details van de producten

Huis Producten

Afstembaar 40-80kHz Silicium Wafer Ultrasone Reiniger 60°C Constante Temperatuur Zuur Alkaal Wassen UPW Spoelen

Afstembaar 40-80kHz Silicium Wafer Ultrasone Reiniger 60°C Constante Temperatuur Zuur Alkaal Wassen UPW Spoelen

Merknaam:	Jietai
Modelnummer:	JTM-100504AD
MOQ:	1
Prijs:	￥800000
Leveringstermijn:	30-60 werkdagen
Betalingsvoorwaarden:	t/t

Gedetailleerde informatie

Productbeschrijving

Gedetailleerde informatie

Plaats van herkomst:

Dongguan, Guangdong

Certificering:

CE, FCC, ROHS, etc.

type:

Ultrasone alkalisch wassen+Ultrasone zuurwassen+Suiver met zuiver water

Naam:

halfgeleiderreinigingsmachine

Model:

JTM-100504AD

Totale afmetingen:

12M*2M*2.8M

Reinigingsfrequentie:

40 kHz/80 kHz

Stroom:

120 kW

Reinigingstemperatuur:

Aantal tanks:

Verpakking Details:

Verpakking: Houten kist, houten frame, rekfolie. Afmetingen: 12M*2M*2.8M

Levering vermogen:

Het duurt 30 tot 60 dagen.

Markeren:

Semiconductor silicon wafer ultrasonic cleaner

Alkaline acid cleaning semiconductor machine

UPW rinsing semiconductor wafer cleaner

Productbeschrijving

Productintroductie: Semiconductor Silicium Wafer Reiniger

Een precisie-ontworpen oplossing voor de productie van halfgeleiders, dit ultrasone reinigingssysteem integreert meerfasenprocessen om een oppervlaktezuiverheid op submicronniveau te bereiken op siliciumwafers - cruciaal voor het handhaven van de prestaties van apparaten in geavanceerde node-fabricage (tot 5 nm).

Sequentiële Reinigingsfasen:

Ultrasoon Alkalisch Schrobben: Maakt gebruik van 40KHz-80KHz ultrasone cavitatie in een alkalisch bad om organische verontreinigingen af te breken, fotoresistresiduen te verwijderen en macrodeeltjes (≥1μm) van waferoppervlakken en via-structuren te verwijderen. De frequentie-afstembare ultrasone energie zorgt voor een uniforme reiniging over waferdiameters van 4"-12", inclusief randuitsluitingszones.

Ultrasoon Zuur Etsen: Gebruikt hetzelfde frequentiebereik in zure media om anorganische onzuiverheden op te lossen - met name metaalionen (Fe, Cu, Zn) en natuurlijke oxidelagen (SiO₂). Cavitatie-microjets dringen door in patronen om ingebedde verontreinigingen van minder dan 100 nm te verwijderen, gevalideerd door deeltjesteller-metingen (≤10 deeltjes/wafer voor ≥0,1μm).

UPW Spoelen: Finale spoeling met ultra-zuiver water (UPW, TOC ≤5ppb) spoelt resterende chemicaliën weg, waardoor een oppervlakte-weerstand van ≥18,2MΩ·cm wordt bereikt - voldoet aan SEMI F20-normen voor reiniging vóór depositie.

Procesparameters:

Frequentieband: 40KHz-80KHz (multifrequentie-werking, selecteerbaar via HMI voor contaminatie-specifieke afstemming)

Temperatuurinstelling: 60℃ (PID-gestuurd, ±1℃ tolerantie) om de kinetiek van de chemische reactie te optimaliseren zonder wafervervorming te induceren.

Materiaalcompatibiliteit: Bevochtigde componenten in PFA (perfluoroalkoxy) en saffier om het uitlogen van metaalionen te voorkomen, waardoor nul kruisbesmetting wordt gegarandeerd.

Fab-integratievoordelen:

Compatibel met FOUP/SMIF pod-laden voor geautomatiseerde cassetteverwerking, waardoor menselijke tussenkomst wordt verminderd

Cleanroom-klasse ontwerp (ISO 5) met HEPA-gefilterde afvoer om te voldoen aan de Class 1-omgevingsvereisten

Receptopslag voor 50+ reinigingsprotocollen, aanpasbaar aan kale wafers, SOI-wafers en epi-wafers

Toepassing: Essentieel voor reiniging vóór lithografie, na CMP en na etsen in logica-, geheugen- en MEMS-fabricagelijnen.

Sleutelwoorden: Ultrasone reiniger voor halfgeleiderwafers, alkalisch-zuur sequentiële reiniging, UPW-spoelen, 40-80KHz, 60℃ proces, submicron-decontaminatie

Afstembaar 40-80kHz Silicium Wafer Ultrasone Reiniger 60°C Constante Temperatuur Zuur Alkaal Wassen UPW Spoelen

Labels:

Geautomatiseerde ultrasone reiniger

Ultrasoonreinigingsapparatuur

Ultrasoon schoonmakend systeem

Verwante producten

Video

11 Tanks Halveringsreinigingsmachine Silicon Wafer Reinigingsmachine 40KHZ

Vind de beste prijs

Video

100 kW automatisch ultrasoonreinigingssysteem 11 tanks Ultrasoonreinigingsmachines

