潔性を改善するために動的に調整
高精度な回転駆動装置で組み込まれ,0~300rpmの速度をステップレスに調整することができます. 洗浄プロセス中にシリコンウエファーは恒定または変動速度回転を維持します.洗浄溶液がシリコンウエファの表面を均等に覆うようにする多角スプレーアームの設計が装備されていますこの技術によって,実際のテストによって,シリコンウエファー表面の整合性を20%向上させることができます.伝統的な静的清掃の地域汚染問題を解決する..
5自動液体交換: プロセス全体を通してインテリジェントな液体管理
統合された自動水入口・出口システム,インテリジェント補給装置,三段階フィルタリング循環システム,清掃溶液の伝導性,pH値のリアルタイムモニタリングぼんやり度データ液体指数が設定された限界値を超えると システムは自動的に液体交換プログラムを起動し 古い液体の放出を同期的に完了しますフィルター要素の交換液体交換が遅れてしまうため,清掃効果の変動を避けるため,新しい液体比と温度調整を施します. 10 μmの精密循環フィルタ装置と組み合わせると,小粒子の不純物を効果的に遮断し,薬の使用期間を30%以上延長することができます...
6検出システム: プロセス安定性を確保するためのオンラインモニタリング
清掃タンクにはオンラインpHモニターと純水TOCオンライン検出器が装備されています.清掃溶液の化学状態と純粋な水の純度データについてリアルタイムでフィードバックを提供するMESシステムと統合することで,機器は,清掃プロセスデータの完全な追跡性を達成することができます.温度などのパラメータを含むリアルタイム曲線を生成するIATF 16949などの国際品質システム認証要件を満たす完全なプロセス検証報告書を顧客に提供します.
高級製造シナリオに正確に適応し,産業のアップグレードを支援する
この設備は主に半導体ウエファー製造,光伏シリコンウエファー加工,MEMSセンサー製造など高級分野を対象としています.芯片製造におけるフロントエンドクリーニングや光伏シリコンウェーバーベルベット/エッチング後のクリーニングなどの重要なプロセスの出力を大幅に改善することができますフォトボルトーキーの主要企業からの実際の測定データによるとJietaiのインテリジェントクリーニング機器の使用により,シリコンウエファの表面上の残留粒子の割合は5から減少しました..2%から1.3%まで,単一バッチの清掃時間を15%短縮し,全体的なエネルギー消費量を20%削減し,顧客がコスト削減という二つの目標を達成するのを効果的に支援しました.効率の向上緑の生産について
半導体と太陽光発電の産業がより高精度と大きさの方向に進化するにつれて,精密清掃の重要性はますます顕著になっています.超音波技術局長が言いました"技術革新が産業の向上を推進する"という概念を常に堅持し,伝統的な洗浄機器の効率と精度に問題があるだけでなく柔軟な生産ソリューションを顧客に提供し,インテリジェントでモジュール化された設計によって迅速に繰り返すことができます.
ジーテイ超音波について
国内ハイテク企業として, ジーテイ超音波は, 超音波清掃の分野に深く関わっています 20年以上,50以上の知的財産権と3万以上の産業用清掃ソリューション製品は世界30カ国以上に輸出され,サムスン半導体,ロンググリーンエネルギー,SMICなどの国際的に有名な企業にサービスを提供しています.同社は,AI視覚検査やデジタルツインプロセスシミュレーションなどの最先端技術への研究開発投資を継続する.精密洗浄機器の"よりスマート,よりグリーン,より効率的"のアップグレードを促進し,世界高級製造業の高品質な発展を促進します.
