Βασικά τεχνικά πλεονεκτήματα

Ι. Σύστημα καθαρισμού κλίσης τριών δεξαμενών

1Υπερήχθης αλκαλική δεξαμενή καθαρισμού (pH 10-13)

Τεχνικές παραμέτρους:

▶ Συχνότητα: 80kHz/120kHz Διπλή εναλλαγή συχνότητας (υποστήριξη παλμικού υπερηχογράφησης) ▶ Υλικό δεξαμενής: τροποποιημένη επένδυση PTFE + πλαίσιο από ανοξείδωτο χάλυβα 316L (αντίσταση υψηλών θερμοκρασιών 130°C,Αντίσταση στη διάβρωση από NaOH / αμμωνία)

▶ Μέσο καθαρισμού: αλκαλικό διάλυμα, όπως υδροξείδιο του καλίου (KOH), υδροξείδιο του τετραμεθυλαμμονίου (TMAH), κλπ.

Βασικές λειτουργίες: ✔ Αποτελεσματική απομάκρυνση των υπολειμμάτων φωτοανθεκτικού: καταστροφή του μοριακού δεσμού του ταινίου συγκολλητικού μέσω του αποτελέσματος του κεφαλισμού, σε συνδυασμό με έλεγχο σταθερής θερμοκρασίας 50-80 °C,αφαίρεση 990,9% του SU-8 / θετική φωτοαντίσταση εντός 15 λεπτών

✔ Αποθήκευση ρύπων σωματιδίων: ενσωματωμένο φυσίγγιο PP μεγέθους μικρών (5μm) + Μαγνητικό φίλτρο (αποθήκευση Fe/Co και άλλων μεταλλικών σωματιδίων). ✔ Διήθηση σε πραγματικό χρόνο των αποβλήτων καθαρισμού

2. Υπερήχθη δεξαμενή καθαρισμού οξέος (pH 1-3)

Τεχνικές παραμέτρους:

▶ Συχνότητα: Υψηλής συχνότητας υπερηχογράφηση 150 kHz (μειώνει το μέγεθος των φουσκάλων κοιλότητας για την ελαχιστοποίηση της βλάβης στην επιφάνεια της πλάκας)

▶ Υλικό δεξαμενής: Εφοδιασμός από ΠΦΑ (ανθεκτικό σε HF). Εφοδιασμός από PFA (ανθεκτικό σε HF/HNO3 μείγμα οξέος)

▶ Μέσο καθαρισμού: βενζίνη βενζίνης (BOE buffer oxide etchant (HF:NH4F=1:6), υδρογλυκό (HNO3:HCl=1:3)

Βασικές λειτουργίες:

✔ Βαθμός αφαίρεσης των ιόντων μετάλλου ✔ Ελέγχος της τραχύτητας της επιφάνειας: για τα υπολείμματα των ηλεκτροδίων Al/Cu, μέσω ξύλινης χαρακτικής + υπερήχων δονήσεων, παρασκευάζεται υπολείμματα Na+/K+ <1010 άτομα/cm2

✔ Έλεγχος της τραχύτητας της επιφάνειας: δυναμικά ρυθμιζόμενη υπερηχητική ισχύς (50-300W), σε συνδυασμό με την ακρίβεια ελέγχου της θερμοκρασίας ±0,5 °C, για να εξασφαλιστεί ότι η τιμή Ra επιφάνειας της πλάκας ≤ 0,2nm

3. Τάνκα πλύσης με μεγαηχημικό ήχο με καθαρό νερό (αντίσταση ≥ 18,2 MΩ·cm)

Τεχνικές παραμέτρους:

▶ Συχνότητα: υπερηχογράφηση MF 850kHz (στόχος καβιτάσης > 200μm, για την αποφυγή ζημιών από την πρόσκρουση υγρού)

▶ Παρακολούθηση της ποιότητας του νερού: ηλεκτρονικός ανιχνευτής TOC (ακρίβεια ανίχνευσης ≤ 5ppb) + μετρητής σωματιδίων (ανίχνευση μεγέθους σωματιδίων 0,1μm)

▶ Μέθοδος ξεπλύματος: ξεπλύσιμο με αντίστροφο ρεύμα (το ποσοστό χρήσης καθαρού νερού αυξήθηκε στο 85%) + μεγαηχητική κοιλότητα (αφαίρεση σωματιδίων κάτω των μικρών)

Βασικά χαρακτηριστικά:

✔ Καθαρότητα χωρίς υπολείμματα: Υιοθετήστε διήθηση DI νερού σε τρία στάδια (ενεργοποιημένος άνθρακας + μεμβράνη RO + ρητίνη γυάλωσης), με ρυθμό υπερχείλισης 50L/min, για να επιτευχθεί υπολειμματικό TOC <10ppb μέσα σε 10 λεπτά

✔ Καθαρισμός με βελτιωμένη άκρη: κατοχυρωμένο με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας περιστρεφόμενο βραχίονα ψεκασμού (προσαρμόσιμη ταχύτητα 0-300rpm), για την επίλυση του τυφλού σημείου καθαρισμού της περιοχής 1 mm στην άκρη της πλάκας.

Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για την Λευκή Βίβλο για τη διαδικασία καθαρισμού των ημιαγωγών και το αποκλειστικό πρόγραμμα προσφορών!