Vind de beste prijs

Details Van De Producten

Huis Producten

halfgeleiderreinigingsmachine

Afstembaar 40-80kHz Silicium Wafer Ultrasone Reiniger 60°C Constante Temperatuur Zuur Alkaal Wassen UPW Spoelen

Alle Categorieën

Ultrasone reinigingsapparatuur

Elektronica Ultrasone Reiniger

Ultrasone reiniger voor instrumenten

halfgeleiderreinigingsmachine

Commerciële ultrasoonreiniger

Ultrasone reiniger voor de luchtvaart

Medische Ultrasone Reinigingsmachine

Ultrasone schoonmaakmiddel op maat

Nevel Schoonmakende Machine

Ultrasone schimmelreinigingsmachine

Ultrasone reiniger voor auto's

Afstembaar 40-80kHz Silicium Wafer Ultrasone Reiniger 60°C Constante Temperatuur Zuur Alkaal Wassen UPW Spoelen

Merknaam:	Jietai
Modelnummer:	JTM-100504AD
MOQ:	1
Prijs:	￥800000
Verpakking:	Verpakking: Houten kist, houten frame, rekfolie. Afmetingen: 12M2M2.8M
Betalingsvoorwaarden:	t/t

Gedetailleerde informatie

Productbeschrijving

Gedetailleerde informatie

Plaats van herkomst:

Dongguan, Guangdong

Merknaam:

Jietai

Certificering:

CE, FCC, ROHS, etc.

Modelnummer:

JTM-100504AD

type:

Ultrasone alkalisch wassen+Ultrasone zuurwassen+Suiver met zuiver water

Naam:

halfgeleiderreinigingsmachine

Model:

JTM-100504AD

Totale afmetingen:

12M*2M*2.8M

Reinigingsfrequentie:

40 kHz/80 kHz

Stroom:

120 kW

Reinigingstemperatuur:

60℃

Aantal tanks:

Min. bestelaantal:

Prijs:

￥800000

Verpakking Details:

Verpakking: Houten kist, houten frame, rekfolie. Afmetingen: 12M*2M*2.8M

Levertijd:

30-60 werkdagen

Betalingscondities:

t/t

Levering vermogen:

Het duurt 30 tot 60 dagen.

Markeren:

Semiconductor silicon wafer ultrasonic cleaner

Alkaline acid cleaning semiconductor machine

UPW rinsing semiconductor wafer cleaner

Productbeschrijving

Productintroductie: Semiconductor Silicium Wafer Reiniger

Sequentiële Reinigingsfasen:

Ultrasoon Alkalisch Schrobben: Maakt gebruik van 40KHz-80KHz ultrasone cavitatie in een alkalisch bad om organische verontreinigingen af te breken, fotoresistresiduen te verwijderen en macrodeeltjes (≥1μm) van waferoppervlakken en via-structuren te verwijderen. De frequentie-afstembare ultrasone energie zorgt voor een uniforme reiniging over waferdiameters van 4"-12", inclusief randuitsluitingszones.

Ultrasoon Zuur Etsen: Gebruikt hetzelfde frequentiebereik in zure media om anorganische onzuiverheden op te lossen - met name metaalionen (Fe, Cu, Zn) en natuurlijke oxidelagen (SiO₂). Cavitatie-microjets dringen door in patronen om ingebedde verontreinigingen van minder dan 100 nm te verwijderen, gevalideerd door deeltjesteller-metingen (≤10 deeltjes/wafer voor ≥0,1μm).

UPW Spoelen: Finale spoeling met ultra-zuiver water (UPW, TOC ≤5ppb) spoelt resterende chemicaliën weg, waardoor een oppervlakte-weerstand van ≥18,2MΩ·cm wordt bereikt - voldoet aan SEMI F20-normen voor reiniging vóór depositie.

Procesparameters:

Frequentieband: 40KHz-80KHz (multifrequentie-werking, selecteerbaar via HMI voor contaminatie-specifieke afstemming)

Temperatuurinstelling: 60℃ (PID-gestuurd, ±1℃ tolerantie) om de kinetiek van de chemische reactie te optimaliseren zonder wafervervorming te induceren.

Materiaalcompatibiliteit: Bevochtigde componenten in PFA (perfluoroalkoxy) en saffier om het uitlogen van metaalionen te voorkomen, waardoor nul kruisbesmetting wordt gegarandeerd.

Fab-integratievoordelen:

Compatibel met FOUP/SMIF pod-laden voor geautomatiseerde cassetteverwerking, waardoor menselijke tussenkomst wordt verminderd

Cleanroom-klasse ontwerp (ISO 5) met HEPA-gefilterde afvoer om te voldoen aan de Class 1-omgevingsvereisten

Receptopslag voor 50+ reinigingsprotocollen, aanpasbaar aan kale wafers, SOI-wafers en epi-wafers

Toepassing: Essentieel voor reiniging vóór lithografie, na CMP en na etsen in logica-, geheugen- en MEMS-fabricagelijnen.

Sleutelwoorden: Ultrasone reiniger voor halfgeleiderwafers, alkalisch-zuur sequentiële reiniging, UPW-spoelen, 40-80KHz, 60℃ proces, submicron-decontaminatie

Afstembaar 40-80kHz Silicium Wafer Ultrasone Reiniger 60°C Constante Temperatuur Zuur Alkaal Wassen UPW Spoelen

Labels:

Jietai 251KW handmatige elektrolytische reinigingslijn aangepast voor het reinigen van halfgeleidercomponenten van het kleplichaam

Vind de beste prijs